Machine Translated by Google

Đằng trước. Máy móc.

Tiếng Anh https://doi.org/10.1007/s11465-019-0535-0

ĐÁNH GIÁ BÀI VIẾT

Arun KRISHNAN, Fengzhou FANG

Đánh giá về cơ chế và quy trình đánh bóng bề mặt bằng tia laser

© The Author(s) 2019. Bài viết này được xuất bản với quyền truy cập mở tại link.springer.com và journal.hep.com.cn

Tóm tắt Đánh bóng bằng laser là một công nghệ làm nhẵn bề mặt Từ khóa đánh bóng laser, độ nhám bề mặt, thông số quy trình,
của các vật liệu khác nhau bằng chùm tia laser có cường độ cơ chế
cao. Khi các chùm tia này tác động lên bề mặt vật liệu cần
đánh bóng, bề mặt bắt đầu bị nóng chảy do nhiệt độ cao. Vật
liệu nóng chảy sau đó được di chuyển từ 'đỉnh đến thung lũng' 1. Giới thiệu
dưới tác động đa hướng của sức căng bề mặt. Bằng cách thay đổi
các tham số quy trình như cường độ chùm tia, mật độ năng
Laser là thiết bị phát ra chùm tia năng lượng cao với quá
lượng, đường kính điểm và tốc độ nạp, có thể đạt được các mức
trình khuếch đại quang học bằng cách phát bức xạ kích thích.
độ nhám bề mặt khác nhau. Đánh bóng bề mặt có độ chính xác cao
Bản thân thuật ngữ LASER mô tả sự khuếch đại ánh sáng bằng
có thể được thực hiện bằng quy trình laser. Hiện nay, đánh
cách phát ra bức xạ kích thích. Sự ra đời của các vật liệu mới
bóng bằng laser đã mở rộng các ứng dụng của nó từ quang tử đến
như gốm sứ, aluminat, siêu hợp kim, vật liệu tổng hợp ma trận
khuôn mẫu cũng như các lĩnh vực y sinh học. Các kỹ thuật đánh
kim loại và polyme hiệu suất cao cùng với nhu cầu mạnh mẽ để
bóng thông thường có nhiều nhược điểm như khả năng đánh bóng
xử lý các bộ phận có hình dạng phức tạp dẫn đến nhu cầu ngày
các bề mặt dạng tự do kém hơn, ô nhiễm môi trường, thời gian
càng tăng đối với quy trình loại bỏ vật liệu tiên tiến [1].
thực hiện lâu và gây nguy hiểm cho sức khỏe của người vận
Các chùm tia laze luôn truyền theo đường thẳng như một linh
hành. Mặt khác, đánh bóng bằng laser giúp loại bỏ tất cả các
hoạt và đóng vai trò là nguồn năng lượng cao.
nhược điểm đã đề cập và trở thành một công nghệ đầy hứa hẹn có
Làm mịn bề mặt của các bề mặt phức tạp và dạng tự do là một
thể dựa vào để làm mịn địa hình ban đầu của các bề mặt bất kể
trong những thách thức lớn mà thế giới công nghiệp hiện đại
độ phức tạp của bề mặt.
phải đối mặt. Đánh bóng bằng laser chứng tỏ là một giải pháp
cho những thách thức này.
Phần lớn các nhà nghiên cứu đã thực hiện đánh bóng bằng laser Cần phải kể đến các phương pháp đánh bóng thông thường như
trên các vật liệu như thép, titan và hợp kim của nó vì chi phí
đánh bóng thủ công, cơ học, điện hóa đòi hỏi thời gian dài và
thấp và độ tin cậy của nó. Bài viết này cung cấp một cái nhìn
chi phí cao cho quá trình đánh bóng. Bên cạnh đó, nó đòi hỏi
tổng quan chi tiết về cơ chế đánh bóng bằng laser bằng cách
người thợ có trình độ tay nghề cao để tránh bề mặt bị hư hại
giải thích ngắn gọn các thông số quy trình khác nhau để hiểu
thêm. Hầu như tất cả các phương pháp đánh bóng thông thường
rõ hơn về toàn bộ quy trình đánh bóng. Các ưu điểm và ứng
không cho phép xử lý vật liệu theo một bước duy nhất. Việc hạn
dụng cũng được giải thích rõ ràng để bạn có kiến thức tốt về
chế sử dụng tự động hóa làm cho các loại phương pháp đánh bóng
tầm quan trọng của việc đánh bóng laser trong tương lai.
này kém hấp dẫn hơn đối với các nhà sản xuất.

Willenborg [2], Perry và cộng sự. [3], và Wang et al. [4] là

Nhận ngày 12 tháng 8 năm 2018; chấp nhận ngày 10 tháng 12 năm 2018
Arun KRISHNAN, Fengzhou FANG ( )
Trung tâm Công nghệ Sản xuất Micro/Nano (MNMT-Dublin), Đại học Cao đẳng
Dublin, Dublin 4, Ireland E-mail:
Fengzhou.fang@ucd.ie
Phong Châu FANG
Phòng thí nghiệm Trọng điểm Nhà nước về Công nghệ Đo lường Chính xác và
Dụng cụ, Trung tâm Công nghệ Sản xuất Micro/Nano
(MNMT), Đại học Thiên Tân, Thiên Tân 300072, Trung Quốc
một số nhà nghiên cứu đã đưa ra cơ sở vững chắc cho quá trình
đánh bóng bằng laze và một số lý thuyết hợp lệ về cách sử dụng
hiệu quả các tham số quy trình để có được bề mặt được làm nhẵn
cao sau khi đánh bóng. Điều này đặt dấu mốc quan trọng cho một
kỷ nguyên mới trong quá trình đánh bóng hoặc làm nhẵn bề mặt
của các kim loại có hình dạng phức tạp. Các tính năng độc đáo
của laser khiến nó được các nhà sản xuất yêu thích. Ba chỉ số
chính giúp đánh giá quy trình hoàn thiện bề mặt là (1) chất
lượng địa hình, (2) chức năng và (3) đặc tính thẩm mỹ. Chủ yếu
có ba loại trong quá trình
Machine Translated by Google

2 Đằng trước. Máy móc. Tiếng Anh

của quá trình hoàn thiện bề mặt, nghĩa là cơ học, điện hóa học và mô hình để đạt được kết quả này. Perry và cộng sự. [5] đã thực hiện

năng lượng nhiệt. Trong số này, đánh bóng bằng laze được thực hiện đánh bóng bằng laze trên các bề mặt vi mô trong hợp kim titan bằng

theo quy trình năng lượng nhiệt sử dụng các chùm tia có cường độ cao cách sử dụng chùm tia laze xung trong đó tần số không gian được phân

để làm nhẵn bề mặt. Các nghiên cứu đã chứng minh rằng công suất đầu tích bằng cách sử dụng địa hình bề mặt ban đầu của bề mặt kim loại,

ra trong khoảng 50–100 W là phù hợp để đánh bóng bằng laze với tỷ lệ cho kết quả tốt hơn về độ nhẵn cuối cùng. Ukar et al. [6] đã phát

lặp lại và tốc độ quét cao. triển một mô hình phân tích giúp xác minh sự tồn tại của hai chế độ,

tức là SSM và SOM.

Nguyên tắc đánh bóng bằng laze là làm phẳng bề mặt bằng quá trình Bài báo này dự định cung cấp một cái nhìn tổng quan chi tiết về

tái nóng chảy và tiếp theo là hóa rắn bề mặt như trong Hình 1 [3]. đánh bóng bằng laser vì không có nhiều công việc được thực hiện về

Đánh bóng bằng laser nổi lên như một trong những công nghệ mới của chủ đề này nói riêng. Các tia laser cực nhanh với mật độ năng lượng

phương pháp vượt trội để đạt được các bề mặt siêu mịn và siêu mịn. và công suất cao có thể được sử dụng để tạo ra bề mặt được tăng cường

Đánh bóng bằng laser là một quá trình nhiệt động phức tạp, trong đó hơn và giúp hình thành các cấu trúc vi mô và nano [7]. Mặc dù có

các chùm tia laser có cường độ cao tác động lên bề mặt kim loại, sau nhiều ưu điểm, nhưng có nhiều nhược điểm rõ ràng xảy ra trong quá

đó làm tan chảy một lớp mỏng có trên bề mặt kim loại. Nó có thể được trình sản xuất. Mục tiêu chính của nỗ lực đầu tiên này là xem xét

thực hiện ở hai cấp độ, đó là cấp độ vĩ mô và vi mô. Đánh bóng bằng công nghệ đánh bóng bằng laser trong bối cảnh bề mặt kim loại và

laser có thể được thực hiện cho hầu hết các kim loại và nó cũng đã trình bày một ảnh chụp nhanh quan trọng về hiệu suất của nó như đã

được sử dụng để đánh bóng gốm và thủy tinh, do đó chứng tỏ là một báo cáo trong các ấn phẩm trước.

trong những công nghệ đánh bóng hứa hẹn nhất hiện nay.

Điểm này cho thấy rõ ràng rằng việc hạn chế sử dụng tia laser cho 2 Cơ chế đánh bóng bằng laser
quá trình đánh bóng vật liệu là không hợp lệ. Đánh bóng bằng laser

có thể được kết hợp trong hầu hết các loại vật liệu. Khi chùm tia Đánh bóng bằng laser là một quá trình hoàn thiện chủ yếu bao gồm sự

laser tương tác với bề mặt kim loại, một vũng nóng chảy được tạo ra nóng chảy của một lớp bề mặt kim loại mỏng mà không có bất kỳ vết

trên một lớp kim loại mỏng. Nhóm tan chảy ở trạng thái lỏng này sau nứt hoặc khuyết tật bề mặt nào. Quá trình này nhằm mục đích làm mịn

đó được phân phối lại xung quanh khu vực kim loại liền kề dưới tác các đỉnh được tìm thấy trên kim loại thành một phạm vi trung gian
động đa hướng của sức căng bề mặt. Không có sự loại bỏ vật liệu nào bên dưới các đỉnh. Hình 2 thể hiện rõ cơ chế đánh bóng bằng tia

diễn ra trong khi nấu chảy lại vì các kim loại được đông cứng lại laser. Các đường chấm chấm biểu thị khu vực mà các đỉnh là bề mặt gồ

trên cùng một bề mặt. Nó dựa trên sự kiểm soát tối ưu các thông số ghề sẽ đi xuống và khi đạt đến mục tiêu này, bề mặt có thể được gọi

quy trình, quy trình đánh bóng bằng laser có thể được thực hiện hiệu là bề mặt được đánh bóng.

quả hơn.

Các bề mặt có tỷ lệ nhẵn cao cũng thuận lợi nhất trong lĩnh vực y tế Đánh bóng bằng laser chủ yếu được thực hiện ở ba cấp độ:
và công nghiệp. Các nhà nghiên cứu khác nhau đã phát triển các a) Đánh bóng bằng cách cắt bỏ diện tích lớn trong đó diện tích lớn

phương pháp thử nghiệm và số hóa khác nhau. bề mặt được đánh bóng;

Hình 1 Nguyên tắc làm việc đánh bóng bằng laser [3]
Machine Translated by Google
Arun KRISHNAN et al. Cơ chế và quá trình đánh bóng bề mặt bằng tia laser
b) Đánh bóng bằng phương pháp mài mòn cục bộ trong đó bằng cách kiểm
soát mật độ công suất ling, chỉ các bề mặt gồ ghề được nấu chảy để đạt
đến mức độ bề mặt;
c) Đánh bóng bằng cách nấu chảy lại.
Hình 2 cho thấy quá trình tái nóng chảy rõ ràng hơn. Các đỉnh
đại diện cho độ nhám của bề mặt bị tan chảy xuống các mức thung
lũng thấp hơn. Hơn nữa, hai loại khu vực chủ yếu được đánh bóng
bằng laser là bề mặt vĩ mô và bề mặt vi mô như được thảo luận
dưới đây.
2.1 Đánh bóng vĩ mô
Đánh bóng vĩ mô chủ yếu được thực hiện với bức xạ laser sóng
liên tục. Quá trình đánh bóng cho phép đánh bóng phạm vi 10–80
mm với quá trình làm nóng chảy lại liên tục lớp bề mặt trên cùng
của mẫu. Độ sâu nóng chảy lại phải được chọn theo vật liệu và
độ nhám bề mặt ban đầu. Thông thường, laser kết hợp sợi quang
được sử dụng với công suất laser từ 100–300 W. Thời gian xử lý
nằm trong khoảng từ 10 đến 200 giây/cm2 tùy thuộc vào độ nhám
bề mặt vật liệu ban đầu, loại vật liệu và tốc độ nhám đạt được
[2, số 8]. Tốc độ đánh bóng là 1 phút/cm2 đạt được với đánh bóng
macro bằng laser. Độ nhám phụ thuộc vào các tính chất cơ lý
nhiệt của vật liệu như độ dẫn nhiệt, sức căng bề mặt, độ nhớt,
nhiệt độ nóng chảy và bay hơi, độ nhám bề mặt ban đầu của vật
liệu cần đánh bóng, tính đồng nhất của vật liệu.
Theo kết quả thu được từ các thí nghiệm được thực hiện bởi
Willenborg [2], tỷ lệ nhám sau đây là
Hình 2 Nguyên tắc đánh bóng laze bằng cách nấu chảy
Bảng 1 Đánh bóng kết quả với các biến phụ vĩ mô và vi mô [2]
kim loại biến phụ Độ nhám ban đầu, Ra/mm
thép công cụ vĩ mô
siêu nhỏ
Titan, Ti-6Al-4V vĩ mô
siêu nhỏ
đồng vĩ mô
Thép không gỉ vĩ mô
3
đạt được bằng các kim loại như thép, đồng, titan sau khi đánh
bóng bằng laser bằng cách sử dụng biến phụ vĩ mô và vi mô.
Bảng 1 [2] cho thấy ảnh hưởng của đánh bóng vi mô và vĩ mô
đối với các kim loại khác nhau. Rõ ràng từ bảng trên, bề mặt
được đánh bóng vi mô tạo ra độ bóng cho bề mặt nhiều hơn và mất
ít thời gian xử lý hơn cho quá trình đánh bóng.
2.2 Đánh bóng vi mô
Trong quá trình đánh bóng bằng laze, chùm tia laze được di
chuyển trên bề mặt cần đánh bóng, ở đó quá trình đánh bóng vi
mô diễn ra bằng bức xạ laze xung. Sử dụng kiểu đánh bóng này chỉ
có thể đánh bóng bề mặt đã được xử lý trước (tức là đã mài và
xay). Các thông số quan trọng nhất để đánh bóng vi mô là thời
lượng xung và cường độ bức xạ. Tốc độ đánh bóng 3,3 s/cm2 có thể
đạt được với đánh bóng vi mô [9]. Sự khác biệt giữa đánh bóng
vi mô bằng laser với quy trình đánh bóng bằng laser khác là kích
thước điểm laser và mật độ năng lượng không đổi [8]. Đánh bóng
vi mô là một quá trình riêng biệt với độ sâu nóng chảy lại trong
khoảng 0,5–5 mm [10]. Hình 3 cho thấy quá trình tái nóng chảy
trên bề mặt kim loại được thực hiện bằng phương pháp đánh bóng
vi mô. Vật liệu nóng chảy đã được đông đặc lại khi xung laser
tiếp theo chạm vào bề mặt và tạo ra một bể nóng chảy mới. Cường
độ của chùm tia laser phải được chọn theo thời lượng xung và
loại vật liệu sẽ được xử lý. Thông thường, trong quy trình này,
người ta sử dụng Laser Nd:Yag hoặc Laser Excimer kết hợp sợi
quang. Đánh bóng vi mô luôn cung cấp một bề mặt được làm mịn vi
mô, do đó mang lại hiệu quả cao
Độ nhám sau khi đánh
Thời gian xử lý/(s$cm–2 )
bóng bằng laser, Ra/mm
1.0–4.0 0,07–0,15 60–180
0,5–1,0 0,30 3
3.0 0,50 10
0,3–0,5 0,10 3
10,0 1,00 10
1.0–3.0 0,20–1,00 60–120
Machine Translated by Google
4 Đằng trước. Máy móc. Tiếng Anh
bề mặt bóng [2,11]. Perry và cộng sự. [3,5,12] đã nghiên cứu
và thực hiện các thí nghiệm trên vi nghiền Ni và Ti-6Al-4V sử
dụng laser Q-Switched 250 W, 1064 nm trong đó độ nhám bề mặt
quang học Ra = 115 nm được giảm xuống 77 nm với một thời lượng
xung laser là 650 ns và tần số 4 kHz với tốc độ quét là 35 mm/
s.
Hình 3 Đánh bóng vi mô
3 Cơ chế giảm nhám bề mặt
Có hai cơ chế chính để giảm độ nhám của bề mặt, đó là làm
nóng chảy bề mặt nông (SSM) và làm nóng chảy bề mặt (SOM).
Theo các nghiên cứu trước đây, vùng SSM là kết quả của áp suất
mao dẫn và độ cong của chất lỏng gây ra bởi sự nóng chảy nông
của các lỗ siêu nhỏ sẽ lấp đầy các 'thung lũng' của bề mặt kim
loại cuối cùng bằng kim loại nóng chảy [13]. Vùng này cũng có
thể được gọi là "một bề mặt kim loại nóng chảy một phần" [14].
Trong vùng SSM do nóng chảy một phần bề mặt nên bề dày lớp
nóng chảy nhỏ hơn khoảng cách đỉnh-thung nhưng nếu mật độ năng
lượng cao hơn thì kết quả sẽ ngược lại [15]. Kim loại nóng
chảy chảy từ các đỉnh đến các thung lũng dưới áp suất mao dẫn,
nơi các thung lũng sẽ được lấp đầy bằng kim loại nóng chảy từ
các đỉnh, điều này cuối cùng dẫn đến việc giảm độ dày bề mặt
[15,16].
Khi có sự gia tăng mật độ năng lượng, độ dày của bể tan
chảy sẽ cao hơn khoảng cách đỉnh-thung lũng, từ đó biến toàn
bộ bề mặt kim loại thành một bể tan chảy. Điều này gây ra tần
số từ đỉnh đến đáy thấp hơn với biên độ cao hơn, dẫn đến sự
gia tăng độ nhám bề mặt của bề mặt kim loại sau quá trình hóa
rắn. Năm 2003, một mô hình vật lý nhiệt đã được phát triển để
phân tích ảnh hưởng của sự nóng chảy sâu trong các bề mặt được
đánh bóng trong chế độ SOM [17]. Với sự trợ giúp của kính hiển
vi điện tử quét và quang học, có thể xác định các kết cấu khác
nhau trên bề mặt [18,19]. Độ nhám bề mặt phụ thuộc vào tốc độ
quét cũng như trong chế độ SMM, giá trị độ nhám Ra giảm hơn
so với giá trị ban đầu của bề mặt cùng với việc giảm tốc độ
quét. Nếu tốc độ quét này tiếp tục giảm, vùng SOM sẽ dẫn đến
việc tăng giá trị Ra [17,19].
Hình 4 [17] mô tả sơ đồ cho thấy
ảnh hưởng của cơ chế SOM lên bề mặt kim loại và sự biến đổi
tuần hoàn của nó. Khi một chùm tia laze hội tụ chiếu vào bề
mặt kim loại, nó sẽ di chuyển theo đường hình chữ nhật với tốc
độ cao khiến vật liệu nóng chảy bị kéo ra khỏi mặt trước hóa
rắn. Sự hình thành gợn sóng diễn ra trên bề mặt kim loại như
trong Hình 4 [17]. Khi vật liệu được hóa rắn, nó sẽ tạo ra một
bề mặt gợn sóng vì sự dịch chuyển vật liệu này được gây ra do
độ dốc nhiệt giữa chùm tia laze và mặt trước hóa rắn.
Đáng chú ý là bề mặt cuối cùng sau quá trình đông kết phụ
thuộc vào yếu tố mà chế độ nào được ưu tiên hơn (có giá trị
cao hơn). Điều này xảy ra vì khoảng cách đỉnh-thung lũng không
phải là hằng số. Ngoài ra, loại chế độ được hình thành sẽ dựa
trên các tham số của quy trình.
Theo một số tác giả [20,21], để có một bề mặt đỉnh cao, giới
hạn của các tham số quá trình phải được giữ chặt chẽ.
Trong đánh bóng bằng laser, phương pháp thường được ưa
chuộng là làm tan chảy một phần bề mặt kim loại hơn là biến
nó hoàn toàn thành dạng lỏng [14]. Bước sóng của tia laser
thường ảnh hưởng đến quá trình đánh bóng. Nếu bước sóng của
tia laze càng lớn thì công suất của tia laze càng cao và do
đó với tia laze có công suất cao thì quá trình đánh bóng sẽ nhanh hơn nhiều.
Tuy nhiên, có thể thu được bề mặt được đánh bóng tốt hơn khi
sử dụng laser công suất thấp. Như đã thảo luận trước đó, laser
sóng liên tục sử dụng nhiều năng lượng hơn laser xung [2,22].
Trường nhiệt được sử dụng bởi Ukar et al. [15] trong thí
nghiệm của ông để xác định độ dày của lớp nóng chảy có thể
được coi là một điểm đánh dấu nơi diễn ra quá trình chuyển đổi
từ chế độ nóng chảy nông và chế độ SOM.
4 Quy trình đánh bóng laser điển hình
4.1 Đánh bóng xung laser
Đánh bóng laser xung chủ yếu được thực hiện trong quá trình
đánh bóng bề mặt vi mô. Các chùm tia laser xung là các chùm
tia rời rạc đập vào bề mặt kim loại một lần và tạo ra một vũng
nóng chảy, sau đó quá trình tái hóa rắn diễn ra trước khi chùm
tia tiếp theo chạm vào bề mặt kim loại như trong Hình 5 [23].
Laser xung chủ yếu được lựa chọn dựa trên thời lượng xung và
cường độ của chùm tia laser.
Quá trình này chiếu sáng bề mặt mẫu bằng xung laze dài (hàng
trăm nano giây) ở mức lưu loát gây ra sự nóng chảy bề mặt từ
10 đến 100 nm từ trong ra ngoài, với sự loại bỏ không đáng
kể. Do hóa lỏng bề mặt, sức căng bề mặt có tác dụng làm phẳng
các mức độ khắc nghiệt của bề mặt. Tốc độ dòng chảy bề mặt
được kiểm soát bởi tính nhất quán và dẫn đến các chuyển động
bề mặt bị ẩm. Yêu cầu năng lượng thấp của laser xung là một
lợi thế khác khi so sánh với laser sóng liên tục.
Khi giảm xóc khỏi các chuyển động trong thời gian bề mặt bị
nóng chảy, một bề mặt nhẵn hơn sẽ xuất hiện khi tái đông đặc.
Điều làm cho quy trình này trở nên độc nhất vô nhị là khả năng
làm sạch đặc biệt ở quy mô nhỏ hơn
Machine Translated by Google
Arun KRISHNAN et al. Cơ chế và quá trình đánh bóng bề mặt bằng tia laser
Hình 4 Sự hình thành tuần hoàn bề mặt trong cơ chế SOM [17]
Hình 5 Đánh bóng bằng laze sử dụng bức xạ xung [23]
các bề mặt theo bất kỳ hướng nào mà không cần che phủ,
không sử dụng chất mài mòn hoặc chất lỏng, không tạo ra
các mảnh vụn và với lượng nhiệt truyền vào bề mặt không
đáng kể. Willenborg [2] đã chỉ ra rằng thời lượng xung
laser ngắn hơn ảnh hưởng siêu việt đến các đặc điểm độ dài
sóng ngắn hơn. Đánh bóng xung laser cho phép kiểm soát tốt
hơn độ sâu tan chảy và vùng ảnh hưởng nhiệt trong khi vẫn
làm phẳng bề mặt. Perry và cộng sự. [5] cho thấy rằng xung
đầu tiên từ laser luôn có năng lượng cao khi laser được
vận hành ở tốc độ xung cao (kHz). Do kết quả của điều này,
một vết sẽ vẫn còn tại điểm mà xung đầu tiên xuất hiện trên
bề mặt. Dấu này có thể được cố định làm điểm tham chiếu để
biết điểm bắt đầu của quỹ đạo trong quá trình thử nghiệm.
Bằng cách sử dụng chế độ triệt tiêu phát bắn đầu tiên, có
thể giảm hoặc tránh phát xung đầu tiên.
4.2 Đánh bóng laser sóng liên tục
Laser sóng liên tục được sử dụng chủ yếu cho các bề mặt vĩ
mô. Trong laze sóng liên tục, quá trình đánh bóng sẽ diễn
ra liên tục vì các loại laze này tạo ra các chùm tia liên
tục chứ không phải các chùm rời rạc. Tan chảy
5
pool cho quá trình tái nóng chảy không chỉ bị ảnh hưởng bởi
đường kính chùm tia laze và công suất laze trung bình mà
còn bởi vận tốc quét. Thông thường laser sóng liên tục được
sử dụng trong trường hợp bề mặt có Ra từ 2–16 mm. Các bề
mặt được xử lý bằng gia công phay, tiện hoặc phóng điện có
thể được đánh bóng với sự trợ giúp của tia laser sóng liên
tục cùng với độ sâu nóng chảy lại từ 20–200 mm [24]. Tỷ lệ
nhám Ra = 0,1 mm có thể đạt được với sự trợ giúp của kiểu
đánh bóng này. Các tia laser sóng liên tục thông thường có
công suất đầu ra từ 70 đến 300 W được sử dụng cho quá trình
đánh bóng. Vì laser sóng liên tục có nhiều năng lượng hơn
nên cơ hội tạo ra các vùng ảnh hưởng nhiệt sẽ nhiều hơn
laser xung [25]. Những loại chùm tia này có thể xuyên qua
với tốc độ xử lý cao. Ví dụ: laser đa chế độ 500 W có thể
cung cấp khả năng xuyên thấu 0,508 mm với tốc độ 127 mm/s.
Công việc trước đây của Wang et al. [26] cho thấy rằng
các bề mặt được gia công bằng thạch anh nung chảy có thể
được làm sạch từ 2 đến 0,05 mm (nghĩa là khoảng cách từ
đỉnh đến đáy) bằng cách sử dụng kiểm tra raster laze sóng
liên tục CO2 25 W. Dụng cụ làm sạch cho tình huống này là
làm mềm một lớp vật liệu có kích thước micron dưới tác động
của sức căng bề mặt. Bề mặt tiếp theo là một màng bóng
nhẵn, bóng như gương, không có thay đổi về hình dạng bề
mặt. Vương và cộng sự. [26] đã thực hiện hai thử nghiệm,
thử nghiệm đầu tiên được thực hiện với tia laser 32 và 40
W và thử nghiệm thứ hai với các góc và công suất laser khác
nhau. Công suất laser giống nhau với tốc độ quét khác nhau
thu được trong hai thử nghiệm. Mật độ năng lượng thấp không
cung cấp đủ nhiệt để tăng nhiệt độ bề mặt nhằm làm phẳng
bề mặt trong Thử nghiệm 1. Dòng nhớt không đủ do mật độ
năng lượng ít hơn do kích thước chùm tia laze lớn hơn [26].
Khi sử dụng quy trình đánh bóng sóng liên tục, bề mặt
thu được tốt hơn vì nó giảm khoảng cách chồng lấp và do đó
tránh được các vạch tia trên bề mặt kim loại sau khi đánh bóng
Machine Translated by Google
6 Đằng trước. Máy móc. Tiếng Anh
đánh bóng. Trong một số ứng dụng cụ thể, chùm tia cần được làm
lệch tiêu điểm để tránh các vạch tia này xuất hiện trên bề mặt
kim loại. Trong khi thực hiện đánh bóng sóng liên tục, bề mặt
mẫu có thể được đặt ở trên, ở dưới hoặc ở tiêu điểm chùm tia
[16,27].
Tuy nhiên, với bề mặt được đánh bóng liên tục, độ nhám bề
mặt Ra = 0,05 mm thu được [26].
Do đó, người ta kết luận rằng cần có sự chồng chéo của các chùm
tia laze để đánh bóng liên tục vì mật độ năng lượng của chùm
tia phân bố không đồng đều. Laser sóng liên tục tạo ra công
suất cao, khiến nó phù hợp để đánh bóng hầu hết các kim loại
như đồng, niken, thép, đồng thau, bạc và vàng. Những tia laze
này phát ra một chùm tia đơn lẻ không đổi, đây có thể được coi
là một trong những lợi ích của việc sử dụng loại tia laze này,
nhưng nếu mục đích đánh bóng là đánh bóng một bề mặt cần các
vết rạch cụ thể có hình dạng phức tạp thì tia laze xung được ưu
tiên hơn [ 28]. Đánh bóng bằng laser sóng liên tục có thể được
sử dụng để đánh bóng kim loại và hợp kim mà không phát hiện
thấy những thay đổi đối với các đặc tính cơ học hoặc luyện kim
của nó. Cụ thể, không có xác nhận nào về vết nứt do nhiệt sau
khi đánh bóng bằng laser [29].
4.3 Kết hợp đánh bóng xung và sóng liên tục
Sự kết hợp giữa laser xung và sóng liên tục chủ yếu được thực
hiện với sự trợ giúp của việc cài đặt Q-Switch.
Temmler và cộng sự. [30] đã phân tích bề mặt kim loại bằng cách
đánh bóng sử dụng cả chùm sóng xung và chùm sóng liên tục.
Trong thí nghiệm, các chùm tia laser sóng liên tục đầu tiên
được sử dụng để làm nóng chảy lại bề mặt kim loại để bề mặt
được làm mịn đáng kể và do dòng vật chất trong bể nóng chảy nên
tính không đồng nhất trong bề mặt được làm nóng chảy lại được
đồng nhất hóa. Bước đầu tiên trong thí nghiệm sử dụng các chùm
sóng liên tục để đánh bóng bằng laser. Trong bước thứ hai, công
suất laser và tốc độ quét được thay đổi một cách có hệ thống
với các chùm tia laser xung. Phân tích phổ độ nhám không gian
được thực hiện như trong Hình 6 [23].
Người ta quan sát thấy rằng các đồng vị màu trắng chỉ ra rằng
Hình 6 Độ nhám quang phổ phụ thuộc vào công suất laze và tốc độ quét dưới dạng biểu đồ đẳng tốc bị sai màu đối với độ nhám vi mô
và vĩ mô để đánh bóng kết hợp với bức xạ laze xung và sóng liên tục [23]
độ nhám giảm, và các đồng vị màu đen cho thấy độ nhám tăng lên
sau khi đánh bóng vĩ mô. Bằng cách thay đổi công suất và vận
tốc quét, độ nhám vi mô được giảm thiểu. Do đó, kết luận từ
thí nghiệm là độ nhám vĩ mô hầu như không bị ảnh hưởng đối với
tất cả các vận tốc quét và công suất nhỏ hơn 70 W. Nếu muốn
giảm thiểu độ nhám vi mô, công suất laser 30–50 W thường được
ưu tiên hơn [23]. Các nghiên cứu mô tả rằng cả sóng liên tục
và sóng xung đều có những ứng dụng cụ thể của riêng nó.
Sự kết hợp giữa laser sóng liên tục và laser sóng xung có
thể tạo ra bề mặt mịn hơn nhiều so với bề mặt được tạo ra chỉ
bằng một loại chùm tia [31]. Temmler và cộng sự. [30] từ thí
nghiệm của ông cho thấy rằng sử dụng cả hai loại laser, tốc độ
làm mịn có thể tăng lên đáng kể. Nó cho thấy rằng hiệu ứng bóng
kép được tạo ra với sự kết hợp của hai loại tia laser này khi
được sử dụng lần lượt. Các biến thể giải quyết không gian của
độ nhám bề mặt được đưa ra như là lý do cho hiệu ứng bóng kép.
Ứng dụng này mở đường cho việc tạo ra một ý tưởng mới gọi là
đánh bóng bằng laser có chọn lọc.
4.4 Đánh bóng laser có chọn lọc
Việc sử dụng mạnh mẽ laser trong các ứng dụng công nghiệp,
chẳng hạn như trong y học, truyền thông, sản xuất, mật ô tô
và quang học, đã dẫn đến sự gia tăng nhu cầu về công nghệ mới
để làm phẳng bề mặt trong ngành sản xuất. Đánh bóng các khu vực
chọn lọc có độ chính xác cao là một trong những nhu cầu ngày
càng tăng của các nhà sản xuất trong lĩnh vực công nghiệp [32].
Các phương pháp đánh bóng thông thường, chẳng hạn như nổ mìn
mài mòn và đánh bóng cơ học, không thể đánh bóng các bộ phận
chính xác cần đánh bóng các bộ phận chọn lọc [32]. Đánh bóng
bằng laze có chọn lọc là một biến thể của đánh bóng bằng laze
trong đó các khu vực được xác định cục bộ được nấu chảy lại như
trong Hình 7 [23]. Quá trình này có thể được thực hiện bằng
cách sử dụng cả chùm tia laser xung và sóng liên tục, nơi có
thể đạt được hiệu ứng bóng kép. Việc điều trị theo hướng chính
của
Machine Translated by Google
Arun KRISHNAN et al. Cơ chế và quá trình đánh bóng bề mặt bằng tia laser
Hình 7 Chùm tia laze chiếu tới bề mặt kim loại trên một khu vực cụ thể [23]
quá trình xử lý được thực hiện với vận tốc quét vscan, trong
khi vận tốc theo hướng phụ (vsec) của quá trình xử lý có thể
được tính bằng phương trình. (1) [23].
vsec ¼ vscandy=ðx + dyÞ,
trong đó vscan là tốc độ quét, vsec là tốc độ xử lý theo hướng
phụ, dy là độ lệch rãnh và x là độ dài vectơ quét.
Tại những vị trí xác định (x,y), công suất laser được điều
chế hình chữ nhật giữa mức cơ sở, nơi không xử lý diễn ra và
mức xử lý, nơi công suất laser đủ để làm nóng chảy lại bề mặt
[23]. Do đó, chỉ những khu vực xác định của bề mặt mới được
làm nhẵn và có thể tạo ra hiệu ứng bóng kép.
Hình 8 Các chế độ phân bố cường độ không gian cho (a) TEM00 và (b) TEM01 [35]
7
Theo công việc được thực hiện bởi Lamikiz et al. [31] vào
năm 2007, quá trình thiêu kết laser có chọn lọc (SLS) giảm bề
mặt tới ba lần độ nhám bề mặt trung bình đã đạt được.
Tuy nhiên, Kumstel và Kirsch [24] vào năm 2013 đã nghiên cứu
đánh bóng bằng laze các hợp kim gốc titan và niken thiêu kết.
Theo công việc của họ, bề mặt được đánh bóng chủ yếu phụ thuộc
vào mật độ chùm tia laser, địa hình ban đầu của vật liệu và
vật liệu bề mặt.
5 Sự lan truyền chùm tia laze
Tia laze là sóng điện từ có hướng riêng, khi tương tác với bề
mặt kim loại có thể coi như một quá trình tương tác điện từ
[33,34].
Trong trường hợp sóng phẳng, khi chùm tia hội tụ đến một điểm
cụ thể sẽ tạo ra một tiêu điểm. Khi một chùm tia laze có công
suất nhất định hội tụ vào tiêu điểm, tiết diện ngang của chùm
tia sẽ tiến về 0, điều này mang lại cho cường độ một giá trị
vô cực. Vì chùm tia laze không thể có cường độ vô hạn nên điều
này thực tế sẽ không hoạt động đối với chùm tia laze thực. Để
có ý tưởng rõ ràng hơn, trong Hình 8 [35] sơ đồ phân bố không
gian được hiển thị cho một thí nghiệm được tiến hành bằng
laser để phân tích biên dạng chùm tia ở hai chế độ khác nhau.
Tia laze khi đặt tại một điểm và giữ một tấm phim trước tia
laze, thì tia laze sẽ cho tiết diện hoặc diện tích của chùm
tia trong phim đó. Khi chùm tia được phép đi qua một thấu kính
và giữ màng ở phía sau thấu kính, tiết diện của chùm tia laze
(1)
lớn và khi màng di chuyển ra xa hơn, tiết diện hoặc diện tích
của chùm tia giảm đến một điểm nhất định và sau đó nó lại bắt
đầu tăng diện tích của nó. Do đó, bằng thực nghiệm có thể
chứng minh rằng vùng tiêu điểm sẽ không tiến tới giá trị 0
thay vì chùm tia hội tụ và bắt đầu phân kỳ lại từ một điểm
nhất định. Khi được phân tích cẩn thận, biên dạng chùm tia
laser trông giống như một phân bố hình chuông được gọi là phân
bố Gaussian. Người ta gọi chùm tia Gaussian vì cường độ phân
bố trên phương vuông góc
Machine Translated by Google
số 8
Đằng trước. Máy móc. Tiếng Anh
đối với trục truyền là biên dạng chùm Gaussian [36].
Khi chùm tia ở TEM00, nó cho biên dạng chùm tia Gaussian. Điều
kiện lấy nét thuận lợi nhất có thể được tìm ra bằng cách sử
dụng biên dạng chùm tia Gaussian.
Liu [37] đã đề xuất một kỹ thuật đơn giản để đo kích thước
điểm của bề mặt chùm tia Gaussian xung. Hình ảnh trực tiếp của
sự phân bố mật độ năng lượng laser thu được trên bề mặt tinh
thể dựa trên sự biến đổi pha cảm ứng quang học trên bề mặt
silicon đơn tinh thể. Trong khi tiến hành các thí nghiệm sử
dụng tia laser trong quy trình đánh bóng, chủ yếu ba bề mặt
được coi là giữ phôi ––Bề mặt TRÊN, bề mặt trên và bề mặt
dưới. Việc phân phối thay đổi tùy theo các vị trí mà chúng tôi
giữ chi tiết gia công. Trong một số trường hợp nhất định, chùm
tia cần được làm lệch tâm để có được đường kính lớn hơn và
cường độ thấp hơn. Trong tình huống này, tốt hơn là giữ phôi
bên dưới bề mặt để tạo khoảng cách xa hơn giữa phôi và tia
laser. Biên dạng chùm tia Gaussian thường có dạng phân kỳ từ
tia laser và sau đó hội tụ tại tâm rồi lại phân kỳ, do đó tạo
ra một đường cong hình chuông.
Ngoài ra, đối với một số ứng dụng nhất định, chùm tia cần
được phân bổ đều. Trong điều kiện này, một hiện tượng gọi là
định hình chùm tia có thể xuất hiện. Định hình chùm tia là quá
trình phân phối lại bức xạ của chùm tia laze [38]. Trong hầu
hết các ứng dụng công nghiệp, việc định hình chùm tia rất
quan trọng vì các ứng dụng khác nhau cần hình dạng chùm tia
ưa thích. Bằng cách thao tác với công suất đầu ra, có thể điều
khiển được định hình chùm tia cho cấu hình cường độ đầu ra.
Thí nghiệm chứng minh khái niệm này được thể hiện bởi Litvin
et al. [39] vào năm 2017.
6 Phát triển quy trình
Đánh bóng bằng laser là một quá trình chỉ loại bỏ một lớp vật
liệu cực nhỏ khỏi bề mặt kim loại. Không có vật liệu nào bị
loại bỏ do quá trình này. Quá trình tái hóa rắn nhanh chóng
của kim loại nóng chảy từ đỉnh đến đáy phụ thuộc vào các thông
số quy trình khác nhau. Lớp tan chảy sẽ loại bỏ các đỉnh nhám.
Để điều này xảy ra, nhiệt độ phải có khả năng làm tan chảy các
đỉnh, nhưng nó không thể đi sâu hơn các thung lũng. Như đã
thảo luận trong phần trước, quá trình này chủ yếu phụ thuộc
vào ba yếu tố: Vật liệu bề mặt, địa hình ban đầu và mật độ
năng lượng của chùm tia laze. Các nghiên cứu khác nhau [40,41]
cho thấy rằng nếu các thông số quy trình được kiểm soát chính
xác và di chuyển chính xác thì giai đoạn sẽ dẫn đến độ hoàn
thiện bề mặt cao. Các tính năng như mật độ năng lượng laser,
bước sóng, thời lượng xung, góc tới, tốc độ quét, phương pháp
quét và các đặc tính của vật liệu được thử nghiệm ảnh hưởng
đến bề mặt được đánh bóng cuối cùng [5,42,43]. Cụ thể hơn, quá
trình đánh bóng bằng laser là một quá trình dựa trên nhiệt
động lực học, trong đó chủ yếu là ba loại thông số đóng vai
trò then chốt trong vùng tương tác vật liệu của chùm tia laser
với kim loại.
bề mặt.
1) Phôi gia công: Địa hình ban đầu của vật liệu bao gồm
kích thước, độ nhám bề mặt, tính đồng nhất của bề mặt và các
thông số nhiệt và quang học khác.
2) Các thông số liên quan đến quang học laser như công suất
laser, thời lượng xung, tần số xung, đường kính chùm tia, hình
dạng chùm tia, độ lệch tiêu cự và cường độ chùm tia.
3) Các tham số quy trình liên quan đến chuyển động như quỹ
đạo đường chạy dao, số lần chồng lấp, phần trăm chồng lấp và
tốc độ nạp.
Thời gian tương tác giữa tia laser và bề mặt kim loại phụ
thuộc chủ yếu vào tốc độ quét của tia laser đối với cả chùm
tia laser liên tục cũng như xung.
6.1 Mật độ năng lượng
Quá trình đánh bóng sẽ thành công nếu mật độ năng lượng được
chọn chính xác [31]. Mật độ năng lượng đóng một vai trò quan
trọng trong chu trình nhiệt, động lực học chất lỏng, cấu trúc
vi mô và biên dạng bề mặt trong khi nó được chuyển đến phôi
[44]. Nếu năng lượng được lưu trữ trong một hệ thống nhất định
hoặc một vùng không gian cụ thể trên một đơn vị thể tích thì
nó có thể được gọi là mật độ năng lượng. Trong trường hợp quy
trình đánh bóng bằng laser, mật độ năng lượng có nghĩa là tỷ
lệ giữa công suất laser với tốc độ quét và đường kính chùm
tia [18]. Theo nghiên cứu trước đây, có thể giảm độ nhám bề
mặt tới 37% Ra ban đầu nếu mật độ năng lượng được kiểm soát
hợp lý [18]. Trong khi thực hiện quy trình đánh bóng vi mô
bằng laser, việc kiểm soát liên tục mật độ năng lượng laser
là công nghệ chính để cải thiện độ nhám bề mặt [8]. Mật độ
năng lượng phụ thuộc vào công suất laser, đường kính chùm tia
và thời gian tương tác của chùm tia với bề mặt của chi tiết
gia công. Năng lượng trên một đơn vị bề mặt có nhiệt lượng cao
hơn nhiều so với năng lượng của hồ quang plasma. Trong trường
hợp chùm tia laser xung, thời gian tương tác trực tiếp là thời
lượng xung nhưng trong trường hợp chùm tia laser liên tục, mật
độ năng lượng tỷ lệ nghịch với tốc độ nạp.
Mật độ năng lượng (ED) có thể được tính như [31,45]
6000P
ED ¼ , (2)
dvf
trong đó P là công suất của tia laser (đơn vị: W), D là đường
kính của chùm tia (đơn vị: mm) và vf là tốc độ nạp chùm tia
(đơn vị: mm/phút) và giá trị của ED thu được bằng J/ cm2 .
Việc đánh bóng bề mặt kim loại bằng Laser CO2 , người ta
quan sát thấy rằng tỷ lệ giảm dao động trong khoảng từ 75%
đến 85%. Từ hình 9 [15], Ukar et al. [15] lưu ý rằng tốc độ
giảm độ nhám tối đa được quan sát đối với giá trị mật độ năng
lượng nằm trong khoảng từ 1800 đến 3000 J/cm2
.
6.2 Thời lượng xung
Thời lượng xung trong đánh bóng bằng laser là một thuật ngữ
thu được do tỷ lệ năng lượng xung với công suất cực đại.
Machine Translated by Google

Arun KRISHNAN et al. Cơ chế và quá trình đánh bóng bề mặt bằng tia laser 9

Hình 11 Biểu đồ tần số không gian sử dụng thời lượng xung 600 ns [12]
Hình 9 Mối quan hệ giữa giảm độ nhám và mật độ năng lượng [15]

tương ứng, điều này chỉ ra rõ ràng rằng thời lượng xung dài
Thường được đo bằng nano giây (ns) hoặc micro giây (ms). Thời
hơn mang lại độ nhẵn bề mặt tốt hơn.
lượng xung cũng là một tham số quá trình có vai trò quan trọng
Trong hình. Trong Hình 10 và 11, đường màu đen biểu thị vùng
trong việc đạt được độ mịn mong muốn. Nüsser và cộng sự. [46]
được đánh bóng và vùng không được đánh bóng được biểu thị bằng
vào năm 2011 cho thấy thời lượng xung ngắn hơn tạo ra độ nhám
các đường màu xám. Do đó, có thể thấy rằng bước sóng (tần số
vi mô thấp hơn (= 5 mm). tôi
không gian) càng cao thì thời lượng giảm chấn càng ngắn.
Thí nghiệm được tiến hành bằng laser đĩa và laser que có bước
sóng lần lượt là = 1030 nmtôivà = 1064 nm. Người ta
tôi quan sát

thấy rằng sự khác biệt về độ nhám bề mặt đạt được đối với laser 6.3 Tốc độ nạp
đĩa thấp hơn so với laser que vì sự khác biệt tương đối thấp
hơn của thời lượng xung. Thí nghiệm này cũng chứng minh rằng
Nhiều nhà nghiên cứu đã nghiên cứu ảnh hưởng của tốc độ nạp
thời lượng xung càng dài thì kết quả là bước sóng không gian
lên bề mặt kim loại cuối cùng thu được sau khi đánh bóng. Tốc
cực đại [46].
độ nạp trong laser có nghĩa là xung trên milimet. Các đỉnh
trên bề mặt kim loại được loại bỏ bằng cách sử dụng chiếu xạ
Kết quả mô phỏng từ một thí nghiệm khác cho thấy thời lượng
laser trong đó tốc độ không phù hợp có thể dẫn đến bề mặt gồ
xung dài hơn tạo ra bề mặt mịn hơn nhiều so với thu được từ
ghề thay vì mịn hơn [48]. Các nghiên cứu trước đây cho thấy
thời lượng xung ngắn hơn [12]. Các nhà nghiên cứu trong hầu
tốc độ nạp cao hơn trên một giới hạn nhất định dẫn đến bề mặt
hết các nghiên cứu của họ đã sử dụng thời lượng xung trong
thô hơn và độ hoàn thiện bề mặt kém, điều này thể hiện rõ trong Hình 12 [4
phạm vi phổ biến từ 200 đến 650 ns. Các mẫu niken được chế tạo
Người ta thấy rằng độ nhám bề mặt giảm cho đến khi tốc độ nạp
vi mô có độ nhám bề mặt ban đầu Ra = 0,175 và 0,112 mm được
= 300 mm/phút và trên điểm đó độ nhám lại bắt đầu tăng. Rõ
giảm xuống tương ứng là 0,026 và 0,015 mm bằng cách kiểm soát
ràng là tốc độ nạp liệu thấp sẽ gây ra sự nóng chảy nghiêm
thời lượng xung [11,47].
trọng cùng với sự co lại lẻ tẻ trong quá trình đông tụ.
Khi quá trình đánh bóng được thực hiện với thời lượng xung 300
ns, nó chỉ giảm được 30% độ nhám bề mặt [12]. Hình 10 và 11
[12] hiển thị đồ thị thu được với thời lượng xung 300 ns và
6.4 Chùm tia laze chồng lên nhau
thời lượng xung 600 ns

Trong các hoạt động đánh bóng bằng laze, các vùng được đánh
bóng thường được tạo ra bởi sự tiến triển của các vệt tia laze
song song cho thấy mức độ trùng lặp cụ thể giữa chúng.
Mức chồng lấp của các rãnh kế tiếp biểu thị một tham số thủ
tục bắt buộc. Hơn nữa, không giống như gia công, các lớp phủ
nhỏ cũng không được mong muốn trong quá trình đánh bóng bằng
laze, vì chúng không thể thay đổi đáng kể biên dạng bề mặt bên
dưới. Chúng cũng thường xuyên được kích hoạt với các ước tính
cao hơn về độ nhám bề mặt. Nếu độ chồng lấp cao sẽ dẫn đến bề
mặt không bằng phẳng, phồng lên và các hư hỏng bề mặt khác
[49]. Điều này xảy ra vì lý do là khi chùm tia laze chồng lên
chùm tia kế tiếp, nhiệt phát triển trên bề mặt sẽ vượt quá
lượng cần thiết và do đó dẫn đến hư hỏng các tính chất cơ học
và tính toàn vẹn của bề mặt. Người ta thấy rằng bề mặt
Hình 10 Biểu đồ tần số không gian sử dụng thời lượng xung 300 ns [12]
Machine Translated by Google

10 Đằng trước. Máy móc. Tiếng Anh

chức năng của bề mặt ban đầu và bề mặt được đánh bóng khi
nó tăng theo tỷ lệ chồng lấp được thể hiện trong Hình 13
[49]. Người ta quan sát thấy rằng quá trình đánh bóng bằng
laser không chỉ giúp giảm khoảng cách từ đỉnh đến đáy mà
còn cải thiện hình học vi mô của bề mặt được phản xạ bởi độ
dốc giảm ở giữa đường thẳng [49].
Dựa trên tất cả các tham số quy trình được thảo luận ở
trên, có hai khu vực được phát triển như một kết quả sẽ
được thảo luận trong phần tiếp theo.

6.5 Thời gian lưu trú và tốc độ quét

Thời gian lưu trú là thời gian tương tác giữa chùm tia

laser và chi tiết gia công có thể được tính theo phương
trình sau:

τ$PRF$ds
R ¼ , (4)
Hình 12 Mối quan hệ giữa độ nhám bề mặt và tốc độ nạp [48] bạn

trong đó R là thời gian lưu (đơn vị: s), τ là độ rộng xung

chất lượng được cải thiện ở tỷ lệ chồng chéo 95% của dầm và
(đơn vị: s), PRF là tần số lặp lại xung (đơn vị: s–1 ) , ds
giảm xuống khi đạt tỷ lệ chồng chéo 97,5%. Sự cải thiện về
là đường kính điểm và U là tốc độ quét chùm tia.
độ nhám bề mặt được tính như [49]
Tốc độ quét là tốc độ tương đối giữa bề mặt kim loại và

Cải thiện chất lượng lướt sóng chùm tia laser. Tốc độ quét khi tăng lên thì năng lượng hấp
thụ ít hơn do khoảng cách thời gian sẽ giảm đi.

¼ ½ðRainitial–RapolishedÞ=Rainitial 100%, (3)

6.6 Khoảng cách bù tiêu cự

trong đó Rainitial đại diện cho độ nhám ban đầu của bề mặt
và Rapolished đại diện cho độ nhám bề mặt được đánh bóng. Lượng năng lượng truyền tới bề mặt kim loại có thể được
kiểm soát bằng cách thay đổi khoảng cách bù tiêu cự (FOD).
Ảnh hưởng của chùm tia chồng lên tỷ lệ vật liệu Khoảng cách tiêu cự là khoảng cách tương đối giữa tiêu cự

Hình 13 Ảnh hưởng của sự chồng lấp lên các hàm tỷ lệ vật liệu của bề mặt ban đầu và bề mặt được đánh bóng [49]. (a) Mẫu 1 (trùng lặp 80%); ( b )

Mẫu 2 (trùng lặp 90%); (c) Mẫu 3 (trùng lặp 95%); (d) Mẫu 4 (trùng lặp 97,5%)
Machine Translated by Google

Arun KRISHNAN et al. Cơ chế và quá trình đánh bóng bề mặt bằng tia laser 11

điểm của laser và mẫu. Bằng cách điều chỉnh tiêu cự, có thể
kiểm soát năng lượng của chùm tia tới. Thực nghiệm cho thấy
rằng FOD thay đổi giúp kiểm soát tốt hơn độ nhẵn bề mặt [50].
Theo dõi, Chang et al. [51] đã đưa ra ý tưởng rõ ràng hơn nhiều
về ảnh hưởng của FOD đối với chất lượng bề mặt của các cấu kiện
thép. Theo phân tích tần số không gian của ông, người ta thấy
rằng FOD giảm làm giảm các đỉnh cao nhất trên bề mặt thép. Từ
Hình 14 [50], bạn có thể dễ dàng hiểu được tiêu cự và FOD và
chúng khác nhau.
Cần có tối thiểu 1 mm FOD được cung cấp để cho phép vật liệu
giãn nở, cho phép khói đi qua một cách an toàn và để giảm hiệu
ứng oxy hóa [52–55].
Khi so sánh địa hình ban đầu của kim loại với bề mặt được
đánh bóng bằng laser, các nhà nghiên cứu khác nhau [18,23,26]
đã tìm thấy sự thay đổi mạnh mẽ. Mặc dù tốc độ đánh bóng nhanh
hơn nhưng nó cũng cho bề mặt chất lượng cao. Kết quả thực
nghiệm chủ yếu dựa vào việc so sánh với tính toán các thông số
7 Độ nhám bề mặt
7.1 Phân tích và đo độ nhám bề mặt
Kích thước của bể nóng chảy là một trong những yếu tố quan
trọng nhất trong việc xác định độ nhám bề mặt cuối cùng của bề
mặt kim loại. Độ nhám bề mặt trước đây được đo bằng các dụng cụ
đo biên dạng bề mặt như biên dạng kế.
Sự tiếp xúc giữa đầu dò và bề mặt phôi sẽ tạo ra độ nhám bề
mặt. Nhưng trong khi đầu dò di chuyển trên bề mặt kim loại, có
thể xuất hiện các vết trầy xước trên bề mặt, điều này có thể
làm thay đổi toàn bộ giá trị độ nhám bề mặt. Điều này chứng tỏ
là một nhược điểm lớn của việc sử dụng máy đo cấu hình. Thời
gian trôi qua, các công nghệ hiện đại như kính hiển vi quang
học 3D đã có thể đo độ nhám bề mặt chính xác hơn so với máy đo
cấu hình thông thường. Các phương pháp khác nhau để đo tọa độ
của các cấu trúc vi mô đã được thảo luận với máy đo tọa độ vi
mô (CMM) có đầu dò vi mô [7]. Một thiết bị gọi là giao thoa kế

của bề mặt đánh bóng ban đầu và cuối cùng. Fizeau có thể được sử dụng để đo đa bậc tự do của một bề mặt có
Khi thép công cụ H13 có độ nhám định hình đường ban đầu là thể di chuyển được. Kỹ thuật này có thể được tích hợp vào quá
1,21 mm sau khi được đánh bóng bằng laze đã giảm độ nhám định trình đánh bóng để tìm ra độ lệch của bề mặt có thể di chuyển
hình đường của nó xuống mức tối thiểu là 0,040 mm như trong Bảng 2. được là mặt bàn.
Các kết quả thu được của Hafiz et al. [49] được hiển thị trong
Hình 15.

Hình 14 Khoảng cách bù tiêu cự [50]

Machine Translated by Google

12 Đằng trước. Máy móc. Tiếng Anh

Bảng 2 So sánh độ nhám ban đầu và độ nhám cuối cùng bằng cách sử dụng phương pháp đánh bóng bằng nhẵn khi so sánh với bề mặt được nhìn thấy qua các khoảng trống
laser trên thép công cụ H13 [28]
giữa các lần tan chảy. Người ta đề cập rằng sự thay đổi cấu trúc
Độ nhám của đường định Độ nhám của đường đánh bề mặt có ảnh hưởng lớn đến độ nhám bề mặt. Phép đo độ nhám này
phần trăm chồng chéo
hình ban đầu / mm bóng / mm
cũng rất quan trọng để phân tích cấu trúc bề mặt. Độ nhám bề mặt
80,0% 1.18 0,19 xảy ra khi cấu trúc hạt không đồng nhất cùng với các tính không

90,0% 1.16 0,16 đồng nhất khác đã có trong vật liệu [61]. Phép đo độ nhám bề mặt

95,0% 1,21 0,13

cũng bị ảnh hưởng bởi một số yếu tố mà theo đó giá trị phép đo
khác nhau sẽ được thảo luận chi tiết trong phần tiếp theo.
97,5% 1,21 0,04

phôi sẽ được cố định đối với một bề mặt không thể di chuyển. Độ
nhám bề mặt có thể được đo bằng toán học bằng phương trình. (5) 7.2 Các yếu tố ảnh hưởng đến độ nhám bề mặt

[56]:
Độ nhám bề mặt của phôi sau quá trình đánh bóng bằng laser bị ảnh
1 N
hưởng bởi nhiều yếu tố. Từ các công trình trước đây được thực hiện
Ra ¼ (5)
N X jrnj, bởi nhiều nhà nghiên cứu trong lĩnh vực đánh bóng bằng laser và
n¼1
ảnh hưởng của các loại laser khác nhau (CO2, excimer, diode,

Trong đó N là tổng số thí nghiệm được thực hiện và r là giá trị độ fiber) trên bề mặt kim loại, nhiều yếu tố đã được xác định ảnh

nhám tại mỗi thí nghiệm. Vinh quang và cộng sự. [57] đã thực hiện hưởng đến kết quả cuối cùng của độ nhám bề mặt.

một thí nghiệm sử dụng tia laze cực tím trên bề mặt kim cương, nơi
ông sử dụng máy đo cấu hình để phát hiện sự cải thiện độ nhám bề 1) Độ nhám bề mặt ban đầu của kim loại cần đánh bóng là một

mặt trung bình. Để có được phép đo chính xác hơn về giá trị độ trong những yếu tố chính vì các vị trí khác nhau trong kim loại có

nhám bề mặt trung bình, ông đã sử dụng kính hiển vi lực nguyên tử tỷ lệ nhám khác nhau. Đáng chú ý là nên biết các kích thước bên

(AFM). Ở cấp độ nano, AFM được ưu tiên hơn các máy đo cấu hình bề của các cấu trúc bề mặt.

mặt vì nó tương đối cho độ phân giải không gian rất cao. Các công 2) Tính đồng nhất của vật liệu cũng là một yếu tố ảnh hưởng đến

trình gần đây về bề mặt kim loại đã được báo cáo bởi Hafiz et al. độ nhám bề mặt. Nếu bề mặt không có các đặc tính đặc trưng tương
[10,54] và Şimşek et al. [58]. tự, nó có thể dẫn đến độ hoàn thiện bề mặt kém do chùm tia laze
chiếu vào toàn bộ bề mặt với cùng công suất và cường độ. Do đó, sự

Để phân tích kỹ hơn về cấu trúc bề mặt, có thể sử dụng kính phân tách và tạp chất có thể xảy ra làm giảm chất lượng của bề mặt.

hiển vi điện tử quét (SEM). Sử dụng SEM, có thể thu được hình ảnh
bề mặt có độ phân giải cao hơn sau khi đánh bóng bằng laser và do
đó có thể phân tích tác động của sự nóng chảy và độ nhám bề mặt. 3) Các tính chất cơ lý nhiệt của vật liệu như tính dẫn nhiệt,

Theo Sato et al. [59], ngoài độ phân giải cao hơn, không thể đo độ nhớt, sức căng bề mặt, nhiệt độ nóng chảy, nhiệt độ bay hơi ảnh

trực tiếp độ nhám bề mặt bằng SEM. hưởng đến độ nhám của bề mặt.

Độ nhám bề mặt là một thuật ngữ quan trọng trong lĩnh vực y tế vì 4) Ảnh hưởng của các thông số quy trình như đường kính chùm

trong xã hội hiện đại, việc sử dụng các thiết bị cấy ghép y tế tia, cường độ và thời gian tương tác của chùm tia laser với bề mặt
ngày càng tăng. kim loại cũng ảnh hưởng đến độ nhẵn bề mặt cuối cùng. Nếu chùm tia

Hình 16 [60] cho thấy ảnh SEM của bề mặt thép DF2 (AISI 01) laser có tốc độ cường độ cao hơn, nhiệt độ phát triển sẽ cao. Nếu

được đánh bóng mà từ đó có thể nhìn thấy các khoảng trống giữa các nhiệt độ tăng lên trên điểm nóng chảy của kim loại, nó dẫn đến một

lớp tan chảy. Độ nhám bề mặt có thể được coi là

Hình 15 Biên dạng bề mặt ban đầu và được đánh bóng của thép H13 với các giá trị Sa và Ra [49]
Machine Translated by Google

Arun KRISHNAN et al. Cơ chế và quá trình đánh bóng bề mặt bằng tia laser 13

8 Ưu điểm của đánh bóng laser

Hình 16 Ảnh SEM của bề mặt thép được đánh bóng bằng laser DF2 (AISI 01) [60]
toàn bộ nhóm tan chảy dẫn đến một khu vực SOM. Thời gian tương tác
và cường độ chùm tia càng dài thì độ nhám của bề mặt càng thấp.
5) Phụ thuộc vào thời gian laser xử lý bề mặt kim loại. Thông
thường, thời gian xử lý là 1–10 s/cm2 được sử dụng.
Nhu cầu đánh bóng đã tăng vọt trong mười năm qua do nhu cầu ngày
càng tăng đối với xã hội đang phát triển nhanh như trong Bảng 3
[8,31,51,62–66]. Nhu cầu về các thành phần có độ chính xác cao
trong mỗi và mọi lĩnh vực bao gồm cả y tế và công nghiệp đang gia
tăng một cách kỳ diệu.
Kể từ khi được phát minh vào năm 1960 [67–69], laser đã ghi dấu ấn
trong hầu hết các lĩnh vực công nghiệp cho các ứng dụng khác nhau.
Việc đánh bóng bằng laser hiện đang là xu hướng khi nhu cầu ngày
càng tăng đối với bề mặt chính xác và có độ nhẵn cao.
Hầu hết các nước phát triển đã đầu tư một lượng lớn vào các chương
trình nghiên cứu laser của họ. Nhưng hầu hết các dự án khoa học sẽ
có kinh phí hạn chế, điều này chứng tỏ đây là động lực cho những
phát triển hơn nữa trong lĩnh vực này bằng cách sử dụng ngân sách
ít hơn sẵn có [70].
Đánh bóng bằng laser được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng
khác nhau trong các lĩnh vực khác nhau như trong nha khoa, cấy
ghép xương, thiết kế trọng lượng nhẹ của các cấu trúc xốp do tính
linh hoạt không giới hạn của nó trong việc đánh bóng các khu vực
nhỏ (<1 mm2) và các bộ phận phức tạp . Đánh bóng bằng laser được
sử dụng để có được bề mặt bóng cao [21,71,72]. Đây là một quy
trình gia công hoàn toàn tự động mang lại nhiều lợi thế. Một số

Bảng 3 Tổng quan về sự phát triển gần đây trong đánh bóng bằng laser

Số lượng bài báo được

Tác giả chân trời thời gian Loại laser được sử dụng lý thuyết đề xuất
xem xét

Lamikiz và cộng sự. [31] 1995–2006 16 Laser CO2 & Nd:Yag Phương pháp hoàn thiện bề mặt cho các bộ phận được chế tạo bằng phương pháp SLS giúp

giảm 80,1% bề mặt

Jang et al. [số 8] không áp dụng 14 Laser xung UV Kỹ thuật ổn định mật độ năng lượng laser trong vi đánh bóng bằng laser

sử dụng laser xung UV trên bề mặt vật liệu [8]

Pfefferkorn và cộng sự. [62] không áp dụng 16 Laser sợi quang 200 W Một quy trình hai lượt được giới thiệu trong đó dòng mao dẫn

nhiệt ở lượt đầu tiên được sử dụng để giảm độ nhám bề mặt trong khi

ở lượt thứ hai, các tính năng của quy trình không sử dụng được

sẽ bị loại bỏ

Brinksmeier và cộng sự. [63] 1927–2003 9 Laser Nd:Yag (bước Đánh bóng các rãnh V (thép kết cấu và khuôn thép mạ niken

sóng 1064 nm) điện phân) được thực hiện bằng cách đánh bóng mài mòn, đánh bóng laze

và gia công dòng chảy mài mòn

Martan và cộng sự. [64] không áp dụng 19 Laser xung nano giây Sử dụng sự kết hợp của hệ thống dựa trên hai phản xạ, hệ thống

(Laser excimer KrF có bước đo nhiệt độ bề mặt được phát triển

sóng 248 nm và thời gian phát

xung 27 ns)

Rosa và cộng sự. [65] 1997–2014 15 Laser sợi quang (công suất 800 W Tập trung vào việc đánh bóng các bề mặt ALM bằng laze cùng với một cuộc

và bước sóng 1070 nm) điều tra thử nghiệm để mài dũa các bề mặt ALM dựa trên các chiến

lược và thông số đánh bóng bằng laze.

Bhaduri và cộng sự. [66] không áp dụng 52 Laser nano giây (ns) sợi quang Phân tích quá trình oxy hóa trên bề mặt kim loại bằng quang

pha tạp ytterbium dựa trên MOPA phổ quang điện tử tia X và quang phổ phát xạ quang phát sáng. Tỷ lệ

(công suất 50 W và bước sóng giảm bề mặt là 94% thu được bằng cách sử dụng đánh bóng bằng laser

1060 nm)

Chang et al. [51] không áp dụng 34 Laser sợi quang đơn mode pha Đề xuất rằng vùng nóng chảy và độ dày vùng ảnh hưởng nhiệt có

tạp ytterbium micro giây (công thể được biểu thị dưới dạng hàm của năng lượng lắng đọng.

suất thay đổi từ 20–500 W và Ngoài ra, khi quá trình đánh bóng được thực hiện trong môi trường

bước sóng 1060 nm) argon, không có bằng chứng về sự hình thành vết nứt

Ghi chú: UV: Tia cực tím; ALM: Sản xuất nhiều lớp phụ gia; MOPA: Bộ khuếch đại công suất dao động chính
Machine Translated by Google
14 Đằng trước. Máy móc. Tiếng Anh
về những ưu điểm chính do sử dụng tia laser cho quá trình
đánh bóng được thảo luận dưới
đây: Laser cung cấp kích thước chùm tia thậm chí có thể
tập trung vào các khu vực cụ thể. Do đó, có thể đánh bóng các
vùng chọn lọc với sự trợ giúp của đánh bóng laze ( < 1 mm2 ).
Tốc độ xử
lý cao khi so sánh với các phương pháp đánh bóng thông
thường. Tốc độ xử lý phụ thuộc vào cường độ của chùm tia và
loại vật liệu được đánh bóng. Có thể đánh bóng các bề mặt
khác nhau như bề mặt
được mài, mài mòn, tiện và mài bằng máy đánh bóng laze.
Không xảy ra các tác hại về môi trường như ô nhiễm hoặc
chất thải
mài và đánh bóng sau quá trình đánh bóng bằng laser.
Không yêu cầu lao động lành nghề thực hiện toàn bộ quy
trình
đánh bóng vì toàn bộ quy trình hoàn toàn tự động. Khi so
sánh với các kỹ thuật đánh bóng thông thường như đánh bóng cơ
học, điện
hóa, thủy động lực học và từ hóa học, đánh bóng bằng laze
giúp cải thiện vẻ ngoài của bề mặt tốt hơn bằng cách thêm
nhiều hiệu ứng bóng hơn mà các kỹ thuật đánh bóng cũ không
thể đạt được.
Mỗi loại tia laser đều có những ưu điểm riêng trong quá
trình đánh bóng. Ví dụ, laser CO2 chủ yếu được sử dụng để
đánh bóng các ứng dụng chung như nhựa và thủy tinh, trong khi
laser sợi quang được sử dụng cho các ứng dụng cụ thể như kim
loại.
Trong khi đánh bóng, độ dày lớp phủ là một yếu tố chính để
cải thiện chất lượng bề mặt của lớp được phủ. Do đó, các
phương pháp đánh bóng thông thường thất bại ở khía cạnh này
trong khi đánh bóng bằng laser giúp cải thiện chất lượng bề
mặt bằng cách duy trì độ dày của lớp phủ [73]. Một ưu điểm
khác của đánh bóng bằng laser bao gồm khả năng tái tạo cao và
ứng suất cơ học thấp đối với các bộ phận vì đây là quy trình
không tiếp xúc. Ngoài ra, không cần thêm bất kỳ chất đánh
bóng hoặc chất mài nào trong khi thực hiện thao tác đánh
bóng. Sử dụng rất ít thời gian xử lý, ngay cả những hình dạng
phức tạp của các bộ phận kim loại cũng có thể được đánh bóng
bằng kỹ thuật này. Quá trình này có thể được thực hiện trên
máy SLS thương mại [74].
Đối với các ứng dụng lắng đọng kim loại trong vài năm qua,
một số công nghệ đã xuất hiện, cụ thể là SLS [75], tạo hình
lưới kỹ thuật bằng laser [76] và nấu chảy bằng laser có chọn
lọc [77]. Các quy trình sản xuất nhanh này cho phép chế tạo
các bộ phận phức tạp nhưng thách thức lớn đối với loại quy
trình này là nó tạo ra các bề mặt có chất lượng bề mặt kém
[78]. Đánh bóng bằng laser chứng tỏ là một giải pháp thay thế
cho nhược điểm này, điều này thể hiện rõ ràng từ các kết quả
thử nghiệm do Lamikiz và cộng sự đưa ra. năm 2007 [31]. Kết
quả cho thấy, sử dụng quy trình đánh bóng laser Ra = 1 mm thu
được trên các chi tiết SLS có độ nhám ban đầu Ra = 8 mm.
Tương tự như vậy, người ta nói rằng
đánh bóng có thể chiếm hơn 30% tổng thời gian sản xuất [35].
Trong trường hợp này, đánh bóng bằng laser cũng nổi bật vì
thời gian xử lý các bộ phận ít hơn nhiều, giúp giảm thời gian
sản xuất tổng thể.
Khi nói đến loại laser cụ thể, chủ yếu có ba loại laser
được sử dụng trong ngành: laser Nd:Yag, laser CO2 và laser
sợi quang. Laser sợi quang có thể được coi là sự kế thừa lý
tưởng của laser Nd:Yag vì laser sợi quang có độ tin cậy, thời
gian hoạt động, chất lượng chùm tia cao hơn và hiệu quả cao
hơn. Nhưng khi nói đến laser CO2, nó có một kịch bản khác vì
nó có hệ số hấp thụ hoàn toàn khác khi so sánh với bước sóng
của laser sợi quang. Khi phân tích trường hợp đánh bóng kính,
laser CO2 có lợi thế hơn so với laser sợi quang vì chùm tia
laser đi trực tiếp qua kính trong laser sợi quang trong khi
nó bị thủy tinh hấp thụ khi laser CO2 hoạt động. Điều này là
do bước sóng của laser CO2 dài hơn 10 lần so với laser sợi
quang. Nhưng đối với kim loại, không thể sử dụng laser CO2
công suất thấp vì các chùm tia sẽ bị phản xạ khi chiếu vào bề
mặt kim loại.
Tuy nhiên, laser sợi quang được sử dụng phổ biến nhất hiện
nay để đánh bóng kim loại do chất lượng và hiệu quả của chùm
tia.
Đánh bóng tự động thông thường dẫn đến các vấn đề như làm
tròn cạnh và các khu vực chưa được xử lý vì các trục sâu hơn
không được xử lý [79]. Ngoài ra, điều này làm cho việc đánh
bóng các bề mặt dạng tự do trở nên khó khăn. Trong những lần
quay số đầu tiên, những loại bề mặt dạng tự do này được đánh
bóng thủ công. Nhưng với sự tiên phong của kỹ thuật đánh bóng
bằng laser, việc đánh bóng các bề mặt dạng tự do trở nên dễ
dàng hơn.
9 Thách thức trong đánh bóng bằng laser
Mặc dù có rất nhiều đặc quyền được thảo luận về quy trình
đánh bóng bằng laser, nhưng cũng có nhiều thách thức khác
nhau liên quan đến quy trình này. Chi phí ban đầu cao cho
việc đánh bóng bằng laser là một trong những thách thức lớn
mà quy trình phải đối mặt. Một máy đánh bóng laser hoàn toàn
tự động có giá trên 500000 USD. Máy đánh bóng laser bao gồm
một máy CNC 5 trục cùng với đầu quét và buồng chứa khí, nơi
giữ chi tiết gia công được đánh bóng. Một khía cạnh quan
trọng của việc sử dụng buồng khí trong quá trình đánh bóng
là ngăn chặn quá trình oxy hóa bề mặt kim loại trong quá
trình đánh bóng. Khí quyển là hỗn hợp của nhiều loại khí và
khi quá trình đánh bóng được thực hiện trong điều kiện khí
quyển, oxy trong khí quyển sẽ kết hợp với bề mặt kim loại.
Do đó, nó có thể dẫn đến sự hình thành vết nứt hoặc sự không
đều trên bề mặt sau khi đánh bóng [51].
Giới hạn nhiễu xạ của chùm tia laser là một trong những
thách thức lớn khác đối với quá trình đánh bóng bằng laser.
Khi giới hạn nhiễu xạ càng nhỏ thì độ phân giải của chùm tia
đập vào bề mặt kim loại càng nhỏ. Do đó, để đánh bóng bề mặt
kim loại, sẽ cần nhiều chùm tia hơn, do đó, nó dẫn đến tỷ lệ
tiêu thụ điện năng cao. sử dụng
Machine Translated by Google
Arun KRISHNAN et al. Cơ chế và quá trình đánh bóng bề mặt bằng tia laser
phương trình (6) [15] có thể tính được đường kính chùm tia điểm
tối thiểu nếu biết bước sóng laser và chỉ số khúc xạ.
ld , (6)
¼ 2nsinα
Trong đó d là đường kính điểm tối thiểu, là bước sóng
tôi
laser, n
là chiết suất của chùm tia tới vật liệu và α là góc phân kỳ của
chùm tia. Trong khi phân tích các kịch bản khác nhau, thông số
khó kiểm soát nhất là kích thước điểm, vì nó không chỉ phụ
thuộc vào bản thân tia laser mà còn phụ thuộc vào FOD. Các nhà
sản xuất đặt kích thước điểm và phân bố năng lượng cho tiêu
điểm cho từng loại laze và thấu kính, nhưng trong một số ứng
dụng, chùm tia laze bị lệch tiêu điểm để thu được điểm lớn hơn.
Trong quá trình đánh bóng bằng laze, chùm tia laze có thể được
làm lệch tiêu điểm để có năng suất cao hơn hoặc để thay đổi sự
phân bố năng lượng, tạo ra sự thay đổi về kích thước điểm.
Ngoài ra, người ta đã quan sát thấy trong các công trình trước
đây rằng khi độ nhám bề mặt ban đầu giảm thì quá trình đánh
bóng bằng laser sẽ kém hiệu quả hơn. Nói cách khác, bề mặt hoàn
thiện ban đầu càng tốt thì tỷ lệ đánh bóng cho quy trình laser
càng thấp. Một thí nghiệm đã sử dụng mẫu Ti-6Al-4V [29] được
sử dụng làm vật liệu thử nghiệm vì những thách thức của nó với
quá trình laser như nứt bề mặt và quá trình oxy hóa nhanh [80].
Mối quan hệ hiển thị kích thước điểm với FOD được hiển thị
trong Hình 17 [15].
Hình 17 Mối quan hệ giữa kích thước điểm và khoảng cách bù tiêu cự [15]
Từ Hình 17, có thể thấy rằng khi đặt các giá trị bù tiêu cự
từ 20 đến 40 mm, sẽ thu được đường kính điểm từ 1,12 đến 1,72
mm. Điều này được thực hiện bằng cách làm lệch tiêu điểm chùm
tia laser CO2 được sử dụng trong thí nghiệm do Ukar et al thực
hiện. năm 2010 [15]. Mục đích chính của thí nghiệm được thực
hiện bởi Ukar et al. [15] là thu được độ nhám bề mặt trung bình
(Ra) thấp hơn nhiều với đường kính chùm đỉnh và tốc độ nạp.
Mặt khác, nó cũng phụ thuộc vào mật độ năng lượng của chùm
tia laze. Đối với giá trị tối thiểu của mật độ năng lượng, sự
nóng chảy của bề mặt không xảy ra trong khi đối với giá trị tối
đa, nó phát ra trong chế độ SOM [15]. Rất khó để kiểm soát sự
thay đổi pha, tức là từ pha rắn sang pha lỏng. Nhiều mô hình
số đã được phát triển để giải bài toán biên chuyển động phi
tuyến của
15
đổi pha được gọi là bài toán Stefan [81]. Một thí nghiệm được
tiến hành trên kính để giảm thiểu ứng suất nhiệt đã phát triển
dẫn đến thất bại vì bề mặt của kính BK-7 bị nứt rất nặng khi
nung trong lò để phân tích ảnh hưởng của ứng suất nhiệt [82].
Mặc dù thủy tinh BK-7 (vô định hình) có hệ số giãn nở thấp hơn
[35] với nhiệt độ thấp nhưng ứng suất phát triển là rất lớn do
nhiệt độ cao gây ra do quá trình đánh bóng bằng lửa laze [82].
Các vết nứt được hình thành trên bề mặt kính. Do đó, rõ ràng
là kính có hệ số giãn nở thấp hơn có thể được đánh bóng bằng
cách sử dụng chùm tia laze trong khi kính có hệ số giãn nở cao
hơn không thể được đánh bóng bằng tia laze.
Đánh bóng bằng laser là kết quả của sự thay đổi pha rắn-lỏng,
do đó các tác giả đã đề xuất rằng mô hình này có thể xuất phát
từ bài toán cổ điển về ranh giới các pha chuyển động, còn được
gọi là bài toán Stefan. Các mô hình/kỹ thuật số đã được phát
triển để mô phỏng quá trình nung chảy laser phù du [81]. Laser
hiện có sẵn là những loại có bước sóng quang học nằm trong
khoảng từ 248 nm đến 10,6 mm với công suất cao [83]. Do đó,
việc mua sắm độ phân giải ở quy mô nano (£ 100 nm) vẫn còn là
một trở ngại. Mặc dù quy trình gia công siêu chính xác đang
rất được quan tâm trong lĩnh vực công nghiệp, việc đo lường các
cấu trúc cấp độ nano vẫn còn là một rào cản.
Fang et al. [84] đã giải thích cả phép đo tiếp xúc và không
tiếp xúc của cấu hình bề mặt ở thang đo nano, trong đó CMM hiện
được sử dụng phổ biến nhất trong phép đo tiếp xúc cho các bề
mặt dạng tự do trong khi phép đo giao thoa kế và CMM với cảm
biến lấy nét tự động được gắn với đầu dò laze được sử dụng cho
phép đo không tiếp xúc quá trình đo tiếp xúc. Một thách thức
lớn mà ngành công nghiệp phải đối mặt là ở lớp hoàn thiện bề
mặt của các bề mặt quang học dạng tự do này. Một số thách thức
chính đối với cấu trúc kim loại khi thực hiện đánh bóng bằng
laze sẽ được thảo luận bên dưới:
Đánh bóng diện tích lớn hơn (ít nhất là 4 ở kích
thước wafer); Khoảng cách hoạt động lớn
hơn (> 1 mm); Hoàn
thiện bề mặt tốt;
Loại bỏ các mảnh vụn; Tỷ
lệ sản xuất cao
hơn; Chi phí thấp hơn; Kiểm soát kích thước chính xác hơn của các th
chẳng hạn như đường kính chùm tia và cường độ của chùm tia;
Sự oxy hóa bề mặt kim loại khi đánh bóng trong môi trường
không khí;
Việc đánh bóng các bề mặt đã được làm nhẵn ban đầu.
Các nghiên cứu cơ bản được yêu cầu để phân biệt cấu trúc hạt
vật liệu ảnh hưởng như thế nào đến quá trình đánh bóng bằng
laser và các bề mặt cuối cùng thu được sau khi đánh bóng. Vẫn
còn một thách thức khoa học phổ biến, đó là cách bức xạ chùm
tia laze ảnh hưởng đến các tính chất và cấu trúc của vật liệu
nano. Sử dụng kỹ thuật tự hoàn thiện bằng cách hóa lỏng, người
ta đã chứng minh rằng vật liệu nano có thể được đánh bóng bằng
laser excimer [85]. Việc đánh bóng các khuôn NIL (nanoimprint
lithography) với kích thước tính năng rất nhỏ là bí truyền
Machine Translated by Google
16 Đằng trước. Máy móc. Tiếng Anh
[86]. Một thách thức khác trong khi thực hiện đánh bóng bằng
laser trong vật liệu nano là việc bịt kín các kênh nano. Đó
là một quá trình vất vả khi các kênh bị tắc. Lý do cho điều
này là các vật liệu mềm có thể được nén vào kênh một cách
trơn tru. Do đó, trong khi thực hiện quá trình đánh bóng, vật
liệu nóng chảy có thể chảy vào kênh này và do đó gây tắc
nghẽn kênh. Ngoài ra, sự phát triển của các vết nứt cũng có
thể là mối đe dọa trên bề mặt kim loại do sự không phù hợp
trong sự giãn nở nhiệt giữa chất nền và vật liệu.
Ảnh hưởng của sự hình thành ứng suất dư và sự hình thành
ứng suất nén được nghiên cứu bởi Preußner et al. [86]. Ông
tuyên bố rằng sự hình thành ứng suất dư là kết quả của lực
kéo và sự hình thành ứng suất nén là do ứng suất biến đổi.
Ứng suất dư chuyển từ ứng suất kéo sang ứng suất nén với sự
gia tăng đường kính chùm tia laze hoặc công suất laze và cũng
từ số lần lặp lại các phôi được nấu chảy lại [86]. Ứng suất
dư được phát triển khi tốc độ gia nhiệt hoặc làm mát lớn xảy
ra trong một mẫu.
Ứng suất dư bị ảnh hưởng nhiều bởi các tham số quá trình. Mặt
khác, người ta quan sát thấy rằng bước sóng lớn hơn như 3 mm
và nếu đường kính và công suất chùm tia cũng cao sẽ dẫn đến
ứng suất nén.
Sự phát triển của ứng suất nén xảy ra khi bề mặt được nấu
chảy lại nhiều lần [86].
Tuy nhiên, có nhiều chiến lược để kiểm soát cấu trúc liên
kết bề mặt trong quá trình đánh bóng bằng laser. Theo cuộc
điều tra được thực hiện bởi Marimuthu et al. [29], người đã
sử dụng một mô hình số dựa trên công thức tính toán động lực
học chất lỏng, nhận thấy rằng năng lượng nhiệt đầu vào là
tham số chính ảnh hưởng đến sự đối lưu của bể tan chảy và
kiểm soát chất lượng bề mặt.
10 ứng dụng
Laser đã được sử dụng cho nhiều ứng dụng như hàn, cắt, khắc,
hàn, khoan, gia công vi mô, mài mòn và lắng đọng, đánh dấu,
khắc và đóng rắn [69,87]. Đánh bóng bề mặt ở quy mô micro
hoặc nano rất được quan tâm trong các lĩnh vực công nghiệp.
Fang et al. [7] đề xuất gia công các bề mặt phức tạp khác
nhau ở quy mô nano chẳng hạn như kết cấu trên bề mặt cong nơi
có thể thực hiện đánh bóng bằng laser để cải thiện chất lượng
bề mặt. Fang et al. [84], nơi ông chỉ ra nhiều thách thức
chính và gợi ý những cách khả thi để tránh chúng.
Đánh bóng bằng laser nổi lên như một cải tiến đột phá hiện
được sử dụng rộng rãi cho một loạt các ứng dụng chủ yếu trong
mục đích y tế và công nghiệp.
10.1 Ứng dụng công nghiệp
Để có được hiệu quả cao hơn của thiết bị tổng thể cao
bề mặt được đánh bóng của các thành phần riêng lẻ với tỷ lệ
chính xác cao là mong muốn. Vì lý do này, đánh bóng bằng
laser đứng đầu trong danh sách ưu tiên. Đạt được bề mặt rất
mịn mà không có bất kỳ khuyết tật bề mặt nào. Một loạt các
vật liệu như gốm sứ [88], kim loại như thép [63,89], hợp kim
titan [5,24] và niken [12]. Để cạnh tranh với phần còn lại
của thế giới, các công ty châu Âu đã buộc phải chuyển sang
các công nghệ mới nổi như đánh bóng bằng laze hỗ trợ quá
trình sản xuất lớp phụ gia [90]. Bằng cách kết hợp đánh bóng
bằng laser, quy trình này có thể đạt được tốc độ nhanh hơn do
thời gian xử lý bề mặt vật liệu ít hơn so với các quy trình
đánh bóng khác. Cả laser xung và sóng liên tục đều được sử
dụng trong các ngành công nghiệp để làm phẳng bề mặt. Trong
các ngành sản xuất LCD (màn hình tinh thể lỏng), kỹ thuật bẻ
gãy điều khiển bằng laser hiện nay thường được sử dụng để
tách kính phẳng [91]. Có thể thấy xu hướng chung của việc sử
dụng laser excimer trong các ngành đánh bóng vật liệu gốm sứ
[92]. Hầu hết titan và thép là những vật liệu được ưu tiên
đánh bóng do chi phí thấp và độ tin cậy của chúng. Ngoài ra,
laser sợi quang là loại laser được ưa chuộng nhất được sử
dụng trong các ngành công nghiệp do chi phí thấp, hiệu quả
cao, chất lượng chùm tia cao, độ tin cậy và có thể dễ dàng
làm tan chảy các bề mặt kim loại [93]. Việc đánh bóng bề mặt
dạng tự do mặc dù vẫn còn là một thách thức, nhưng nó đã
chứng tỏ được sự quan tâm cao trong lĩnh vực công nghiệp. Ví
dụ, Hình 18 [94] cho thấy bề mặt hình cầu ban đầu và được
đánh bóng. Đánh bóng bằng laser trong những năm gần đây đã
mở rộng ứng dụng của nó sang lĩnh vực viễn thông để đạt được
độ hoàn thiện bề mặt có độ bóng cao [94]. 'Vật liệu gốm đánh
bóng bằng laser' lần đầu tiên được cấp bằng sáng chế vào năm
2017 bởi Apple, lần đầu tiên được sử dụng trong đồng hồ Apple
bằng gốm [94]. Việc đánh bóng các vật liệu cứng thậm chí làm
cho đánh bóng bằng laser phù hợp cho các ứng dụng công nghiệp.
Hình 18 Nắp hình cầu được đánh bóng bằng laser (ở bên trái) và bề mặt ban
đầu (phải) [94]
10.2 Ứng dụng y tế
Đánh bóng tinh xảo các thiết bị y sinh, dụng cụ phẫu thuật
và cấy ghép cơ thể đã làm tăng nhu cầu sử dụng laser.
Việc sử dụng sợi quang trong ngành y tế phụ thuộc vào
Machine Translated by Google
Arun KRISHNAN et al. Cơ chế và quá trình đánh bóng bề mặt bằng tia laser
các ứng dụng phổ biến như trong máy nội soi, thiết bị quang phổ
từ xa và cảm biến vị trí hoặc đếm nhấp nháy, trong các cảm biến
đo thính lực y tế [95]. Năm 2014, một nghiên cứu khả thi của
Tsai et al. [96] đã được tiến hành trên việc đánh bóng sợi quang
để loại bỏ các mặt đầu hình nón trong sợi quang. Các bề mặt của
thấu kính siêu nhỏ cần được đánh bóng cao để đạt được chất lượng
tốt nhất. Một ứng dụng khác của đánh bóng laser là làm mịn các
vùng bên trong như các kênh vi lỏng. Weigarten và cộng sự. [97]
đã thực hiện đánh bóng bằng laze các thành bên trong của các
kênh chất lỏng vi mô của silica nung chảy trong đó các chùm tia
laze CO2 xung cực ngắn có bước sóng = 10,6 mm được sử dụng cho
mục đích này do thực tế là
tôi silica nung chảy có độ sâu thấu quang
thấp (4– 30mm). Năm 2016, Jung và cộng sự. [98] cho thấy bề mặt
được tạo ra bởi quá trình mài trong vật liệu silica nung chảy
nếu được đánh bóng bằng laser, sẽ cho kết quả là bề mặt nhẵn
hơn. Các thiết bị chất lỏng siêu nhỏ có các ứng dụng đầy hứa hẹn
cho nghiên cứu sinh học cũng như hóa học và để tăng hiệu quả của
chúng, đánh bóng bằng laser được thông qua.
Titan và các hợp kim của nó cũng được sử dụng rộng rãi trong
ngành y tế với nhiều ứng dụng khác nhau như vật liệu cấy ghép
chỉnh hình nha khoa [99]. Laser Excimer được sử dụng để đánh
bóng các vật cấy ghép y tế làm bằng titan [100]. Cùng với tất
cả các phương pháp đánh bóng bằng laser này, việc đánh bóng bằng
laser được sử dụng để có được bề mặt có độ bóng cao và loại bỏ
các góc và cạnh sắc nhọn trong ống đỡ động mạch [101,102]. Ngoài
ra, các bộ phận bơm tim như trục và nắp trục ngày nay cũng đang
sử dụng tia laze để làm nhẵn bề mặt của nó như trong Hình 19 [103]. các vết nứt do quá trình oxy hóa và cacbon hóa bề mặt. Nếu các
Hình 19 Sơ đồ thể hiện quá trình đánh bóng moay ơ và nắp moay ơ
bằng laser [103]
Nhu cầu làm nhẵn bề mặt của cấy ghép y tế và các thành phần
được sử dụng trong phẫu thuật tim như thiết bị hỗ trợ tâm thất
[104]. Năm 1991, Buser et al. [105] đã nghiên cứu ảnh hưởng của
việc tích hợp cấy ghép titan vào xương. Ông phát hiện ra rằng
với sự gia tăng độ nhám bề mặt của implant, sẽ có sự gia tăng
tiếp xúc giữa xương và implant. Điều này có thể gây thêm tổn
thương bên trong cơ thể chúng ta do ma sát xảy ra giữa xương và
mô cấy. Nhưng các nghiên cứu khác [106–108] không chứng minh
được lời giải thích này từ Buser et al. [105].
17
10.3 Các ứng dụng khác
Các lĩnh vực cao cấp luôn cần những thiết bị có độ chính xác cao
cho nhiều mục đích khác nhau như thiết bị nhìn đêm. Cùng với các
thiết bị quang điện tử này được sử dụng trong các lĩnh vực hình
ảnh và trong các ứng dụng hàng không, các thành phần riêng lẻ
đòi hỏi bề mặt có độ bóng cao cũng được đánh bóng bằng laser
[65]. Laser CO2 đã được sử dụng rộng rãi trong nhiều ứng dụng
công nghiệp vì khả năng của laser CO2 trong việc đánh bóng kính
hiệu quả hơn so với laser sợi quang. Các góc nhọn bên trong các
thành phần sợi quang được sử dụng trong ứng dụng quân sự được
loại bỏ bằng cách đánh bóng bằng laze. Việc đánh bóng bề mặt
kính hầu hết có thể được thực hiện bằng cách sử dụng tia laze
CO2 [109] có thể được sử dụng trong các thiết bị nhìn ban đêm.
Máy dò quang đánh bóng sử dụng laser CO2 có tỷ lệ quan tâm lớn
trong quân sự. Şimşek và cộng sự. [58] cho thấy độ nhám bề mặt
20,4 và 4,07 nm có thể đạt được từ độ nhám bề mặt ban đầu là 30
và 9 mm.
11 Kết luận
Dựa trên việc xem xét các bài báo khác nhau đã xuất bản, laser
xung được ưu tiên hơn nhiều khi xem xét tính khả thi về kinh tế
vì laser xung công suất thấp có thể thực hiện quy trình đánh
bóng. Quá trình đánh bóng dẫn đến hư hỏng bề mặt do hình thành
thông số laser, chẳng hạn như mật độ năng lượng, đường kính
điểm, cường độ chùm tia, được kiểm soát chính xác, thì có thể
đạt được bề mặt có độ bóng cao bằng cách đánh bóng bằng laser.
Đường kính chùm tia laser có thể được điều chỉnh tùy theo công
suất laser đã được sử dụng. Bằng cách sử dụng công suất laser
cao hơn, có thể sử dụng các chùm tia lớn hơn sẽ bao phủ nhiều bề
mặt hơn cùng một lúc, điều này sẽ làm giảm đáng kể thời gian
đánh bóng. Tuy nhiên, việc sử dụng công suất laser cao, tốc độ
quét lớn hơn và khoảng cách nở cao hơn có thể gây ra các gợn
sóng trên bề mặt gia công. Nhiều nhà nghiên cứu đang nghiên cứu
các loại vật liệu khác nhau, đặc biệt là đánh bóng các kim loại
khác nhau bằng laser. Các chiến lược nên được sử dụng để đánh
bóng bằng laser cùng với việc phân tích các yếu tố đã được biết
là ảnh hưởng đến việc đánh bóng phải được nghiên cứu rõ ràng hơn.
Lời cảm ơn Các tác giả xin cảm ơn Fusheng Liang đã hỗ trợ tham khảo. Cũng xin cảm
ơn sự hỗ trợ nhận được từ Quỹ khoa học Ireland (SFI) (Grant số 15/RP/B3208) và Quỹ
khoa học tự nhiên quốc gia Trung Quốc (NSFC) (Grant số 51320105009 và 61635008).
Truy cập Mở Bài viết này được cấp phép theo Giấy phép Quốc tế Creative Commons
Attribution 4.0, cho phép sử dụng, chia sẻ, điều chỉnh, phân phối và tái sản xuất
ở bất kỳ phương tiện hoặc định dạng nào, miễn là bạn cung cấp tín dụng phù hợp cho
(các) tác giả gốc và nguồn, cung cấp liên kết đến giấy phép Creative Commons và
cho biết liệu các thay đổi có được thực hiện hay không.
Hình ảnh hoặc tài liệu của bên thứ ba khác trong bài viết này được bao gồm trong
giấy phép Creative Commons của bài viết, trừ khi có quy định khác trong hạn mức
tín dụng đối với tài liệu. Nếu tài liệu không có trong Creative Commons của bài viết
Machine Translated by Google

18 Đằng trước. Máy móc. Tiếng Anh

phép và mục đích sử dụng của bạn không được phép theo quy định pháp luật hoặc vượt sản xuất các thành phần hợp kim CoCr với hình học bề mặt phức tạp.
quá mục đích sử dụng được phép, bạn sẽ cần phải xin phép trực tiếp từ chủ sở hữu bản
Tạp chí Công nghệ Chế biến Vật liệu, 2018,
quyền.
262: 53–64
Để xem bản sao của giấy phép này, hãy truy cập http://creativecommons.org/licenses/
17. Ramos JA, Bourell DL, Beaman J J. Bề mặt bị nóng chảy quá mức trong
by/4.0/.
quá trình đánh bóng bằng laser các bộ phận kim loại SLS gián tiếp.

Materials Research Society Symposium-Proceedings,

Người giới thiệu
2002, 758: 53–61 18. Ramos J, Murphy J, Wood K. Tăng cường độ nhám bề mặt

của các bộ phận kim loại SLS gián tiếp bằng cách đánh bóng bề mặt

1. Ikesue A, Aung Y L. Vật liệu laser gốm. quang tử tự nhiên, bằng laser. Trong: Kỷ yếu Hội nghị chuyên đề Chế tạo dạng tự do rắn.

2008, 2(12): 721–727 Austin: Đại học Texas ở Austin, 2001, 28–38

2. Willenborg E. Đánh bóng bằng bức xạ laze. Trong: Poprawe R, chủ biên. 19. Ramos JA, Bourell DL, Beaman J J. Đặc tính bề mặt của các bộ phận SLS

Tailored Light 2. Berlin: Springer, 2011, 196–203 3. gián tiếp được đánh bóng bằng laser. Trong: Kỷ yếu Hội nghị chuyên

Perry TL, Werschmoeller D, Li X, et al. Micromelting để đánh bóng vi đề Chế tạo dạng tự do rắn. Austin: Đại học Texas ở Austin, 2002, 554–

laze các thành phần kim loại meso/micro. Trong: Kỷ yếu Hội nghị Khoa 562

học và Kỹ thuật Sản xuất Quốc tế ASME 2007. Atlanta: ASME, 2007, 363– 20. Temple P, Lowdermilk W, Milam D. Đánh bóng bề mặt silica nung chảy

369 4. Wang HY, Bourell DL, Beaman J J. Đánh bóng thanh bằng laser carbon dioxide để tăng khả năng chống lại tác hại của

silica có rãnh bằng laze. Khoa học và Công nghệ Vật liệu, 2003, 19(3): laser ở bước sóng 1064 nm. Quang học ứng dụng, 1982, 21(18): 3249–

382– 3255

387 21. Avilés R, Albizuri J, Lamikiz A, et al. Ảnh hưởng của việc đánh bóng

5. Perry TL, Werschmoeller D, Li X, et al. Đánh bóng laser xung của các bằng laser đối với độ bền mỏi chu kỳ cao của thép AISI 1045 carbon

mẫu Ti6A14V được nghiền siêu nhỏ. Tạp chí Quy trình Sản xuất, 2009, trung bình. Tạp chí Quốc tế về Mệt mỏi, 2011, 33(11): 1477–1489 22.

11(2): 74–81 6. Ukar E, Fang ZL, Lu L, Chen L, et al. Đánh bóng bằng laser siêu hợp kim được sản

Lamikiz A, López de Lacalle LN, et al. Đánh bóng thép công cụ bằng laser xuất bằng phụ gia. Procedia CIRP, 2018, 71: 150–154 23. Temmler

CO2 và laser diode công suất cao. Tạp chí Quốc tế về Máy công cụ và A, Willenborg E, Wissenbach K. Đánh bóng bằng laser. SPIE 8243, Ứng dụng

Sản xuất, 2010, 50(1): 115–125 7. Fang FZ, Zhang XD, Gao W, et al. laze trong sản xuất vi điện tử và quang điện tử (LAMOM) XVII, 2012,

Chế tạo nano—Viễn cảnh và ứng dụng. Biên niên sử CIRP-Công nghệ sản 82430W 24. Kumstel J, Kirsch B. Đánh bóng các hợp

xuất, 2017, 66(2): 683–705 kim gốc titan và niken sử dụng bức xạ laze cw. Physics Procedia, 2013,

41: 362–371 25. Bordatchev EV, Hafiz AMK, Tutunea-Fatan O R. Hiệu

8. Jang PR, Jang TS, Kim NC, et al. Đánh bóng vi mô bằng laser cho bề suất đánh bóng bằng laser trong quá trình hoàn thiện bề mặt kim loại. Tạp

mặt kim loại bằng laser xung nano giây UV và laser CW. chí Quốc tế về Công nghệ Sản xuất Tiên tiến, 2014, 73(1–4):

Tạp chí Quốc tế về Công nghệ Sản xuất Tiên tiến, 2016, 85(9–12): 2367–

2375 9. Fraunhofer ILT. Laser 35–52

Micro đánh bóng vật liệu nhôm, 26. Wang HY, Bourell DL, Beaman JJ Jr. Đánh bóng thanh silica có rãnh
69572. 2011 bằng laze. Khoa học và Công nghệ Vật liệu, 2003, 19(3): 382– 387

10. Hafiz AM K. Khả năng ứng dụng của laser pico giây để đánh bóng vi mô

bề mặt kim loại. Luận án Tiến sĩ. Luân Đôn: Đại học Western Ontario, 27. Dutta Majumdar J, Manna I. Xử lý vật liệu laser. Tạp chí Tài liệu

2013 Quốc tế, 2011, 56(5–6): 341–388 28. Mishra S, Yadava

11. Ostholt R, Willenborg E, Wissenbach K. Đánh bóng bề mặt kim loại dạng V. Vi gia công chùm tia laser (LBMM)—Một bài phê bình. Quang học và Laser

tự do bằng laser. Trong: Kỷ yếu của Đại hội Quốc tế về Ứng dụng Laser trong Kỹ thuật, 2015, 73: 89–122 29. Marimuthu S, Triantaphyllou

& Quang điện tử. 2010, A, Antar M, et al. Đánh bóng laser các thành phần nấu chảy laser có chọn
597–603 lọc. Tạp chí Quốc tế về Máy công cụ và Sản xuất, 2015, 95: 97–104 30.

12. Perry TL, Werschmoeller D, Li X, et al. Ảnh hưởng của thời lượng xung Temmler A, Willenborg E, Wissenbach K. Thiết kế bề mặt

laser và tốc độ nạp đối với quá trình đánh bóng xung laser của các bằng cách nung chảy lại bằng laser. Trong: Kỷ yếu Hội nghị Quốc tế lần

mẫu niken được chế tạo vi mô. Tạp chí Khoa học và Kỹ thuật Chế tạo, thứ 7 về Sản xuất vi mô. Evanston: Đại học Tây Bắc, 2012, 419–430

2009, 131(3): 031002 13.

Mohajerani S, Miller JD, Tutunea-Fatan OR, et al. Mô hình vật lý nhiệt

của chiều rộng rãnh trong quá trình đánh bóng thép công cụ H13 bằng 31. Lamikiz A, Sánchez JA, López de Lacalle LN, et al. Đánh bóng laser

laser. Procedia Sản xuất, 2017, 10: 708–719 14. Zhao L, các bộ phận được tạo ra bằng phương pháp thiêu kết laser chọn lọc.

Klopf JM, Reece CE, et al. Đánh bóng bằng laser để quản lý địa hình bề Tạp chí Quốc tế về Máy công cụ và Sản xuất, 2007, 47(12–13):

mặt khoang máy gia tốc. Materi alwissenschaft und Werkstofftechnik, 2040–2050

2015, 46(7): 675–685 15. Ukar E, Lamikiz A, Lopez De Lacalle 32. Li Y, Wu Y, Zhou L, et al. Đánh bóng khô silica nóng chảy có hỗ trợ

LN, et al. Tối ưu hóa tham số đánh bóng bằng laser trên các bộ phận thiêu rung bằng cách sử dụng máy đánh bóng mài mòn cố định. Tạp chí Quốc tế

kết bằng laser chọn lọc. Tạp chí Quốc tế về Gia công và Khả năng Gia về Máy công cụ và Sản xuất, 2014, 77: 93–102 33. Steen

công của Vật liệu, 2010, 8(3/4): 417–432 16. Yung KC, Xiao TY, Choy WM, Mazumder J. Quang học laser cơ bản. Trong: Steen WM, Mazumder J, biên

HS, et al. Đánh tập. Xử lý vật liệu bằng laser. Luân Đôn: Springer, 2010, 79–130

bóng laser phụ gia

Machine Translated by Google

Arun KRISHNAN et al. Cơ chế và quá trình đánh bóng bề mặt bằng tia laser 19

34. Dahotre N B. Xử lý Vật liệu Laser của WM Steen Springer Verlag, London, vi đánh bóng laser sóng liên tục. Tạp chí Công nghệ Chế biến Vật liệu,

England 206 trang, bìa mềm, 1991. Vật liệu và Quy trình Sản xuất, 1993, 2016, 234: 177–194

8(3): 399–400 35. Morikawa J, Orie A, Hashimoto T, và 52. Schaffer CB, Brodeur A, Mazur E. Sự cố và hư hỏng do laser gây ra trong

cộng sự. Các tính chất nhiệt và quang học của các vùng lưỡng chiết cấu trúc các vật liệu khối trong suốt gây ra bởi các xung laser femto giây tập

bằng laser femto giây và gây ra ứng suất trong sapphire. Quang học nhanh, trung chặt chẽ. Khoa học và Công nghệ Đo lường, 2001, 12(11): 1784–1794

2010, 18(8): 8300–8310 53. Schaffer CB, García JF,

Mazur E. Gia nhiệt hàng loạt vật liệu trong suốt bằng laser femto giây tốc độ

36. Tang SH. Sự lan truyền của chùm tia laze—Quang học chùm tia Gaussian. lặp lại cao. Vật lý ứng dụng A, 2003, 76(3): 351–354

Ghi chú phòng thí nghiệm. 2009, 2–7. Lấy từ http://physics.nus.edu.sg/

pc2193/Experiments/lab.pdf 54. Hafiz AMK, Bordatchev EV, Tutunea-Fatan R O. Phân tích thực nghiệm về khả

37. Liu J M. Kỹ thuật đơn giản để đo kích thước điểm chùm tia Gaussian xung. năng ứng dụng của laser pico giây để đánh bóng vi mô siêu hợp kim Inconel

Optics Letters, 1982, 7(5): 196–198 38. Dickey FM. Laser 718 được nghiền nhỏ. Tạp chí Quốc tế về Công nghệ Sản xuất Tiên tiến,

Beam Shaping: Theory and Techniques. tái bản lần 2 2014, 70(9–12): 1963–1978

Boca Raton: CRC Press, 2014 39.

Litvin IA, King G, Strauss H. Laser định hình chùm tia với độ khuếch đại có 55. Chen C, Tsai H L. Nghiên cứu cơ bản về cấu trúc phồng được tạo ra trong

thể điều khiển được. Vật lý ứng dụng B, 2017, 123: 174 40. quá trình đánh bóng bằng laser. Quang học và Laser trong Kỹ thuật, 2018,

Tokarev VN, Wilson JIB, Jubber MG, et al. Mô hình hóa quá trình cắt bỏ bề mặt 107: 54–61 56. Paluszyński J,

gồ ghề bằng laser tự giới hạn: Ứng dụng để đánh bóng màng kim cương. Kim Slówko W. Phép đo độ nhám vi mô bề mặt bằng kính hiển vi điện tử quét. Tạp

cương và các tài liệu liên quan, 1995, 4(3): 169–176 chí Kính hiển vi, 2009, 233(1): 10–17

41. Nowak KM, Baker HJ, Hall D R. Đánh bóng silica bằng laser hiệu quả 57. Gloor S, Lüthy W, Weber HP, et al. Đánh bóng màng kim cương dày bằng tia

linh kiện vi quang. Quang học ứng dụng, 2006, 45(1): 162 cực tím cho cửa sổ hồng ngoại. Khoa học bề mặt ứng dụng, 1999,

138–139: 135–139
42. Shao TM, Hua M, Tam HY, et al. Một cách tiếp cận để mô hình hóa đánh bóng

kim loại bằng laser. Surface and Coatings Technology, 2005, 197(1): 77–84 58. Şimşek EU, Şimşek B, Ortaç B. Đánh bóng bằng laser CO2 của bộ làm lệch

43. Vadali M, hướng sợi quang hình nón. Vật lý ứng dụng B, 2017, 123(6):

176
Ma C, Duffie NA, et al. Ảnh hưởng của thời lượng xung laser đối với quá trình

đánh bóng vi laser xung. Tạp chí Chế tạo Micro và Nano, 2012, 1(1): 59. Sato H, O-Hori M, Nakayama K. Đo độ nhám bề mặt bằng kính hiển vi điện tử

011006 quét. Biên niên sử CIRP-Công nghệ sản xuất, 1982, 31(1): 457–462

44. Suder WJ, Williams S W. Khảo sát ảnh hưởng của các thông số tương tác vật

liệu laser cơ bản trong hàn laser. Tạp chí Ứng dụng Laser, 2012, 24(3): 60. Guo KW, Tam H Y. Nghiên cứu đánh bóng thép DF2 (AISI O1) bằng Laser

032009 Nd:YAG. Tạp chí Nghiên cứu Khoa học Vật liệu, 2011, 1(1): 54–77

45. Dadbakhsh S, Hao L, Kong C Y. Cải thiện bề mặt hoàn thiện của các mẫu LMD

bằng cách đánh bóng bằng laze. Tạo mẫu vật lý và ảo, 2010, 5(4): 215–221 61. Raabe D, Sachtleber M, Weiland H, et al. Cơ học vi mô quy mô hạt của các

bề mặt đa tinh thể trong quá trình biến dạng dẻo. Acta Materialia, 2003,

46. Nüsser C, Wehrmann I, Willenborg E. Ảnh hưởng của phân bố cường độ và thời 51(6): 1539–1560

lượng xung đối với quá trình đánh bóng vi mô bằng laser. Vật lý Procedia, 62. Pfefferkorn FE, Duffie NA, Li X, et al. Cải thiện độ hoàn thiện bề mặt

2011, 12: 462–471 trong quá trình đánh bóng vi laze xung bằng cách sử dụng dòng mao dẫn

47. Perry TL, Werschmoeller D, Duffie NA, et al. Kiểm tra quá trình vi đánh nhiệt. Biên niên sử CIRP-Công nghệ sản xuất, 2013, 62(1): 203–206

bóng laser xung chọn lọc trên các mẫu niken được chế tạo vi mô bằng cách 63. Brinksmeier E, Riemer O, Gessenharter A, et al. Đánh bóng các khuôn có cấu

sử dụng phân tích tần số không gian. Tạp chí Khoa học và Kỹ thuật Sản trúc. Biên niên sử CIRP-Công nghệ sản xuất, 2004, 53(1): 247–250

xuất, 2009, 131(2): 021002 48. Guo W, Hua M, Tse PWT,

et al. Lựa chọn thông số quy trình đánh bóng laser DF2 (AISI O1) bằng laser 64. Martan J, Cibulka O, Semmar N. Điều tra nóng chảy laser xung nano giây

xung Nd:YAG sử dụng thiết kế trực giao. Tạp chí Quốc tế về Công nghệ Sản bằng phép đo bức xạ hồng ngoại và các phương pháp dựa trên phản xạ.

xuất Tiên tiến, 2012, 59(9–12): 1009–1023 Khoa học bề mặt ứng dụng, 2006, 253(3): 1170–1177 65.

Rosa B, Mognol P, Hascoët J. Đánh bóng các bề mặt sản xuất phụ gia bằng laze.

49. Hafiz AMK, Bordatchev EV, Tutunea-Fatan R O. Ảnh hưởng của sự chồng lấn Tạp chí Ứng dụng Laser, 2015, 27(S2): S29102

giữa các vệt tia laze đối với chất lượng bề mặt khi đánh bóng thép công

cụ AISI H13 bằng laze. Tạp chí Quy trình Sản xuất, 2012, 14(4): 425–434 66. Bhaduri D, Penchev P, Batal A, et al. Đánh bóng bằng laser các thành phần

kích thước trung bình được in 3D. Khoa học bề mặt ứng dụng, 2017, 405: 29–

46
50. Chow MTC, Bordatchev EV, Knopf G K. Nghiên cứu thực nghiệm về tác động của

việc thay đổi khoảng cách bù tiêu cự trên các bề mặt được đánh bóng vi mô 67. Nasim H, Jamil Y. Laser diode: Từ phòng thí nghiệm đến công nghiệp.

bằng laser. International Journal of Advanced Manufacturing Technology, Optics & Laser Technology, 2014, 56: 211–222 68.

2013, 67(9–12): 2607–2617 51. Chang CS, Chung Fritsch M, Medrano Echalar LF. Công nghệ mới trong khu vực—Tác động của khả

CK, Lin J F. Chất lượng bề mặt, vi cấu trúc, tính chất cơ học và kết quả ma năng hấp thụ và tích tụ đối với nghiên cứu công nghệ laser ở Tây Đức,

sát của thép công cụ SKD 61 nhiệt luyện trước điều trị bị ảnh hưởng bởi 1960–2005. Kinh tế Đổi mới và Công nghệ Mới, 2015, 24(1–2): 65–94

năng lượng lắng đọng của

Machine Translated by Google

20 Đằng trước. Máy móc. Tiếng Anh

69. Bogue R. Năm mươi năm của laser: Vai trò của nó trong xử lý vật liệu. 89. Avilés R, Albizuri J, Ukar E, et al. Ảnh hưởng của việc đánh bóng

Tự động hóa lắp ráp, 2010, 30(4): 317–322 bằng laser trong môi trường trơ đối với độ bền mỏi chu kỳ cao của

70. King D A. Tác động khoa học của các quốc gia. Nature, 2004, 430 thép AISI 1045. Tạp chí Quốc tế về Mệt mỏi, 2014, 68: 67–

(6997): 311–316 79 90. Petrovic V, Vicente Haro Gonzalez J, Jordá Ferrando O, et al.

71. Triantafyllidis D, Li L, Stott F H. Ảnh hưởng của việc điều chỉnh độ Sản xuất theo lớp phụ gia: Các lĩnh vực ứng dụng công nghiệp được

nhám bề mặt của gốm dựa trên Al2O3 đối với góc tiếp xúc với chất thể hiện thông qua các nghiên cứu điển hình. Tạp chí Nghiên cứu Sản

lỏng do tia laser gây ra. Khoa học Vật liệu và Kỹ thuật A, 2005, xuất Quốc tế, 2011, 49(4): 1061–1079

390(1–2): 271–277 91. Tsai CH, Lin B C. Cắt laser với vết nứt có kiểm soát và uốn cong

72. Fraunhofer ILT. Laser đánh bóng kim loại. 2012 73. trước được áp dụng cho việc tách kính LCD. Tạp chí Quốc tế về Công

Plikhunov V, Oreshkin O. Thực hiện đánh bóng bằng laser để cải thiện nghệ Sản xuất Tiên tiến, 2007, 32(11–12): 1155– 1162

chất lượng bề mặt của lớp phủ ion-plasma chân không.

Tạp chí Ứng dụng Laser, 2017, 29(1): 011704 74. 92. Reeber R R. Kỹ thuật bề mặt của gốm kết cấu. Tạp chí của Hiệp hội

Bustillo A, Ukar E, Rodriguez JJ, et al. Mô hình hóa các tham số quá Gốm sứ Hoa Kỳ, 1993, 76(2): 261–268 93. Arnaud C,

trình trong quá trình đánh bóng các thành phần thép bằng laser bằng Almirall A, Loumena C, et al. Tiềm năng cấu trúc và đánh bóng bằng laser

cách sử dụng tập hợp các cây hồi quy. Tạp chí quốc tế về sản xuất sợi quang trên kim loại đồng nhất. Tạp chí Ứng dụng Laser, 2017,

tích hợp máy tính, 2011, 24(8): 735–747 29(2): 022501 94. Dormehl L. Apple muốn

75. Olakanmi EO, Cochrane RF, Dalgarno KW. Đánh giá về quá trình thiêu sử dụng tia laser để đánh bóng gốm trong tương lai

kết/nóng chảy chọn lọc bằng laser (SLS/SLM) của bột hợp kim nhôm: iPhone. 2017

Quá trình xử lý, vi cấu trúc và đặc tính. Tiến bộ trong Khoa học Vật 95. Prokopczuk K, Poczesny T, Sobotka P, et al. Cảm biến sợi quang bên

liệu, 2015, 74: 401–477 ngoài cho các ứng dụng đo thính lực y tế. Acta Physica Polonica A,

76. Griffith ML, Keicher DM, Atwood CL, et al. Chế tạo dạng tự do của 2012, 122(5): 957–961

các thành phần kim loại bằng cách sử dụng tạo hình mạng được thiết 96. Tsai Y, Huang G, Chen J, et al. Một nghiên cứu khả thi về tỷ lệ loại

kế bằng laser (LENSTM). Trong: Kỷ yếu của Hội nghị chuyên đề Chế tạo bỏ vật liệu của mặt cuối hình nón của sợi quang khi đánh bóng. Cơ

dạng rắn tự do lần thứ 7. Austin, 1996, 125–132 học và Vật liệu Ứng dụng, 2014, 518: 19–24 97. Weingarten C,

77. Thijs L, Verhaeghe F, Craeghs T, et al. Một nghiên cứu về sự tiến Steenhusen S, Hermans M, et al. Đánh bóng bằng laser và cấu trúc 2PP của

hóa vi cấu trúc trong quá trình nóng chảy chọn lọc bằng laze của các kênh vi lỏng bên trong silica nung chảy.

Ti-6Al-4V. Acta Materialia, 2010, 58(9): 3303–3312 78. Microfluidics và Nanofluidics, 2017, 21: 165

Santos EC, Shiomi M, Osakada K, et al. Sản xuất nhanh các thành phần kim 98. Jung S, Lee PA, Kim B H. Đánh bóng bề mặt của các kênh vi lỏng dựa

loại bằng cách tạo hình bằng laser. Tạp chí Quốc tế về Máy công cụ trên thạch anh bằng laser CO2. Microfluidics và Nano Fluidics,

và Sản xuất, 2006, 46(12–13): 1459–1468 79. Huissoon JP, Ismail 2016, 20: 84

F, Jafari A, et al. Tự động đánh bóng bề mặt thép chết. Tạp chí Quốc tế 99. Meffert RM, Langer B, Fritz M E. Cấy ghép nha khoa: Đánh giá.

về Công nghệ Sản xuất Tiên tiến, 2002, 19(4): 285–290 Tạp chí Nha chu, 1992, 63(11): 859–870 100. Bereznai

M, Pelsöczi I, Tóth Z, et al. Sửa đổi bề mặt gây ra bởi các xung laser

80. Molchan IS, Marimuthu S, Mhich A, et al. Ảnh hưởng của sự thay đổi excimer ns và sub-ps trên vật liệu cấy ghép titan. Vật liệu sinh

hình thái bề mặt của hợp kim Ti-6Al-4V biến tính bằng xử lý laser học, 2003, 24(23): 4197–4203 101. Meyer-Kobbe C,

trên các biên dạng độ sâu nguyên tố GDOES. Journal of Analytical Rosentreter M. US Patent, 9555158, 2017-01-31 102. Nesbitt B. US Patent,

Atomic Spectrometry, 2013, 28(1): 150–155 81. Mai TA, Lim 7811623, 2010-10-12 103. Temmler A, Graichen K,

G C. Micromelting and its effects on surface topography and properties Donath J. Đánh bóng bằng laser trong y tế

in laser polish of stainless steel. kỹ thuật. Laser-Technik-Journal, 2010, 7(2): 53–57 104.

Tạp chí Ứng dụng Laser, 2004, 16(4): 221–228 82. Xiao Kurella A, Dahotre N B. Bài đánh giá: Sửa đổi bề mặt cho cấy ghép sinh

YM, Bass M. Những hạn chế ứng suất nhiệt đối với việc đánh bóng kính học: Vai trò của kỹ thuật bề mặt laser. Tạp chí Ứng dụng Vật liệu

bằng lửa laze. Quang học ứng dụng, 1983, 22(18): 2933–2936 83. Li Sinh học, 2005, 20(1): 5–50 105. Buser D,

L, Hong M, Schmidt M, et al. Sản xuất nano laze—Công nghệ tiên tiến và Schenk R, Steinemann S, et al. Ảnh hưởng của các đặc tính bề mặt trên

những thách thức. Biên niên sử CIRP-Công nghệ sản xuất, 2011, 60(2): xương đối với sự tích hợp xương của cấy ghép titan: Một nghiên cứu

735–755 đo lường mô hình ở lợn nhỏ. Tạp chí Nghiên cứu Vật liệu Y sinh,

84. Fang FZ, Zhang XD, Weckenmann A, et al. Sản xuất và đo lường quang 1991, 25(7): 889–902 106. Zhong S, Liu D,

học dạng tự do. Biên niên sử CIRP-Công nghệ sản xuất, 2013, 62(2): Liu S, et al. Xây dựng và xác định yếu tố tăng trưởng nội mô mạch máu 121

823–846 và gen protein-2 hình thái xương cùng biểu hiện vec tơ adenovirus

85. Xia Q, Chou S Y. Các ứng dụng của laser excimer trong chế tạo nano. tái tổ hợp.

Vật lý ứng dụng A, 2010, 98(1): 9–59 Tạp chí Nghiên cứu Kỹ thuật Mô Trung Quốc, 2011, 15(20): 3741–3744

86. Preußner J, Oeser S, Pfeiffer W, et al. Cấu trúc vi mô và ứng suất

dư của các bề mặt có cấu trúc laser. Nghiên cứu Vật liệu Cao cấp, 107. London RM, Roberts FA, Baker DA, et al. So sánh mô học của bề mặt

2014, 996: 568–573 cấy ghép khắc kép bằng nhiệt với bề mặt được gia công, TPS và HA:

87. Townes C H. Tia laser: Khám phá, phát triển và tương lai của nó. Tiếp xúc xương in vivo ở thỏ. Tạp chí Quốc tế về Cấy ghép Răng miệng

Herald of the Russian Academy of Sciences, 2011, 81(3): 195–196 88. & Hàm mặt, 2002, 17(3): 369–376

Dickinson JE Jr, Wheaton B T. US Patent, 5742026, 1998-04-21

Machine Translated by Google

Arun KRISHNAN et al. Cơ chế và quá trình đánh bóng bề mặt bằng tia laser 21

108. Shalabi MM, Gortemaker A, Hof MAV, et al. Độ nhám bề mặt cấy 109. Lai M, Lim K, Gunawardena DS, et al. Ứng dụng laser CO2 trong

ghép và quá trình lành xương: Đánh giá có hệ thống. Tạp chí chế tạo và xử lý linh kiện sợi quang. Tạp chí Cảm biến IEEE,
Nghiên cứu Nha khoa, 2006, 85(6): 496–500 2017, 17(10): 2961–2974