Bài tập 1.

Tính toán khẩu độ số của vật kính trong kính hiển vi quang học
Chiếc suất giữa các thấu kính và vật kính hiển vi luyện kim là 1.63. Khẩu
độ nửa góc là 72°. Tính số khẩu độ số của vật kính của kính hiển vi quang học.

Bài giải 1.
n = 1.63, α = 72°, NA =?

Bằng cách sử dụng công thức 1,

NA = n× sinα = 1.63×sin72°= 1.63×0.95 = 1.54

Bài tập 2. Tính độ phân giải của một kính hiển vi kim tương
Bằng cách sử dụng dữ liệu trong ví dụ 1, hãy tính độ phân giải của kính
hiển vi nếu ánh sáng nhìn thấy từ hệ thống chiếu sáng có bước sáng 550 nm.

Bài giải 2.
λ = 550 nm; NA = 1.54, 𝛥𝑟৹ =?

Bằng cách sử dụng công thức 2,

0.62𝜆 0.62×550
𝛥𝑟৹ = 𝑁𝐴 = 1.54 = 221.4 𝑛𝑚

Độ phân giải của kính hiển vi luyện kim là 221.4 nm hoặc 0.2214µm.

Bài tập 3. Tính vận tốc của điện tử trong SEM khi biết điện
Trong một thí nghiệm, người ta đặt một điện áp gia tốc 80 kV vào bộ
phát điện tử trong thiết bị SEM. Tính vận tốc của electon.

Bài giải 3.
V = 80 kV =80.000 V; 𝑚𝑒 = 9.1 × 10−31 𝑘𝑔; 𝑒 = 1.6 × 10−19 𝐶𝑜𝑢𝑙; 𝑣 =?

Bằng cách sử dụng Công thức 4, chúng tôi thu được:

2𝑒𝑉 2𝑒𝑉 2×1.6×10−19 ×80.000

v= √ 𝑚 = √ 𝑚 =√ = 1.67×108 m/s
𝑒 𝑒 9.1×10−31

Vận tốc của electron = 1.67 × 108 m/s.

 Bài tập 4. Tính bước sóng của điện tử khi biết điện áp
Điện áp đặt để gia tốc chùm điện từ trong SEM là 10 kV. Bước sóng của
chùm điên từ là bao nhiêu?

Bài giải 4.
V= 10 kV = 10.000 Volt, λ=?

Bằng cách sử dụng phương trình 6,

1.5 1.5
λ = √ 𝑉 = √10.000 = 0.0122 𝑛𝑚

Bước sóng của chùm điện tử = 0.0122 nm hoặc 12.2 pm.

Bài tập 5. Tính độ phân giải của TEM

Tính độ phân giải của TEM nếu điện áp gia tốc là 100 kV. (Lấy giá trị
hợp lý cho nửa góc khẩu độ).

Bài giải 5.
V = 100 kV = 100.000 V; α = 10−2 𝑟𝑎𝑑𝑖𝑎𝑛; 𝛥𝑟৹ =?

Bằng cách sử dụng công thức 7,

0.76 0.76
𝛥𝑟৹ = = = 0.24𝑛𝑚
𝛼√𝑉 0.01√100000

Độ phân giải của TEM = 0.24 nm.

Bài tập 6. Tính toán thành phần nguyên tố trong một hợp kim sử dụng dữ liệu
EDS
Phổ phân tán năng lượng của tia X từ điểm đã chọn ( diện tích vi mô)
của một mẩu hợp kim từ dữ liệu EDS, được trình bày trong bảng 6.

Bảng 6. Dữ liệu EDS cho hợp kim nghiên cứu,

Nguyên tố Tỷ số- K Z A F
Fe K 0,71 1,002 1,019 0,992
Cr K 0,21 0,999 1,006 0,879
Ni K 0,08 0,990 1,065 1,000
 Tính thành phần tương đối của từng nguyên tố trong mẫu; và xác định hợp
kim. ( Tiêu chuẩn là 100% tinh khiết vì vậy giá trị của tiêu chuẩn có thể được
coi là 1.)

Bài giải 6.

Bằng cách sử dụng công thức 8 cho 𝐹𝑒𝐾 ,

𝑐𝐹𝑒
= (𝑍𝐴𝐹)(𝐾 − 𝑟𝑎𝑡𝑖𝑜) = 1.002 × 1.019 × 0.992 × 0.71 = 0.719~72%
𝑐(𝐹𝑒)

Bằng cách sử dụng công thức 8 cho 𝐶𝑟𝐾 ,

𝑐𝐶𝑟
= (𝑍𝐴𝐹)(𝐾 − 𝑟𝑎𝑡𝑖𝑜) = 0.999 × 1.006 × 0.879 × 0.21 = 0.185~18.5%
𝑐(𝐶𝑟)

Bằng cách sử dụng công thức 8 cho 𝑁𝑖𝐾 ,

𝑐𝑁𝑖
= (𝑍𝐴𝐹)(𝐾 − 𝑟𝑎𝑡𝑖𝑜) = 0.999 × 1.065 × 1.000 × 0.08 = 0.084~8.5%
𝑐(𝑁𝑖)

Bằng cách lấy các hàm lượng tiêu chuẩn cho mỗi nguyên tố là thống nhất, chúng tôi thu
được:
wt%Fe =72 %, wt%Cr =18.5 % và wt% Ni =8.5 %

Do đó, chúng tôi xác định hợp kim là thép không gỉ 18-8 ( chứa 18% Cr và 8% Ni).

Bài tập 7. Tính phần trăm nguyên tử của một hợp kim khi biết trọng lượng
Tính thành phần, theo phần trăm nguyên tử, của hợp kim chứa 32 g đồng
và 48 g kẽm. Nguyên tử lượng của đồng và kẽm lần lượt là 63.5 và 65.4 g/mol.

Bài giải 7.

𝑚𝐶𝑢 = 32 g; 𝑚𝑍𝑛 = 48 g; 𝐴𝐶𝑢 = 63.5 g/mol, 𝐴𝑍𝑛 = 65.4 g/mol

Bằng cách sử dụng công thức 11,

𝑚𝐶𝑢 32
𝑛𝑚𝐶𝑢 = = = 0.504 𝑔. 𝑚𝑜𝑙𝑒𝑠
𝐴𝐶𝑢 63.5
 𝑚𝑍𝑛 48
𝑛𝑚𝑍𝑛 = = = 0.734 𝑔. 𝑚𝑜𝑙𝑒𝑠
𝐴𝑍𝑛 65.4

Bằng cách sử dụng phương trình 9,

𝑛𝑚𝐶𝑢 0.504
𝐶′𝐶𝑢 = 𝑛 ×100 = 0.504+0.734 × 100 = 40.7 𝑎𝑡%
𝑚𝐶𝑢 +𝑛𝑚𝑍𝑛

Bằng cách sử dụng phương trình 10,

𝑛𝑚𝑍𝑛 0.734
𝐶′𝑍𝑛 = 𝑛 ×100 = 0.504+0.734 × 100 = 59.3 𝑎𝑡%
𝑚𝐶𝑢 +𝑛𝑚𝑍𝑛

Do đó, hàm lượng của đồng và kẽm lần lượt là 40.7 at% và 59.3 at%.

Bài tập 8. Tính toán thàng phần phần trăm nguyên tử khi phần trăm trọng
lượng được biết.
Tính phần trăm nguyên tử của mỗi nguyên tố trong hợp kim 60Cu-40Ni.

Bài giải 8.

wt% Cu = 𝐶𝐶𝑢 = 60, wt% Ni = 𝐶𝑁𝑖 = 40, 𝐴𝐶𝑢 = 63.5 g/mol, 𝐴𝑁𝑖 = 58.7 g/mol

Bằng cách sử dụng các công thức 13 và 14,

𝐶𝐶𝑢 𝐴𝐶𝑢 60×58.7
𝐶′𝐶𝑢 = 𝐶 ×100 =(60×58.7)+(40×63.5) × 100 = 58 at%
𝐶𝑢 𝐴𝐶𝑢 +𝐶𝑁𝑖𝐴𝑁𝑖

𝐶𝑁𝑖𝐴 40×63.5
𝐶′𝑁𝑖 = 𝐶 𝑁𝑖
×100 =(60×58.7)+(40×63.5) × 100 = 42 at%
𝐶𝑢 𝐴𝐶𝑢 +𝐶𝑁𝑖𝐴𝑁𝑖

Do đó, hàm lượng của đồng và niken lần lượt là 58 at% và 42 at%.

Bài tập 9. Tính tỷ trọng của một hợp kim khi wt% các nguyên tố được biết
Xác định khối lượng riêng gần đúng của một đồng thau pha chì có thành
phần 64.7 wt% Cu, 33.5 wt% Zn và 1.8 wt% trọng lượng Pb.

Bài giải 9.

wt% Cu = 64.7, wt% Zn = 33.5, wt% Pb =1.8, 𝜌Cu = 8.94 g/𝑐𝑚3 , , 𝜌𝑍𝑛 = 7.13, 𝜌Pb=
11.35g/𝑐𝑚3

Bằng cách sử dụng công thức 15,

 100 100 100
𝜌𝑎𝑣𝑒 = 𝐶𝑥 𝐶𝑦 𝐶 = 𝐶𝐶𝑢 𝐶𝑍𝑛 𝐶𝑃𝑏 = 64.7 33.5 1.8 = 8.28 g/𝑐𝑚3
+ + 𝑧 + +
𝜌𝐶𝑢 𝜌𝑍𝑛 𝜌𝑃𝑏
+ +
8.94 7.13 11.35
𝜌𝑥 𝜌𝑦 𝜌𝑧

Khối lượng riêng trung bình của đồng thau pha chì = 8.28 g/𝑐𝑚3

Bài tập 10. Vẽ thanh kích thước trên một ảnh hiển vi
Vẽ thanh kích thước trên ảnh hiển vi trong Hình 6 với độ phóng đại là
100x.

Bài giải 10.

Độ phóng đại = M = 100. Ta vẽ một thanh có chiều dài đo được = 2cm. Bằng cách sắp
xếp lại các số hạng trong công thức 18, chúng ta có thể viết:

𝑀𝑒𝑎𝑠𝑢𝑟𝑒𝑑 𝑙𝑒𝑔ℎ𝑡ℎ 𝑜𝑓 𝑡ℎ𝑒 𝑏𝑎𝑟 2 𝑐𝑚

Chiều dài được đặt trên thanh phóng đại = = 100 = 200µ𝑚
𝑀
Do đó, chúng tôi vẽ thanh phóng đại trong ảnh tổ chức vi mô như hiện trong hình 10.

Bài tập 11. Đo kích thước lớp bằng phương pháp đoạn thẳng giao cắt
Xác định kích thước hạt trung bình của kim loại có ảnh hiển vi được hiển
thị trong Hình 10. ( Sử dụng phương pháp đoạn thẳng giao cắt đo kích thước
hạt)

Bài giải 11.

Đầu tiên chúng ta cần xác định độ phóng đại bằng cách tham khảo thanh kích thước trong
hình 10.
Bằng cách sử dụng công thức 16,

𝑀𝑒𝑎𝑠𝑢𝑟𝑒𝑑 𝑙𝑒𝑔ℎ𝑡ℎ 𝑜𝑓 𝑡ℎ𝑒 𝑏𝑎𝑟 2 𝑐𝑚

𝑀= = = 100
𝐿𝑒𝑛𝑔𝑡ℎ 𝑠ℎ𝑜𝑤 𝑛𝑜𝑛 𝑡ℎ𝑒 𝑏𝑎𝑟 200µ𝑚
Đường thẳng # 1 2 3 4 5
Số lượng biên giới hạt 13 11 12 12 15
cắt nhau

Bằng cách vẽ một tập hợp các đoạn thẳng được định vị ngẫu nhiên ( mỗi đoạn dài 60mm)
trên ảnh hiển vi và đếm số lượng biên giới hạt giao nhau bởi mỗi đoạn thẳng, chúng ta thu được
Hình 11 và dữ liệu trong bảng 11.
̅ = 13+11+12+12+15 = 12.6
Số biên giới hạt giao nhau trung bình = 𝑁 5
Bằng cách sử dụng công thức 17,
 𝑙 60𝑚𝑚
𝑁𝑙 = 𝑁̅= = 4.76𝑚𝑚
12.6

Bằng cách sử dụng công thức 18,

𝑁𝑙 4.76
𝑑 = ̅̅̅̅̅̅̅̅̅̅̅̅̅̅̅̅̅̅̅̅̅̅ = = 0.0476𝑚𝑚
𝑚𝑎𝑔𝑛𝑖𝑓𝑖𝑐𝑎𝑡𝑖𝑜𝑛 100

Size e hạt trung bình của kim loại = 0.0476 mm = 47.6 µm

Bài tập 12. Tính chỉ số kích thước hạt ASTM

Tính chỉ số kích thước hạt ASTM của kim loại có ảnh hiển vi trên hình
10

Bài giải 12.

Để tính kích thước hạt theo tiêu chuẩn ASTM, trước hết chúng ta cần xác định số lượng
hạt quan sát được trong diện tích 1 trong 𝑖𝑛2 trên ảnh hiển vi( hình 10). Do đó, chúng tôi xác
định 1 𝑖𝑛2 khu vực trên hình hiển vi như trong hình 12. Được biết rằng độ phóng đại là 100x

Số lượng hạt quan sát được trong diện tích 𝑖𝑛2 trên ảnh hiển vi ở 100x = N= 28
Bằng các sử dụng công thức 20,

Hình 12, vẽ một diện tích 𝑖𝑛2 trên vi đồ để tìm N.

log 𝑁 log 28
G= log 2 + 1 = + 1 = 5.8
log 2

Chỉ số kíc thước hạt ASTM của kim loại = 5.8

Bài tập 13. Tính toán kích thước hạt trung bình của kim loại khi được biết chỉ
số kích thước hạt ASTM
Bằng cách sử dụng dữ liệu trong ví dụ 12, hãy tính tích thước trung bình
của kim loại. So sánh kết quả của bạn với kết quả thu được bằng phương pháp
đoạn thẳng giao cắt được minh họa trong ví dụ 11.
Bài giải 13.
G = 5.8, d = ? µm
Bằng cách sử dụng công thức 21
25. 42 25. 42
𝑑=√ × 10 = √ × 10 = 48µ𝑚
2𝐺−1 25.45−1

Kích thước hạt trung bình được tính toán của kim loại ( d=48 µ𝑚) gần giống với kích
thướcu th được trong ví dụ 11 ( d= 46.7 µ𝑚 )

Bài tập 14. Tính toán số kích thước hạt ASTM bằng cách sử dụng phương
pháp Jeffries
tính chí số kích thước hạt ASTM cho hình ảnh hiển vi của kim loại ở độ
phóng đạ 100x, như thể hiện trong hình 6, Bằng cách sử dụng phương pháp đo
diện tích Jeffries. So sánh kết quả của bạn với kết quả thu được trong ví dụ 12.

Bài giải 14.

Để bao phủ diện diện tích lớn nhất của tổ chức vi mô trong hình 6, chúng tôi vẽ một vòng
tròn có đường kính 54 mm; điều này tương unwngs với diện tích nội tiếp là 2.290 𝑚𝑚2
Bằng cách đếm số lượng hạt bên trong vòng tròn nội tiếp (𝑛2 ) trong hình 14, chúng ta thu
được:
M= 100; 𝐴𝑡 = 2.290𝑚𝑚2 , n1 =48 và n2 =28
Bằng cách sử dụng công thức 22,

n 28
𝑀2 ( n1 + 22 ) 1002 ( 48 + 2 )
𝑁𝐴 = = = 270.7
𝐴𝑡 2290
Bằng cách sử dụng công thức 23,
G = (3.322. log270.7) – 2.95 = 5.13

Hình 14 đường tròn giao cắt trên ảnh hiển vi quang học trong hình 6
Bằng cách so sánh số lượng hạt ASTM được tính toán của kim loại ( G=5.13) với số
lượng thu được trong ví dụ 12 ( G= 5.8), chúng tôi thấy rằng hai giá trị G gần giống nhau.
 Bài tập phần vận dụng

Bài tập 1. Cho biết ý nghĩa của các từ viết tắt sau được sử dụng trong mô tả
tính chất của vật liệu. SEM, BSE, ASTM, TEM, EDS, OM, EPMA, HRTEM

Bài giải 1.
• SEM: Quét điện tử hiển thị (Scanning Electron Microscopy) - Phương pháp hình ảnh vật
liệu bằng việc sử dụng electron quét để tạo ra hình ảnh 3D về bề mặt của vật liệu.
• BSE: Electron phát bức xạ ngược (Backscattered Electron) - Loại electron được phát ra
từ vật liệu sau khi electron quét tương tác với nó trong SEM, thường được sử dụng để tạo
ra hình ảnh về thành phần nguyên tố của vật liệu.
• ASTM: Hiệp hội vật liệu và thử nghiệm Mỹ (American Society for Testing and
Materials) - Tổ chức thiết lập các tiêu chuẩn kỹ thuật và phương pháp thử nghiệm cho vật
liệu và sản phẩm.
• TEM: Kính hiển vi điện tử truyền qua (Transmission Electron Microscope) - Phương
pháp sử dụng electron để xem bên trong các cấu trúc nhỏ hơn của vật liệu và cho phép
quan sát chi tiết về cấu trúc tinh thể và nguyên tử.
• EDS: Phân tích năng lượng tia X (Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy) - Phương pháp
để xác định thành phần nguyên tố của mẫu bằng cách sử dụng phát xạ tia X từ mẫu.
• OM: Kính hiển vi quang học (Optical Microscope) - Phương pháp sử dụng ánh sáng để
quan sát và điều tra vật liệu ở mức độ quang học.
• EPMA: Phân tích nguyên tử bằng microprobe (Electron Probe Microanalysis) - Phương
pháp để xác định thành phần nguyên tố của mẫu bằng cách sử dụng electron probe để
kích thích và đo sóng X phát ra từ mẫu.
• HRTEM: Kính hiển vi điện tử truyền qua độ phân giải cao (High-Resolution
Transmission Electron Microscope) - Một phiên bản cao cấp của TEM có khả năng quan
sát chi tiết về cấu trúc tinh thể và nguyên tử với độ phân giải cao hơn.

Bài tập 2. Giải thích sự phát triển của tổ chức vi mô dạng hạt của vật liệu đa
tinh thể với sự hỗ trợ bằng bản vẽ phác thảo. Cho hai ví dụ về ứng dụng của
đơn tinh thể.

Bài giải 2.
 Tổ chức vi mô dạng hạt của vật liệu đa tinh thể xuất hiện khi vật liệu chứa nhiều tinh thể
nhỏ được phân tách bởi biên giới hoặc ranh giới. Sự phát triển của tổ chức vi mô này có thể diễn
ra thông qua quá trình tinh thể hạt (grain growth) và tạo ra cấu trúc đa tinh thể. Dưới đây là một
bản vẽ phác thảo để giải thích quá trình này:

Hình trên biểu thị một số tinh thể đơn tinh thể trong vật liệu. Khi tinh thể này lớn lên
hoặc nối lại với nhau, chúng tạo thành đa tinh thể. Quá trình này có thể xảy ra trong nhiều vật
liệu khác nhau và có ứng dụng quan trọng trong nhiều lĩnh vực. Dưới đây là hai ví dụ về ứng
dụng của đa tinh thể:

• Kết cấu hạt hữu cơ trong polymer composite: Trong công nghiệp sản xuất vật liệu
polymer composite, tinh thể hạt hữu cơ được sử dụng để tăng cường tính cơ học của
composite. Các hạt hữu cơ đóng vai trò như các tinh thể đơn tinh thể và tạo ra đa tinh thể.
Việc tăng cường này cung cấp cường độ, độ cứng và tính chất cơ học khác cho
composite.
• Tạo ra các vùng biên trong hợp kim hạt nano: Trong công nghiệp sản xuất hợp kim
hạt nano, việc tạo ra biên giới hoặc ranh giới giữa các tinh thể nano khác nhau trong một
hạt có thể tạo ra tính chất đặc biệt. Các tinh thể đơn tinh thể trong hạt nano này tương tác
tạo ra đa tinh thể với ranh giới và chất lượng của đa tinh thể này có thể ảnh hưởng đáng
kể đến tính chất của hợp kim nano.

Sự phát triển của tổ chức vi mô dạng hạt trong vật liệu đa tinh thể có thể tạo ra tính chất đặc biệt
và ứng dụng quan trọng trong các lĩnh vực như vật liệu cốt lõi và công nghệ hạt nano.

Bài tập 3. Liệt kê các bước chính trong việc chuẩn bị một mẫu kim tương. Giải
thích việc làm phẳng và Tẩm thực mẫu kim tương.

Bài giải 3.
Chuẩn bị một mẫu kim tương là một quy trình quan trọng trong việc phân tích vật liệu bằng kính
hiển vi điện tử hoặc các phương pháp phân tích khác. Dưới đây là các bước chính trong quá trình
này cùng với giải thích việc làm phẳng và tẩm thực mẫu kim tương:
Bước 1: Lựa chọn mẫu và cắt mẫu kim tương

• Chọn mẫu vật liệu cần nghiên cứu và cắt ra một miếng mỏng hơn để chuẩn bị mẫu kim
tương.

Bước 2: Loại bỏ bụi và dơ bẩn

• Sử dụng chất tẩy và các phương pháp khác để loại bỏ bụi bẩn và dơ bẩn trên mẫu kim
tương. Mục tiêu là làm cho bề mặt của mẫu sạch và không bị nhiễm bất kỳ hạt bụi nào.

Bước 3: Bám kín mẫu lên đĩa kim tương

• Đặt mẫu kim tương lên đĩa kim tương, sử dụng một loại keo đặc biệt để bám kín mẫu lên
đĩa. Điều này giúp giữ mẫu kim tương ổn định trong quá trình chuẩn bị và phân tích.

Bước 4: Làm phẳng mẫu kim tương

• Làm phẳng mẫu kim tương để tạo ra một bề mặt hoàn toàn phẳng và đồng đều. Điều này
thường được thực hiện bằng cách sử dụng máy làm phẳng mẫu hoặc bằng tay bằng cách
sử dụng giấy nhám hoặc hệ thống mài mòn chuyên dụng.

Bước 5: Tẩm thực mẫu kim tương

• Tẩm thực mẫu kim tương là quá trình phủ mẫu bằng một lớp mỏng kim tương (thường là
vàng hoặc các kim loại khác) để tạo ra một lớp bảo vệ. Lớp kim tương này giúp bảo vệ
mẫu và cải thiện khả năng dẫn điện của mẫu để tiếp xúc với electron trong kính hiển vi
điện tử hoặc các phương pháp phân tích khác.

Bước 6: Kiểm tra và điều chỉnh

• Kiểm tra mẫu kim tương đã chuẩn bị để đảm bảo rằng nó đáp ứng yêu cầu của quy trình
nghiên cứu hoặc phân tích cụ thể. Nếu cần, điều chỉnh lớp kim tương hoặc bề mặt của
mẫu để đạt được kết quả mong muốn.

 Việc làm phẳng và tẩm thực mẫu kim tương là quan trọng để chuẩn bị mẫu cho nhiều ứng
dụng phân tích, như kính hiển vi điện tử quét (SEM) và kính hiển vi điện tử truyền qua
(TEM). Làm phẳng giúp tạo ra bề mặt phẳng và đồng đều để tăng cường sự phân tán của
electron hoặc tia X và cải thiện khả năng quan sát. Tẩm thực bằng kim tương giúp bảo vệ
mẫu và cải thiện tính chất dẫn điện của mẫu để tiếp xúc tốt hơn với các công cụ phân
tích.

Bài tập 4. Độ phân giải của kính hiển vi có nghĩa là gì ? Độ phân giải phụ
thuộc vào những yếu tố nào?
Bài giải 4.
Độ phân giải của một kính hiển vi là khả năng của kính hiển vi để phân biệt hai điểm gần nhau
trên một mẫu vật liệu và hiển thị chúng dưới dạng hai điểm riêng biệt trên hình ảnh. Nó đo lường
khả năng của kính hiển vi để hiển thị chi tiết và cấu trúc nhỏ của mẫu. Độ phân giải càng cao,
bạn càng có khả năng quan sát và phân biệt các chi tiết nhỏ hơn trên mẫu.

Độ phân giải của kính hiển vi phụ thuộc vào một số yếu tố quan trọng bao gồm:

1. Dài sóng ánh sáng: Độ phân giải của kính hiển vi phụ thuộc vào dải sóng của ánh sáng
sử dụng để chiếu mẫu. Ánh sáng có sóng ngắn hơn có khả năng phân giải cao hơn. Trong
trường hợp kính hiển vi quang học, sử dụng ánh sáng có dải sóng ngắn như ánh sáng
xanh lá cây có thể cải thiện độ phân giải.
2. Kính hiển vi và hệ thống quang học: Chất lượng của kính hiển vi, các ống kính, và hệ
thống quang học trong thiết bị cũng ảnh hưởng đến độ phân giải. Các ống kính và hệ
thống quang học tốt giúp tạo ra hình ảnh rõ ràng hơn và tăng độ phân giải.
3. Khoảng cách giữa mẫu và ống kính (focal length): Khoảng cách giữa mẫu và ống kính
cũng ảnh hưởng đến độ phân giải. Khoảng cách này cần được điều chỉnh để đảm bảo
rằng mẫu nằm trong phạm vi tiêu cự để tạo ra hình ảnh tốt nhất.
4. Kích thước pixel trên cảm biến (trong trường hợp kính hiển vi số hóa): Đối với kính
hiển vi số hóa, độ phân giải còn phụ thuộc vào kích thước pixel trên cảm biến hình ảnh.
Pixel nhỏ hơn có thể cải thiện độ phân giải hình ảnh.
5. Phương pháp và điều kiện chiếu sáng: Cách bạn chiếu sáng mẫu cũng ảnh hưởng đến
độ phân giải. Ánh sáng đồng nhất và phù hợp có thể giúp tạo ra hình ảnh đẹp và độ phân
giải cao hơn.
6. Đặc tính của mẫu vật liệu: Loại mẫu vật liệu và cấu trúc của nó cũng có thể ảnh hưởng
đến độ phân giải. Mẫu có cấu trúc tinh thể hoặc chi tiết nhỏ hơn sẽ cần độ phân giải cao
hơn để quan sát.

Tóm lại, độ phân giải của kính hiển vi là một yếu tố quan trọng để xác định khả năng quan sát và
phân biệt chi tiết trên mẫu vật liệu. Nó phụ thuộc vào nhiều yếu tố kỹ thuật và điều kiện thực
hiện quá trình quan sát.

Bài tập 5. Ưu điểm của kính hiển vi điện tử so với OM là gì ?

Bài giải 5.
Kính hiển vi điện tử (SEM) và kính hiển vi quang học (OM - Optical Microscope) là hai công cụ
quan trọng trong nghiên cứu và quan sát vật liệu. Dưới đây là một số ưu điểm của kính hiển vi
điện tử so với kính hiển vi quang học:

❖ Độ phân giải cao: SEM có độ phân giải rất cao, cho phép quan sát chi tiết cấu trúc về
mặt bề mặt và các cấu trúc nano nhỏ hơn, trong khi OM giới hạn bởi giới hạn sóng ánh
sáng và có độ phân giải thấp hơn.
❖ Khả năng quan sát bề mặt 3D: SEM có thể tạo ra hình ảnh 3D về bề mặt của mẫu vật
liệu, cho phép quan sát các chi tiết và đặc điểm không thể thấy được bằng OM.
 ❖ Sự phân biệt giữa các yếu tố nguyên tố: SEM có khả năng kết hợp với phân tích
nguyên tử (EDS - Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy) để xác định thành phần
nguyên tố của mẫu, trong khi OM không thể cung cấp thông tin về thành phần nguyên tố.
❖ Khả năng quan sát mẫu dẫn điện và không dẫn điện: SEM có khả năng quan sát mẫu
dẫn điện và không dẫn điện, trong khi OM thường giới hạn trong việc quan sát mẫu dẫn
điện.
❖ Khả năng quan sát các kích thước khá nhỏ: SEM có thể quan sát các chi tiết với kích
thước từ micromet đến nanomet, trong khi OM thường thích hợp cho quan sát các chi tiết
lớn hơn.
❖ Khả năng tạo ra hình ảnh với độ sáng và độ tương phản cao: SEM sử dụng electron
quét để tạo ra hình ảnh, cho phép kiểm soát độ sáng và độ tương phản của hình ảnh một
cách linh hoạt.

Tuy nhiên, cũng cần lưu ý rằng OM vẫn có nhiều ưu điểm của riêng nó, bao gồm giá thành thấp
hơn, dễ sử dụng, và khả năng quan sát các mẫu trong điều kiện tự nhiên. Việc lựa chọn giữa
SEM và OM phụ thuộc vào mục tiêu của nghiên cứu, đặc tính của mẫu, và yêu cầu cụ thể của
quá trình quan sát.

Bài tập 6. Giải thích nguyên lý hoạt động của TEM với sự hỗ trợ bằng bản vẽ
phác thảo.

Trong một kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM), nguyên tắc hoạt động dựa trên sử dụng các
electron thay vì ánh sáng sáng như trong kính hiển vi quang học (OM) để quan sát các cấu trúc
vật liệu với độ phân giải cao. Dưới đây là nguyên tắc hoạt động cơ bản của TEM cùng với một
bản vẽ phác thảo để giải thích:

Nguyên tắc hoạt động của TEM:

❖ Sản xuất electron: TEM sử dụng một nguồn electron, thường là một ống kính electron
hoặc nguồn electron phân kỳ, để tạo ra electron với năng lượng cao.
❖ Gương hệ thống quang học: Electron được hướng vào mẫu vật liệu thông qua hệ thống
quang học, bao gồm các ống kính và các vật liệu gương (điện tử tuyến tính) để tập trung
electron thành một tia chùm electron.
❖ Tiếp xúc với mẫu: Tia electron chùm tiếp xúc với mẫu vật liệu. Khi các electron tiếp xúc
với mẫu, chúng tương tác với các nguyên tử và phát ra electron phân tán và tia X (phản
xạ).
❖ Thu thập hình ảnh: Electron phân tán và tia X thu được sau khi tương tác với mẫu được
hướng vào một hệ thống phân tích. Nơi này có detector để thu thập tín hiệu từ electron
phân tán và tia X.
❖ Tạo hình ảnh: Dữ liệu thu thập từ các detector được sử dụng để tạo ra hình ảnh của mẫu
trên màn hình. Sự tập trung và xử lý tín hiệu từ các electron phân tán và tia X cho phép
tạo ra hình ảnh với độ phân giải cao của cấu trúc bên trong mẫu.
Trong bản vẽ phác thảo trên, electron được tạo ra, tập trung và hướng vào mẫu vật liệu bởi hệ
thống quang học. Khi electron tương tác với mẫu, tín hiệu được thu thập bởi hệ thống phân tích
và sau đó được sử dụng để tạo ra hình ảnh trên màn hình. Điều này cho phép quan sát chi tiết về
cấu trúc tinh thể và các chi tiết nhỏ khác bên trong mẫu với độ phân giải cao.

Bài tập 7. Mô tả kỹ thuật EDS dùng để đặc trưng vật liệu.

Giải bài 7.
Kỹ thuật EDS (Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy) là một phương pháp phân tích hóa học
được sử dụng để xác định thành phần nguyên tố của một mẫu vật liệu. Dưới đây là mô tả kỹ
thuật EDS và cách nó được sử dụng để đặc trưng vật liệu:

Nguyên tắc hoạt động của EDS:

• Phát xạ tia X: Một tia electron mạnh được sử dụng để xác định thành phần nguyên tố
của mẫu. Khi tia electron va chạm với mẫu, nó gây ra phát xạ tia X từ mẫu.
• Phân tán năng lượng: Mỗi nguyên tố có một hình dạng đặc trưng của phân tán năng
lượng của tia X. Các tia X phân tán có năng lượng khác nhau tạo thành phổ năng lượng.
• Thu thập dữ liệu: Hệ thống EDS thu thập dữ liệu về phổ năng lượng, ghi lại năng lượng
và số lượng các tia X phân tán từ mẫu.
• So sánh với thư viện: Dữ liệu phổ năng lượng thu thập được sau đó được so sánh với thư
viện các phổ năng lượng đặc trưng của các nguyên tố. Phần mềm phân tích tự động
thường được sử dụng để so sánh và xác định thành phần nguyên tố của mẫu.
Ưu điểm của EDS:

• Xác định thành phần nguyên tố: EDS cho phép xác định thành phần nguyên tố của
mẫu, bao gồm các nguyên tố chất lỏng và nguyên tố vô cơ.
• Độ phân giải không gian cao: EDS có khả năng xác định thành phần nguyên tố ở các vị
trí cụ thể trên mẫu, cho phép quan sát phân bố nguyên tố trong mẫu.
• Tính nhanh chóng và không tiêu hao mẫu: Phân tích EDS thường nhanh chóng và
không yêu cầu chuẩn bị mẫu phức tạp, do đó không làm hao mất mẫu ban đầu.
• Thích hợp cho nhiều loại mẫu: EDS có thể được sử dụng cho nhiều loại mẫu, bao gồm
các mẫu rắn, chất lỏng, và khí.

Hạn chế của EDS:

• Độ phân giải enegy tương đối thấp: EDS có độ phân giải năng lượng không cao bằng
các phương pháp phân tích khác như WDS (Wavelength-Dispersive X-ray
Spectroscopy).
• Có khả năng phát sinh nền nếu có các nguyên tố trùng lắp trong phổ năng lượng.
• Không thể xác định nguyên tử hợp chất: EDS chỉ xác định thành phần nguyên tố,
không thể phân biệt giữa các nguyên tử cùng loại hoá học nằm trong cùng một phân tử
hoặc hợp chất.

Trong tổng hợp, EDS là một công cụ mạnh mẽ để xác định thành phần nguyên tố trong mẫu vật
liệu và đóng vai trò quan trọng trong nghiên cứu và kiểm tra chất lượng vật liệu trong nhiều lĩnh
vực khác nhau.

Bài tập 8. Xác định kích thước hạt trung bình, tính bằng µm, đối với mẫu kim
tương có tổ chức vi mô được thể hiện trên hình p9 bằng phương pháp đoạn
thẳng giao cắt.

Bài giải 8.
Để xác định kích thước hạt trung bình của mẫu kim tương có tổ chức vi mô bằng phương pháp
đoạn thẳng giao cắt, bạn cần thực hiện các bước sau:

• Thu thập hình ảnh: Bắt đầu bằng việc thu thập hình ảnh của mẫu kim tương bằng kính
hiển vi, đảm bảo rằng hình ảnh có độ phân giải cao.
• Chọn vùng quan tâm (ROI): Chọn một khu vực trên hình ảnh để thực hiện phân tích
kích thước hạt. Đảm bảo rằng khu vực này đại diện cho tổ chức vi mô của mẫu.
• Tạo đường thẳng ngang và đứng: Trong khu vực quan tâm, tạo một đường thẳng ngang
và một đường thẳng đứng bằng phần mềm phân tích hình ảnh hoặc công cụ đo lường trên
kính hiển vi.
• Đo kích thước các hạt: Chọn các hạt trong khu vực quan tâm và đo chiều dài của chúng
bằng cách đo chiều dài của đoạn thẳng ngang và đo chiều rộng của đoạn thẳng đứng. Lặp
lại quá trình này cho nhiều hạt khác nhau.
 • Tính toán kích thước trung bình: Tính toán kích thước trung bình của các hạt bằng
cách lấy trung bình của các kích thước chiều dài và chiều rộng đã đo.

Kích thước hạt trung bình sẽ được tính bằng đơn vị µm (mícromet). Lưu ý rằng độ chính xác của
kết quả phụ thuộc vào độ phân giải của kính hiển vi và chất lượng của hình ảnh thu thập được.

Bài tập 9. Bằng cách sử dụng ảnh hiển vi , tính chỉ số kích thước hạt ASTM
của kim loại bằng hai phương pháp ( phương pháp tẩm thực kim loại thủ
công); và so sánh kết quả của bạn.

Bài giải 9.
Chỉ số kích thước hạt ASTM (American Society for Testing and Materials) là một chỉ số được sử
dụng để mô tả kích thước hạt trong các mẫu kim loại và vật liệu tương tự. Có nhiều phương pháp
để tính toán chỉ số kích thước hạt ASTM, và hai phương pháp phổ biến là phương pháp tẩm thực
kim loại thủ công và phương pháp sử dụng hình ảnh hiển vi. Dưới đây là cách thực hiện cả hai
phương pháp và so sánh kết quả:

Phương pháp tẩm thực kim loại thủ công (Manual Metallographic Method):

▪ Chuẩn bị mẫu: Bắt đầu bằng việc chuẩn bị mẫu kim loại bằng cách mài và làm phẳng bề
mặt mẫu. Mục tiêu là có một bề mặt mẫu đủ phẳng và sáng bóng để có thể quan sát bằng
kính hiển vi quang học.
▪ Chọn phương pháp đo: Sử dụng một kính hiển vi quang học để quan sát mẫu. Bạn có
thể chọn giữa phương pháp "linear intercept" hoặc phương pháp "planimetric."
o Phương pháp Linear Intercept: Vẽ một đường thẳng trên hình ảnh và đo chiều
dài của đoạn thẳng này. Đo chiều dài của các đoạn thẳng và tính trung bình.
o Phương pháp Planimetric: Sử dụng công cụ đo diện tích để đo diện tích hạt và
diện tích tổng cộng của mẫu. Dựa trên diện tích, tính toán kích thước trung bình
của hạt.
▪ Tính chỉ số kích thước hạt ASTM: Sử dụng dữ liệu từ việc đo bằng kính hiển vi quang
học, tính chỉ số kích thước hạt ASTM bằng cách sử dụng các công thức tính toán được
quy định trong tiêu chuẩn ASTM E112.

Phương pháp sử dụng hình ảnh hiển vi (Image Analysis Method):

▪ Chuẩn bị mẫu: Tương tự như trong phương pháp tẩm thực kim loại thủ công, bạn cần
chuẩn bị mẫu bằng cách làm phẳng và mài bề mặt mẫu.
▪ Chụp hình ảnh: Sử dụng một kính hiển vi quang học hoặc kính hiển vi điện tử để chụp
hình ảnh của mẫu.
▪ Phân tích hình ảnh: Sử dụng phần mềm phân tích hình ảnh để xác định kích thước hạt
trong hình ảnh. Phần mềm sẽ tự động tính toán kích thước hạt và kết quả theo chỉ số kích
thước hạt ASTM.
 ▪ Tính chỉ số kích thước hạt ASTM: Sử dụng kết quả từ phân tích hình ảnh, tính toán chỉ
số kích thước hạt ASTM bằng cách sử dụng công thức quy định trong tiêu chuẩn ASTM
E112.

So sánh kết quả:

• So sánh kết quả kích thước hạt trung bình: Đầu tiên, so sánh kết quả kích thước hạt
trung bình mà bạn đã tính toán từ phương pháp tẩm thực kim loại thủ công và phương
pháp sử dụng hình ảnh hiển vi. Đảm bảo rằng bạn đo kích thước cho cùng một mẫu kim
loại và cùng một khu vực mẫu.
• So sánh độ tin cậy: Xem xét độ tin cậy của hai phương pháp. Phương pháp sử dụng hình
ảnh hiển vi thường cho kết quả có độ tin cậy cao hơn, vì nó loại bỏ sai số do con người
trong quá trình đo.
• Xác định sự khác biệt: Nếu có sự khác biệt giữa hai phương pháp, hãy xác định nguyên
nhân. Có thể là do sai số trong quá trình chuẩn bị mẫu, quá trình đo, hoặc sự khác biệt
trong phương pháp tính toán.
• Kiểm tra và điều chỉnh: Nếu có sự khác biệt đáng kể, bạn cần xem xét lại phương pháp
và quá trình để kiểm tra và điều chỉnh chúng. Điều này có thể bao gồm cải thiện quá trình
chuẩn bị mẫu, sử dụng phần mềm phân tích hình ảnh tốt hơn, hoặc thậm chí làm thử
nghiệm với các mẫu kiểm định khác.
• Báo cáo kết quả: Khi bạn đã so sánh và kiểm tra kết quả, báo cáo những sự khác biệt và
biện pháp kiểm tra và cải thiện bạn đã thực hiện. Điều này giúp tạo ra một báo cáo đầy đủ
về quy trình đo kích thước hạt và kết quả của bạn.

Việc so sánh kết quả giữa hai phương pháp giúp đảm bảo tính chính xác của quá trình đo và làm
sáng tỏ bất kỳ sai số nào có thể xuất phát từ quá trình thực hiện hay phương pháp đo.

Bài tập 10. Tính kích thước trung bình của một mẫu nhôm được ủ khi cho rằng
chỉ số kích thước hạt ASTM cho mẫu kim loại là 6.5.

Bài giải 10.

Để tính kích thước trung bình của mẫu nhôm dựa trên chỉ số kích thước hạt ASTM (chỉ số G),
bạn có thể sử dụng công thức sau:

Kích thước trung bình (D) = 2 / (G + 1)

Trong đó:

• D là kích thước trung bình của hạt (đơn vị dựa trên chỉ số kích thước hạt ASTM).
• G là chỉ số kích thước hạt ASTM.

Theo yêu cầu của bạn, chỉ số kích thước hạt ASTM cho mẫu kim loại là 6.5. Áp dụng công thức
trên:
D = 2 / (6.5 + 1) = 2 / 7.5 ≈ 0.267

Vậy, kích thước trung bình của mẫu nhôm dựa trên chỉ số kích thước hạt ASTM là khoảng 0.267
lần đơn vị dựa trên chỉ số. Để biết kích thước cụ thể trong đơn vị đo chuẩn (như µm), bạn cần
biết đơn vị đo được sử dụng trong chỉ số kích thước hạt ASTM.

Bài tập 11. Chiết suất giữa thấu kính và vật kính của hiển vi luyện kim là 1.6.
Khẩu độ nữa góc là 70৹. Tính độ phân giải của kính hiển vi nếu ánh sáng nhìn
thấy từ hệ thống chiếu sáng có bước sóng 540nm.

Bài giải 11.

Để tính độ phân giải của kính hiển vi, bạn cần sử dụng công thức sau:

Độ phân giải (R) = 1.22 * λ / NA

Trong đó:

• R là độ phân giải.
• λ là độ dài sóng của ánh sáng (đơn vị mét, 540 nm = 540 x 10^(-9) m).
• NA là số F-number của hệ thống (số F), được tính bằng tích của chỉ số khúc xạ của môi
trường (n) và sin của nửa góc khẩu độ (α).

Theo yêu cầu, chiết suất giữa thấu kính và vật kính của hiển vi là 1.6 và nửa góc khẩu độ là 70°.
Bước sóng của ánh sáng được sử dụng là 540 nm.

1. Tính chỉ số khúc xạ của môi trường (n) (vì đây là không khí, n = 1).
2. Tính NA bằng cách nhân n (1) với sin của nửa góc khẩu độ (α): NA = n * sin(α) = 1 *
sin(70°).
3. Tính độ phân giải (R) bằng cách sử dụng công thức:
R = 1.22 * λ / NA
R = (1.22 * 540 x 10^(-9) m) / sin(70°)

Kết quả của phép tính này sẽ cho bạn giá trị độ phân giải của kính hiển vi trong điều kiện được
mô tả.

Bài tập 12. Trong một thí nghiệm, người ta đặt một điện áp tăng tốc 100kV cho
một thiết bị SEM. Tính vận tốc của electron.

Bài giải 12.

 V = 100kV =100.000 V; 𝑚𝑒 = 9.1 × 10−31 𝑘𝑔; 𝑒 = 1.6 × 10−19 𝐶𝑜𝑢𝑙; 𝑣 =?

Bằng cách sử dụng Công thức 4, chúng tôi thu được:

2𝑒𝑉 2𝑒𝑉 2×1.6×10−19 ×100.000

v= √ 𝑚 = √ 𝑚 =√ = 1.87×108 m/s
𝑒 𝑒 9.1×10−31

Vận tốc của electron = 1.87 × 108 m/s.

Bài tập 13. Tính thành phần % nguyên tử của hợp kim chứa 40 g Cu và 36 g
Sn. Khối lượng nguyên tử của đồng và thiết lần lượt là 63.5 và 118.7 g/mol

Bài giải 13.

𝑚𝐶𝑢 = 40 g; 𝑚𝑆𝑛 = 36 g; 𝐴𝐶𝑢 = 63.5 g/mol, 𝐴𝑆𝑛 = 118.7 g/mol

Bằng cách sử dụng công thức 11,

𝑚𝐶𝑢 40
𝑛𝑚𝐶𝑢 = = = 0.630 𝑔. 𝑚𝑜𝑙𝑒𝑠
𝐴𝐶𝑢 63.5

𝑚𝑆𝑛 36
𝑛𝑚𝑆𝑛 = = = 0.303 𝑔. 𝑚𝑜𝑙𝑒𝑠
𝐴𝑆𝑛 118.7

Bằng cách sử dụng phương trình 9,

𝑛𝑚𝐶𝑢 0.630
𝐶′𝐶𝑢 = 𝑛 ×100 = 0.630+0.303 × 100 = 67.5 𝑎𝑡%
𝑚𝐶𝑢 +𝑛𝑚𝑍𝑛

Bằng cách sử dụng phương trình 10,

𝑛𝑚𝑍𝑛 0.303
𝐶′𝑍𝑛 = ×100 = × 100 = 32.5 𝑎𝑡%
𝑛𝑚𝐶𝑢 +𝑛𝑚𝑍𝑛 0.630+0.303

Do đó, hàm lượng của đồng và kẽm lần lượt là 67.5 at% và 32.5 at%.

Bài tập 14. Điện áp đặt vào chùm eletron gia tốc trong SEM là 15kV. Bước
sóng của chùm điện tử là gì?

Bài giải 14.

 V= 15 kV = 15.000 Volt, λ=?

Bằng cách sử dụng phương trình 6,

1.5 1.5
λ = √ 𝑉 = √15.000 = 0.01 𝑛𝑚

Bước sóng của chùm điện tử = 0.01 nm hoặc 10 pm.

Bài tập 15. Tính phần trăm nguyên tử của mỗi nguyên tố trong hợp kim đồng
thau 70-30

Bài giải 15.

wt% Cu = 𝐶𝐶𝑢 = 70, wt% Ni = 𝐶𝑁𝑖 = 30, 𝐴𝐶𝑢 = 63.5 g/mol, 𝐴𝑁𝑖 = 58.7 g/mol

Bằng cách sử dụng các công thức 13 và 14,

𝐶𝐶𝑢 𝐴𝐶𝑢 70×58.7
𝐶′𝐶𝑢 = 𝐶 ×100 =(70×58.7)+(30×63.5) × 100 = 68 at%
𝐶𝑢 𝐴𝐶𝑢 +𝐶𝑁𝑖𝐴 𝑁𝑖

𝐶𝑁𝑖𝐴 30×63.5
𝐶′𝑁𝑖 = 𝑁𝑖
×100 =(70×58.7)+(30×63.5) × 100 = 32 at%
𝐶𝐶𝑢 𝐴𝐶𝑢 +𝐶𝑁𝑖𝐴
𝑁𝑖

Do đó, hàm lượng của đồng và niken lần lượt là 68 at% và 32 at%.

Bài tập 16. Tính tỷ trọng gần đúng của thép không gỉ 18-8, cho biết rằng tỷ
trọng của Fe, Cr và Ni lần lượt là 7.8, 7.2 và 8.g/𝑐𝑚3

Bài giải 16.

Giả sử tỷ lệ phần trăm của các thành phần trong thép không gỉ 18-8 là:

• Fe: 70%
• Cr: 18%
• Ni: 12%

Sử dụng tỷ lệ phần trăm này, bạn có thể tính tỷ trọng gần đúng như sau:

Tỷ trọng (ρ) = (ρFe * XFe) + (ρCr * XCr) + (ρNi * XNi)

Trong đó:

• ρFe, ρCr, và ρNi lần lượt là tỷ trọng của Fe, Cr và Ni (theo g/cm³, cho biết trong câu).
• XFe, XCr, và XNi lần lượt là tỷ lệ phần trăm của Fe, Cr và Ni.

Áp dụng các giá trị vào công thức:

Tỷ trọng (ρ) = (7.8 g/cm³ * 0.70) + (7.2 g/cm³ * 0.18) + (8 g/cm³ * 0.12)

Tỷ trọng (ρ) = 5.46 g/cm³ + 1.296 g/cm³ + 0.96 g/cm³

Tỷ trọng (ρ) = 7.716 g/cm³

Vậy, tỷ trọng gần đúng của thép không gỉ 18-8 trong trường hợp này là khoảng 7.716 g/cm³.