Mã sửa

Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Soạn thảo Kiểm tra Phê duyệt
đổi
Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Phê Hội

Hướng Dẫn Kiểm Tra ESD duyệt ý

Test Manual of ESD Items / / / / /

Tên model - Tên công đoạn All Thiết bị -

1) Mục đích (Purpose)
Tiêu chuẩn này nhằm mục đích đào tạo phương pháp đo EOS/ESD để quản lý tĩnh điện trong line sản xuất
(It aims to implement ESD control in the production line and EOS/ ESD measurement operations).
2. Phạm vi áp dụng (Scope of application).
Áp dụng vào việc quản lý tính điện trong các tòa nhà của công ty chất bán dẫn ITM ( dưới đây gọi là công ty ta )
(It is used for ESD control in the facility (factory, site) of ITM semi-conductor (headquarters)
3. Quy tắc an toàn (Safety regulations)
Sử dụng quần áo tĩnh điện, giầy tĩnh điện được quy định, tuân thủ phương pháp đo và tiến hành đo
(ESD shoes and clothes must be worn as requested, comply right as the regulations. measurement methods must be implemented as SOP).
4. Phương pháp đo đo (Measurement method)

No Máy đo ESD/ESD tools Ghi chú

1 Máy đo điện trở bề mặt (SRT) Điện trở bề mặt /Surface resistance [Ω].

2 Digital Voltage Meter (DVM) Điện áp rò /Leakage Voltage [V] ; Điện trở /Resistance [Ω] ; Điện trở tiếp đất bổ trợ /Auxiliary [Ω].

3 Electrostatic File Meter (ESD meter) ESD voltage/ Điện (V); Điện áp cân bằng Ion/ Ion Balance Voltage (V).

4 Ion meter Hiệu chuẩn cân bằng Ion cho các Ionizer/ Ion Balance Calibration for Ionizer.

5 AC Circuit Analyzer (CA Meter) Power supplier earthing resistacne Điện trở tiếp đất nguồn [Ω].

6 Electrostatic Voltmeter (ESD Voltmeter) Điện áp ESD /ESD Voltage [V]

7 Walking tester Walking Voltage [V]

ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체 1/14

 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -
Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -

Danh Sách Thiết bị Kiểm Tra ESD

List of ESD Testers
Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị -

1-SRT Tester 2-DVM 3-ES Fieldmeter 4-Ion Meter

5-CA Meter 6-ESD voltmeter 7-Walking Tester

ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체 2/14

 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -
Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -

Danh Sách Các Hạng Mục Quản Lý ESD

ESD Management Items
Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị -

# ESD Item Tool # ESD Item Tool

1 Leakage voltage DVM Surface Resistance (Gloves, SRT with ring probe
12
package material) (Base is metal sheet)
2 Earth band resistance DVM
Surface resistance (Insulating
13 SRT with gloves probe
3 Auxiliary earthing resistance DVM gloves and finger cots)

4 Power supply earthing resistance CA Meter 14 Surface resistance (Carrier) SRT with specific probe

5 ESD voltage ESD Fieldmeter 15 Walking voltage Walking tester

6 Ion Balance Voltage ESD Fieldmeter

7 Surface resistance (tables, trolleys, racks) SRT

8 Surface resistance (Clothes) SRT

9 Chair Surface resistance SRT

10 Surface resistance (Floor, ESD cushions) SRT

Surface resistance (Floor and distribution SRT

11 box

12 ESD voltmeter (Tweezer, Jig. Tray, …) ESD Voltmeter

Surface Resistance (Gloves, package ma- SRT with ring probe

13 terial) (Base is glass sheet)

ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체 3/14

 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -
Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -

Điện Áp Dò
Voltage Leakage
Tên model Common Tên công đoạn Common Thiết bị DVM

Phương pháp đo và Spec

Photo
(Measurement method and Spec)
1) Cắm dây đo màu đỏ vào V/Ω, màu đen vào COM trên máy đo DVM
(Connect the red measuring line to V/Ω and the black one to COM on DVM measuring
machine).
2) Vặn nút xoay điều chỉnh từ OFF
về giá trị VAC (điện áp xoay chiều )
(Adapt the rotation button from OFF back VAC (Alternating voltage)
3) Cho dây Probe màu đen (-) tiếp xúc với nền,probe màu đỏ (+) vào điểm cần đo
(Contact the black probe (-) to the ground, and the red (+) to a target point )
4) Đọc giá trị điện áp đo được
(Record the measured value)
※ Trường hợp đo một thiết bị, đo nhiều vùng lộ ra bên ngoài của thiết bị, lấy giá trị đo
điện áp cao nhất làm giá trị cần đo, trường hợp vượt quá spec, kiểm tra trạng thái kết
nối tiếp đất của thiết bị
(In the event of measuring one equipment with lots of protruding parts, the highest
value will be taken as the expected one and if there exceeding spec, check the earthing
status.)
* Spec
1) Thiết bị gây ảnh hưởng trực tiếp đến sản phẩm (Equipment has direct impacts on
products)
Điện áp rò : < 0.5Vac (Leakage voltage: < 0.5Vac)
2) Thiết bị gây ảnh hưởng gián tiếp đến sản phẩm (Equipment has indirect impacts on
products )
Điện áp rò < 5Vac (Leakage voltage: < 5Vac)
Chú ý : Đeo gang tay hoặc bao ngón khi tiến hành đo
( Notes : Gloves or finger cots must be worn during measurement )

㈜아이티엠반도체 4/14
ICP-401-03 Rev.0
 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -
Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -
Điện trở phần dây của Wrist Strap
Wrist Strap’s Cord Resistance
Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị DVM

Hình ảnh kiểm tra Phương pháp đo và Spec

Testing photo (Measurement method and Spec)

1) Cắm dây đo màu đỏ vào V/Ω, dây đen vào COM trên máy đo DVM
Method-1
(Connect the black measuring line to COM, the red one to V/Ω on the DVM).
2) Vặn nút điều chỉnh từ OFF sang Ω ( điện trở )
(Adjust the rotation button to Ω (resistance).
3) Cắm dây Probe màu đen ( -) vào đầu kẹp Earth Band ( giắc nối ) dây probe màu đỏ (+) vào đầu khuy bấm (
Snap)
(Connect the black probe (-) to a earth band clip (socket connecting point), contact the red one (+) with a
knob)
5) Đọc giá trị điện trở đo được
(Record the measured value)
※ Trường hợp vượt quá Spec, tiến hành thay thế
(If there exceeds Spec, make replacements)
* Spec
1) 0.8 ~ 1.2MΩ
Method-2 Chú ý : Đeo gang tay hoặc bao ngón khi tiến hành đo
( Notes : Gloves or finger cots must be worn during measurement )

ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체 5/14

 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -
Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -
Điện Trở Nối Đất Bổ Trợ
Auxiliary Earthing Resistance
Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị DVM

Hình ảnh kiểm tra Phương pháp đo và Spec

Testing photo (Measurement method and Spec)
1) Cắm dây đo màu đỏ vào V/Ω, dây đen vào COM trên máy đo DVM
(Connect the black line to COM and the red one to V/Ω on DVM)
2) Vặn nút điều chỉnh từ OFF sang Ω ( điện trở )
(Adjust the rotation button to Ω (resistance)
3) Cắm Probe màu đen (-) vào tiếp đất nguồn, Probe màu đỏ ( +) vào
tiếp đất cơ thể
(Connect the black Probe to the power supply earthing, the red one (+)
to the human body earthing)
5) Đọc giá trị điện trở đo được
(Record the measured value)
※ Trường hợp vượt quá Spec, kiểm tra trạng thái kết nối của tiếp đất cơ
thể
(If there exceeds Spec, check the human body earthing status)
* Spec < 25Ω
Chú ý : Đeo gang tay hoặc bao ngón khi tiến hành đo
( Notes : Gloves or finger cots must be worn during measurement )

ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체 6/14

 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -
Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -

Điện trở tiếp đất nguồn

(Power supply earthing resistance)
Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị CA Meter

Hình ảnh kiểm tra Phương pháp đo và Spec

Testing photo (Measurement method and Spec)
1)Nhấn nút nguồn AC Analyzer để bật nguồn
(Press the power button on AC Analyzer to turn it on)
2) Cắm AC Analyzer vào phích cắm nguồn và nối với ổ điện
(After connecting the extension cord to AC Analyzer, plug it to the socket)
3) Khi “ vùng L’’ sáng lên thì cắm lại phích cắm theo hướng ngược lại
(When L lights up, reverse the socket)
4) Nhấn nút FUNC trên AC Analyzer 2 lần, sau đó nhấn nút Test ở “ Z
menu’’ và kiểm tra giá trị đo
(Press Func on AC Analyzer twice and then hit the test button on manual Z
and check the measured value)
(Nhấn nút "↓“ và đo Z-L, Z-N, ở phần Z-E đã được lắp đặt thiết bị ngắt
điện, nên khi đo, dòng điện ở đây đã bị ngắt, nên không đo giá trị này )
(Press ↓“, measure Z-L, Z-N and Z-E as when having a switch-off machine,
the power supply will be stopped and measurement can’t be made)
※ Trường hợp vượt quá Spec, kiểm tra lại trạng thái kết nối của tiếp đất
nguồn
(If there exceeds Spec, check the power supply status).
* Spec : < 1Ω
Chú ý : Đeo gang tay hoặc bao ngón khi tiến hành đo
( Notes : Gloves or finger cots must be worn during measurement )

7/14
 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -
Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -

Điện Áp Các Thiết Bị

Equipment’s Voltage
Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị ESD Voltmeter

Hình ảnh kiểm tra Phương pháp đo và Spec

Testing photo (Measurement method and Spec)
1) Nhấn nút Power (Press the Power button)
2) Nhất nút ZERO để điều chỉnh về 0
(Hit the ZERO button and adjust to the zero value)
3) Từ cự ly đo ≤25Cm đưa máy đo từ từ tiếp cận đến vị trí đo
(At a distance of ≤25Cm, slowly contact the gauge with measuring points)
4) Xác nhận giá trị đo khi 2 điểm phát ánh sáng đỏ từ máy đo tụ lại thành một
điểm tại vị trí đo ( Nhấn nút HOLD, cố định giá trị đo và kiểm tra )
(Check the value when 2 luminous points merge into one)
※ Đo giá trị sau khi đeo Earth Band hoặc sau khi giải phóng tĩnh điện, đo
các sản phẩm bán dẫn ( như sản phẩm chống tĩnh điện dạng sợi, Box dẫn
điện, chất đóng gói cách điện vv)
(Carry out measurements after using electrostatic or electrostatic discharge
lines, measure insulators (fiber insulation products, conductivity box and
anti-static packaging materials)
* Spec
2) Dưới ±100 V
Chú ý : Đeo gang tay hoặc bao ngón khi tiến hành đo
( Notes : Gloves or finger cots must be worn during measurement )

8/14
ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체
 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -
Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -

Điện áp Ion Balance

(Ion balance voltage)
Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị ESD Voltmeter

Hình ảnh kiểm tra Phương pháp đo và Spec

Testing photo (Measurement method and Spec)
1) Tháo tấm kim loại bên dưới máy đo ESD ra ngoài
(Remove the metal plate below ESD gauge).
2) Lắp tấm kim loại vừa tháo ra lên trên máy đo ESD
(Install the plate on the upper side of ESD gauge)
3) Nhấn nút IB ( Ion Balance), và nhấn nút ZERO để
Note: Whole Ionizers have điều chỉnh về 0
to be turned on during (Press IB (Ion balance) and hit the zero button to the
working time. (Tất cả máy zero value).
Ionizer phải được bật 4) Sử dụng thước sắt và đo giá trị Ion Balance từ cự ly
cách Ionizer 30cm
trong quá trình làm việc).
( Nhấn nút HOLD, cố định giá trị đo và xác nhận )
(Apply a measurement ruler to create a 30Cm distance
Tấm kim loại between Ion gauge and the machine and measure Ion
balance values)
(Press the hold button, fix and check the measured
value).
30cm ※ Trường hợp vượt quá Spec, loại bỏ bụi ở phần đầu
probe của Ionizer, điều chỉnh lượng gió/ tốc độ
(If there exceeds Spec, adjust the speed/gauge and re-
move dust on probe tip).
* Spec: < ±35V
Chú ý : Đeo gang tay hoặc bao ngón khi tiến hành đo
( Notes : Gloves or finger cots must be worn during mea-
㈜아이티엠반도체 surement )
ICP-401-03 Rev.0

ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체 9/14

 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -
Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -

Điện trở bề mặt (bàn, xe đẩy di chuyển ,rack)

(Surface resistance (tables, trolleys, racks)
Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị SRT

Hình ảnh kiểm tra Phương pháp đo và Spec

Testing photo (Measurement method and Spec)
1) Nối dây Cable vào máy đo điện trợ bề mặt
(Connect with a cable on the surface resistance machine).
2) Nối dây Cable đã được kết nối vào Test Voltage vào giắc cắm tiếp đất và
nối probe với dây Cable đã được kết nối với phần Input
(Plug the cable connected with test voltage into the socket and contact
probe with the cable on input).
3) Nhấn nút bên trái Power để bật nguồn
(Press the left-sided power button to turn on the power).
4) Đặt Probe lên Point đo
(Place Probe on a measurement point)
5) Nhấn nút 10V trên Test Voltage, nếu giá trị hiển thị trên màn hình máy
đo điên trở bề mặt nhỏ hơn 1.0 X 106Ω thì ghi lại kết quả đo, nếu lớn hơn
1.0 X 106Ω , nhấn nút 100V và ghi lại giá trị hiển thị trên màn hình máy đo
điện trở
(Press 10V on Test Voltage, if the value is displayed less than 1.0 X 10 6Ω,
make a record and if it is over 1.0 X 106Ω then hit the 100v button and note
down the values).
※ Trường hợp vượt quá Spec, kiểm tra trạng thái kết nối dây tiếp đất, bề
mặt có bị hỏng/ nhiễm bẩn hay không
(If there exceeds Spec, check the cable status to see if impurities or im-
pairments exist).
* Spec : < 1.0 X 109Ω
Chú ý : Đeo gang tay hoặc bao ngón khi tiến hành đo
( Notes : Gloves or finger cots must be worn during measurement)

ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체 10/14

 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -
Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -

Điện trở bề mặt ( Quần áo tĩnh điện)

Surface resistance (Clothes)
Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị SRT

Hình ảnh kiểm tra Phương pháp đo và Spec

Testing photo (Measurement method and Spec)
1) Trải quần áo tĩnh điện lên trên bàn
( Tay áo phải tách rời thân áo ) (Lay clothes out on the table)
2) Nối dây Cable với máy đo điện trở bề mặt
(Separate the right sleeve from the garment body).
3) Nối Probe với dây Cable đã được nối với Test Voltage và Input
(Connect the cable with the surface resistance gauge).
4) Nhấn nút bên trái Power để bật nguồn
(Connect the cable with the surface resistance gauge).
5) Đặt Probe lên trên tay áo (Place probe on sleeves).
6) Nhấn nút 10V trên Test Voltage, nếu giá trị hiển thị trên màn
hình máy đo điên trở bề mặt nhỏ hơn 1.0 X 10 6Ω thì ghi lại kết
quả đo, nếu lớn hơn 1.0 X 106Ω , nhấn nút 100V và ghi lại giá trị
hiển thị trên màn hình máy đo điện trở
(Press 10V on Test Voltage, if the value is displayed less than 1.0
X 106Ω, make a record and if it is over 1.0 X 106Ω then hit the
100v button and note down the values)
※. Trường hợp vượt quá Spec, kiểm tra có bẩn, rách hay không
rồi mang đi sặt hoặc thay thế
(In case of excessive Spec, check to see if there are cracks, impu-
rities then clean or make replacements).
* Spec : < 1.0 X 1011Ω
Chú ý : Đeo gang tay hoặc bao ngón khi tiến hành đo
( Notes : Gloves or finger cots must be worn during
measurement )

ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체 11/14

 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -

Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -

Điện trở bề mặt (Ghế tĩnh điện )

Chair_Surface resistance
Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị SRT

Hình ảnh kiểm tra Phương pháp đo và Spec

Testing photo (Measurement method and Spec)
1) Nối dây Cable với máy đo điện trở bề mặt
(Connect the cable with the surface resistance gauge).
2) Nối dây Cable đã được kết nối vào Test Voltage vào giắc cắm tiếp đất và nối probe
với dây Cable đã được kết nối với phần Input
(Plug the cable connected with test voltage into the socket and contact probe with the
cable on input).
3) Nhấn nút bên trái Power để bật nguồn
(Press the left-sided Power button and turn on the power).
4) Đặt Probe lên bệ ghế và lưng ghế
(Press the left-sided power button and turn on the power).
5) Nhấn nút 10V trên Test Voltage, nếu giá trị hiển thị trên màn hình máy đo điên trở bề
mặt nhỏ hơn 1.0 X 106Ω thì ghi lại kết quả đo, nếu lớn hơn 1.0 X 106Ω , nhấn nút 100V
và ghi lại giá trị hiển thị trên màn hình máy đo điện trở
(Press 10V on Test Voltage, if the value is displayed less than 1.0 X 10 6Ω, make a record
and if it is over 1.0 X 106Ω then hit the 100v button and note down the values).
※ Trường hợp vượt quá Spec, kiểm tra trạng thái kết nối dây tiếp đất, bề mặt có bị
hỏng/ nhiễm bẩn hay không
(If there exceeds Spec, check the cable status to see if impurities or impairments exist)
* Spec : < 1.0 X 109Ω
Chú ý : Đeo gang tay hoặc bao ngón khi tiến hành đo
- Nếu giá trị spec out, hãy vệ sinh lại bề mặt tiếu xúc đầu đo và xích tiếp đất. (if value is
spec out  clean probe surface, wheels of chair and grounding chain)
( Notes : Gloves or finger cots must be worn during measurement )

ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체 12/14

 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -

Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -

Điện trở bề mặt ( Nền tĩnh điện, thảm tĩnh điện )

(Surface resistance (ESD ground, ESD cushions)
Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị SRT

Hình ảnh kiểm tra Phương pháp đo và Spec

Testing photo (Measurement method and Spec)
1) Nối dây Cable với máy đo điện trở bề mặt
(Connect the cable with the surface resistance gauge).
2) Nối Probe với dây Cable đã được nối với Test Voltage và Input
(Plug 2 cables to Probe and connect them to Test Voltage’s input).
30cm 3) Nhấn nút bên trái Power để bật nguồn
(Press the left-sided power button and turn on the power).
4) Sử dụng thước sắt, dãn cách 30cm
±1cm giữa các Probe và đặt lên Point đo
(Apply a ruler to create a 30-cm distance to probe and keep the
gauge ±1cm away from measuring points)
5) Nhấn nút 10V trên Test Voltage, nếu giá trị hiển thị trên màn hình
máy đo điên trở bề mặt nhỏ hơn 1.0 X 10 6Ω thì ghi lại kết quả đo,
nếu lớn hơn 1.0 X 106Ω , nhấn nút 100V và ghi lại giá trị hiển thị
trên màn hình máy đo điện trở
(Press 10V on Test Voltage, if the value is displayed less than 1.0 X
106Ω, make a record and if it is over 1.0 X 106Ω then hit the 100v
button and note down the values).
※ Trường hợp vượt quá Spec, kiểm tra có nhiểm bẩn, rách hay
không
(In case of excessive Spec, check to see if there are cracks, impuri-
ties)
* Spec : < 1.0 X 109Ω
Chú ý : Đeo gang tay hoặc bao ngón khi tiến hành đo
( Notes : Gloves or finger cots must be worn during measurement )

ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체 13/14

 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -
Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -

Phương pháp đo EOS/ESD

Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị SRT

Điện trở bề mặt ( Dây tiếp đất và nền tĩnh điện ) Phương pháp đo và Spec
(Surface resistance (ESD ground and ESD wires) (Measurement method and Spec)
1) Nối dây Cable với máy đo điện trở bề mặt
(Connect the cable with the surface resistance gauge)
2) Nối dây Cable đã được kết nối vào Test Voltage vào giắc cắm tiếp
đất và nối probe với dây Cable đã được kết nối với phần Input
(Plug the cable connected with test voltage into the socket and contact
probe with that cable).
3) Nhấn nút bên trái Power để bật nguồn
(Press the left-sided power button and turn on the power).
4) Đặt Proble lên trên nền tĩnh điện (Place Probe on ESD ground)
5) Nhấn nút 10V trên Test Voltage, nếu giá trị hiển thị trên màn hình
máy đo điên trở bề mặt nhỏ hơn 1.0 X 106Ω thì ghi lại kết quả đo, nếu
lớn hơn 1.0 X 106Ω , nhấn nút 100V và ghi lại giá trị hiển thị trên màn
hình máy đo điện trở
(Press 10V on Test Voltage, if the value is displayed less than 1.0 X
106Ω, make a record and if it is over 1.0 X 106Ω then hit the 100v but-
ton and note down the values).
※ Trường hợp vượt quá Spec, kiểm tra trạng thái kết nối của dây tiếp
đất, ô nhiễm, hỏng nền tĩnh điện vv , và phải thấp hơn kết quả đo điện
trở bề mặt nền tĩnh điện.
(In case of excessive Spec, check the connection status of ESD wires
and ground to see if there are impairments or impurities and Spec must
be lower than ESD ground surface resistance values).
* Spec
2) < 1.0 X 109Ω
Chú ý : Đeo gang tay hoặc bao ngón khi tiến hành đo
( Notes : Gloves or finger cots must be worn during measurement )

ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체 14/14

 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -

Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -

Điện trở bề mặt (Ổ chia điện và nền tĩnh điện)

(Surface resistance (Floor and distribution box)
Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị SRT

Hình ảnh kiểm tra Phương pháp đo và Spec

Testing photo (Measurement method and Spec)
1) Nối dây Cable với máy đo điện trở bề mặt .
(Connect the cable with the surface resistance gauge).
2) Nối dây Cable đã được kết nối vào Test Voltage vào giắc cắm tiếp đất
của ổ chia điện và nối probe với dây Cable đã được kết nối với phần Input
(Plug the cable on Test Voltage with the power box and contact probe
with the cable connected to input).
3) Nhấn nút bên trái Power để bật nguồn
(Press the left-sided power button and turn on the power).
4) Đặt Proble lên trên nền tĩnh điện(Place Probe on ESD ground)
5) Nhấn nút 10V trên Test Voltage, nếu giá trị hiển thị trên màn hình máy
đo điên trở bề mặt nhỏ hơn 1.0 X 106Ω thì ghi lại kết quả đo, nếu lớn hơn
1.0 X 106Ω , nhấn nút 100V và ghi lại giá trị hiển thị trên màn hình máy
đo điện trở
(Press 10V on Test Voltage, if the value is displayed less than 1.0 X
106Ω, make a record and if it is over 1.0 X 106Ω then hit the 100v button
and note down the values)
※ Trường hợp vượt quá Spec, kiểm tra trạng thái kết nối của dây tiếp đất,
ô nhiễm, hỏng nền tĩnh điện vv , và phải thấp hơn kết quả đo điện trở bề
mặt nền tĩnh điện
(In case of excessive Spec, check the connection status of ESD wires and
ground to see if there are impairments or impurities and Spec must be
lower than ESD ground surface resistance values).
• Spec
1) < 1.0 X 109Ω
Chú ý : Đeo gang tay hoặc bao ngón khi tiến hành đo
( Notes : Gloves or finger cots must be worn during measurement )

ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체 15/14

 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -
Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -
Điện áp ESD (Chất dẫn điện/ không dẫn điện không được tiếp đất)
(ESD voltage (ungrounded conductor/ non-conductor)
Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị ESD volt meter

Hình ảnh kiểm tra Phương pháp đo và Spec

Testing photo (Measurement method and Spec)
1.) Kết nối tiếp đất Ground và thân máy đo
(Connect earthing to the voltmeter)
2) Nhấn nút Power \
(Press the Power button)
3) Đối với chất dẫn điễn đã được cách điện, khi đo, cầm bằng tay giống như
khi sử dụng bình thường
(Apple hands as usual to handle with insulated conductors)
4) Khi đo, duy trì khoảng cách từ 5~25mm
(Upon measurement, maintain a distance of 5~25mm)
5) Trường hợp có sử dụng Ionizer, đo trong trạng thái Ionizer đang bật
(If using Ionizer, carry out the measurement when it is on)
6) Đọc giá trị biểu thị trên máy đo. (Nhấn nút HOLD để cố định giá trị đo và
xác nhận )
Record values on the device (Press Hold to fix and confirm the value)
※ Người đo phải đo đeo earth band hoặc phòng tránh tĩnh điện trước khi đo,
đo các vật dẫn điện đã được cách điện ( nhíp, kéo, dao, kìm, tua vít ) và chất
không dẫn điện
(Operators must wear earth bands or ESD wrist straps before measurement,
handling with insulated conductors (tweezers, scissors, knives, drivers and
non-conductors)
※ Trường hợp vượt quá Spec, ngừng sử dụng
(Stop the task, if there exceeds Spec)
* Spec Chất dẫn điện đã được cách điện : ≤ ±35V
(Insulated conductors: ≤ ±35V )
2) Chất không dẫn điện : ≤125V /inch(25mm)
(Non-conductors: ≤125V /inch(25mm))

ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체 7/19

 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -

Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -

Điện trở bề mặt (găng tay cách điện , vật liệu đóng gói )
Surface resistance (ESD gloves, packaging materials
Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị SRT with ring probe

Hình ảnh kiểm tra Phương pháp đo và Spec

Testing photo (Measurement method and Spec)
1) Đặt tấm cách điện lên trên sàn và đặt vật cần đo lên trên nó.
(Place an ESD sheet on the floor and then put on it objects for
measurement)
2) Đặt Ring Probe lên trên vật đo và đặt quả tạ 5 pound lên trên Ring
Probe
(Put Ring Probe on objects and a 5-pound dumpbell on it)
3) Nối dây cáp ( Đen, đỏ ) của máy đo điện trở bề mắt với Ring Probe
và nối dây Shield ( màu xanh ) với quả tạ 5 pound
(Connect the cable (black, red) of the meter with Ring Probe and
shield cable (blue) with the 5-pound dumpbell)
4) Nhấn nút 10V trên Test Voltage, nếu giá trị hiển thị trên màn hình
máy đo điên trở bề mặt nhỏ hơn 1.0 X 106Ω thì ghi lại kết quả đo, nếu
lớn hơn 1.0 X 106Ω , nhấn nút 100V và ghi lại giá trị hiển thị trên
màn hình máy đo điện trở
(Press 10V on Test Voltage, if the value is displayed less than 1.0 X
106Ω, make a record and if it is over 1.0 X 106Ω then hit the 100v
button and note down the values)
※ Trường hợp vượt quá Spec, ngừng sử dụng
(In case of excessive Spec, stop the task)
* Spec: < 1.0 X 1011Ω

ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체 15/19

 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -
Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -

Điện trở Volume ( Ni nông cách điện, vật liệu đóng gói )
(Volume resistance (insulating nylon, packaging mataerials)
Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị SRT with ring probe

Hình ảnh kiểm tra Phương pháp đo và Spec

Testing photo (Measurement method and Spec)

1). Đặt tấm Metal lên trên nền và đặt vật cần đo lên trên nó
(Place a metal sheet on the floor and put on it objects for
measurement)
2) Đặt Ring Probe lên trên vật đo và đặt quả tạ 5 pound lên
trên Ring Probe
(Put Ring Probe on objects and a 5-pound dumpbell on
it)
3) Nối dây cáp ( Đen, đỏ ) của máy đo điện trở bề mắt với
Ring Probe và nối dây Shield ( màu xanh ) với quả tạ 5
pound
(Connect the cable (black, red) of the meter with Ring
Probe and shield cable (blue) with the 5-pound dumpbell)
4) Nhấn nút 10V trên Test Voltage, nếu giá trị hiển thị trên
màn hình máy đo điên trở bề mặt nhỏ hơn 1.0 X 106Ω thì
ghi lại kết quả đo, nếu lớn hơn 1.0 X 106Ω , nhấn nút
100V và ghi lại giá trị hiển thị trên màn hình máy đo điện
trở
(Press 10V on Test Voltage, if the value is displayed less
than 1.0 X 106Ω, make a record and if it is over 1.0 X
106Ω then hit the 100v button and note down the values)
※ Trường hợp vượt quá Spec, ngừng sử dụng
(In case of excessive Spec, stop the task)
* Spec : < 1.0 X 1011Ω

ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체 16/19

 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -

Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -

Điện trở bề mặt ( Găng tay cách điện và bao ngón)

Surface resistance (Insulating gloves and finger cots)

Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị SRT with Gloves probe

Hình ảnh kiểm tra Phương pháp đo và Spec

Testing photo (Measurement method and Spec)
1) Đeo gang tay hoặc bao ngón vào tay
(Weat gloves or finger cots)
2) Đeo wrist strap ( không có điện trở 1 Mohm) và nối dây cáp
vào máy đo điện trở bề mặt
(Wear wrist strap (without 1 Mohm resistance) and connect
the cabke to the meter)
3) Nối GLOVE PROBE vào máy đo điện trở bề mặt
(Connect GLOVE PROBE to the meter)
4) Chạm nhón tay có đeo găng tay (bao ngón) hoặc phần có vân
tay cảm nhận vào GLOVE PROBE vào giữ nguyên vị trí
( Touch a finger covered with finger cots or with sense stripes
on GLOVE PROBE and hold on without moving)
5) Nhấn nút 10V trên Test Voltage, nếu giá trị hiển thị trên màn
hình máy đo điên trở bề mặt nhỏ hơn 1.0 X 106Ω thì ghi lại kết
quả đo, nếu lớn hơn 1.0 X 106Ω , nhấn nút 100V và ghi lại giá
trị hiển thị trên màn hình máy đo điện trở
(Press 10V on Test Voltage, if the value is displayed less than
1.0 X 106Ω, make a record and if it is over 1.0 X 106Ω then hit
the 100v button and note down the values)
※ Trường hợp vượt quá Spec, tiến hành thay thế
(In case of excessive Spec, make replacements)
* Spec < 1.0 X 109Ω

ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체 17/19

 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -
Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -
Điện trở bề mặt (Carrier)
Surface resistance (Carrier)
Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị SRT with specific probe

Hình ảnh kiểm tra Phương pháp đo và Spec

Testing photo (Measurement method and Spec)
1) Đeo gang tay hoặc bao ngón vào tay
(Weat gloves or finger cots)
2) Đeo wrist strap (không có điện trở 1 Mohm) và nối dây cáp vào máy đo
điện trở bề mặt
(Wear wrist strap (without 1 Mohm resistance) and connect the cabke to
the meter)
3) Nối GLOVE PROBE vào máy đo điện trở bề mặt
(Connect GLOVE PROBE to the meter)
4) Chạm nhón tay có đeo găng tay (bao ngón) hoặc phần có vân tay cảm
nhận vào GLOVE PROBE vào giữ nguyên vị trí
( Touch a finger covered with finger cots or with sense stripes on
GLOVE PROBE and hold on without moving)
5) Nhấn nút 10V trên Test Voltage, nếu giá trị hiển thị trên màn hình máy
đo điên trở bề mặt nhỏ hơn 1.0 X 106Ω thì ghi lại kết quả đo, nếu lớn hơn
1.0 X 106Ω , nhấn nút 100V và ghi lại giá trị hiển thị trên màn hình máy đo
điện trở
(Press 10V on Test Voltage, if the value is displayed less than 1.0 X 106Ω,
make a record and if it is over 1.0 X 106Ω then hit the 100v button and
note down the values)
※ Trường hợp vượt quá Spec, tiến hành thay thế
(In case of excessive Spec, make replacements)
* Spec < 1.0 X 1011Ω

ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체 17/19

 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -
Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -
Phương Pháp Đo Điện Áp Đi Bộ
Walking Voltage Test
Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị

Điện trở bề mặt

Phương pháp đo và spec
Surface resistance
1) Nối dây cáp của máy đo điện trở bề mặt vào Wrist Strap
Tool (PWA-805)
(Connect the meter’s cable to Wrist Strap Tool (PWA-805)
2) Cố định mặt bên trong của Earth Band tiếp xúc vào phần
Metal Probe của Wrist Strap Tool (PWA-805)
(Contact the inside of Earth Band with Metal Probe of Wrist
Strap Tool (PWA-805))
3) Đọc giá trị điện trở đo được
(Record the measured value)
4) Cố định mặt bên ngoài của Earth Band tiếp xúc vào phần
Metal Probe của Wrist Strap Tool (PWA-805)
(Contact the outside of Earth Band with Metal Probe of
Wrist Strap Tool (PWA-805))
5) Cài đặt giá trị điện áp đo của máy đo điện trở bề mặt mặt
trong là 10V, mặt ngoài là 100V và đọc giá trị điện trở đo được
(Set the surface resistance value of measuring the inside of
10V and the outside of 100V and record measured values)
※ Trường hợp vượt quá Spec, tiến hành thay thế
(In case of excessive Spec, make replacements)
* Spec
1) Bên trong < 1.0 X 105Ω (Inside < 1.0 X 105Ω )
2) Bên ngoài > 1.0 X 107Ω (Ouside > > 1.0 X 107Ω)

ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체 18/19

 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -
Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -
Phương Pháp Đo Điện Áp Đi Bộ
Walking Voltage Test
Tên model Common Tên công đoạn Common Thiết bị Walking Voltage [V]

1-Trình tự lắp đặt (steps of connection)
1 2
3 5
2-Chương trình test và các chức năng. (Testing program and functions)
1 2 3 4
① Start and Stop measurement: Bắt đầu và kết thúc đo
② Clear the measurement: Xóa kết quả đo
③ Save chart to graphic file: Lưu biểu đồ
④ Save measurement: Lưu data Data
⑤ Save measurement: Biểu thị vị trí giá trị lớn nhất
⑥ Calculate average valleys: Biểu thị vị trí giá trị nhỏ nhất
3-Trình tự test. (Steps of Testing Operation)
1) Bật nguồn thiêt bị & chương trình đo trên màn hình Desktop.
(Open power for the Tester & program on Desktop display)
2) Biểu tượng để bắt đầu đo và dừng đo khi click chuột:
(Symbol to Start and Stop measurement)
 Điều kiện test (testing condition): SMT area 18°C~26°C / 40% ~ 60% ; Other
area 18°C~28°C / 40% ~ 60% ;
 Tiêu chuẩn (Spec): < 100 Voltage Peak
ICP-401-03 Rev.0
3) Một tay cầm Handheld như Hình-1 bên dưới, sau đo kích vào biểu tượng
4 Star và di chuyển chân theo thứ tự như Hình-1 bên dưới rồi đo (Đo lặp đi lặp
lại trên 5 lần)
(Hold Handheld by one hand as Picture-1 below, click the start symbol and
move legs following the below Picture-1 below (measure repeatedly over 5
times)
4) Click vào biểu tượng sau đề ngừng đo
(Click on the symbol to stop)
5) Click để biểu thị giá trị lớn nhất và giá trị nhỏ nhất
(Click the symbol to display valley and peak values)
6) Lưu dữ liệu và đồ thì test
(Save data and chart)
5 6 7) Xác nhận giá trị Peak của từng Cycle và phán định kết quả, dựa trên biểu đồ
Hình-3 trên mà hình (Cả 5 lần phải thỏa mãn tiêu chuẩn).
(Confirm Peak values of each Cycle and make result judgements, base on chart
Picture-3 on Desktop (All 5 times must satisfy the standard)).
4-Chú ý:
- Tuân thủ quy định về trang phục trong quá trình đo. (Comply uniform rules
during the testing).
- Khu vực đo phải đảm bảo giá trị điện trở bề mặt trong tiêu chuẩn (<1.0*10^9
Ohms). (Surface resistance of Testing area meet spec (<1.0*10^9 Ohms)).
- Khi phát sinh không đạt, xử lý sửa chữa theo tiêu chuẩn quản lý tĩnh điện (If
there occur failures, take corrective actions following the electrostatic control
standard)
㈜아이티엠반도체 18/19
 Mã tiêu chuẩn ISWA-CO-025 Phân loại áp dụng Mã sửa đổi Sản phẩm áp dụng -
Ngày tạo mới/ sửa đổi 2019.02.26 ■ Vĩnh viễn □ Tạm thời( thời gian : ) 4 Package -

Phương pháp đo EOS/ESD

Tên model - Tên công đoạn - Thiết bị -

Lịch sử sửa đổi (Revision History)

Mã sửa Người soạn

đổi Ngày tháng Nội dung
thảo

0 2013.05.31 Tạo mới lần đầu (First issuance) 김주연

1 2018.10.19 Sửa đổi toàn bộ phương pháp đo EOS/ESD ( Edit the whole EOS/ESD Measurement method ) 유지훈

2 2018.11.21 Sửa đổi phương pháp đo điện áp rò và spec ( Edit voltage leakage measurement method and Spec ) 유지훈

Đinh Thúy
3 2019.02.20 Bổ sung hạng mục chú ý về phương pháp đo EOS/ESD ( Add notes on EOS/ESD measurement method )
An
Thêm phương pháp đo điện trở Volume Đinh Thúy
4 2019.02.26
(Add Volume resistance measurement method) An

ICP-401-03 Rev.0 ㈜아이티엠반도체 23/14