CẢM BIẾN ĐO LỰC

1. Nguyên lý đo lực
2. Cảm biến áp điện
3. Cảm biến từ giảo
4. Cảm biến đo lực dựa trên phép đo dịch
chuyển
5. Cảm biến xúc giác
1. Nguyên lý đo lực

1.1. Nguyên tắc đo lực: làm cân bằng lực

cần đo với một lực đối kháng sao cho lực
tổng hợp và momen tổng của chúng bằng
không.
 Lực cần đo F  tác động lên vật trung gian
 gây ra biến dạng và lực đối kháng.
 Đo trực tiếp biến dạng  Lực.
 Đo gián tiếp qua sự thay đổi tính chất của
vật liệu chế tạo vật trung gian khi bị biến
dạng.
 2. Cảm biến áp điện
2.1. Cấu tạo và nguyên lý hoạt động

 Cấu tạo: Cảm biến có dạng tấm mỏng chế tạo từ
vật liệu áp điện (thạch anh, gốm PZT…) hai mặt
có phủ kim loại  tương tự một tụ điện.

Vật liệu áp điện Lớp phủ kim loại

2.1. Cấu tạo và nguyên lý hoạt động

Điện trở Modun Ứng lực Nhiệt độ Đặc

Vật liệu suất Young cực đại làm việc điểm
(.m) (109 N.m-2) (107 N.m-2) Tmax (oC)

Thạch anh 1012 Y11=80 10 550 Tính ổn định

và độ cứng cao

Muối >1010 Y11=19,3 1,4 45

seignette Y22=30
L.H. >1010 46 1,5 75

PZT5A 1011 Y33=53 7-8 365 b, HB, S cao,

C lớn, dễ SX,
chế tạo
 2.1. Cấu tạo và nguyên lý
hoạt động
 Nguyên lý hoạt động: dựa trên cơ
sở hiệu ứng áp điện: Dưới tác dụng
của lực cơ học, tấm áp điện bị biến
dạng, làm xuất hiện trên hai bản cực
các điện tích trái dấu. Hiệu điện thế
xuất hiện giữa hai bản cực (V) tỉ lệ
với lực tác dụng (F). F +Q +
++++++++++ V~ F
- - - - - - - - -
- -Q 
F
 2.1. Cấu tạo và nguyên lý
hoạt động

 Các dạng biếFn dạng cơ bản:

+ +
F F
V~ F V~ F
 
F b) Theo chiều ngang
a) Theo chiều dọc
F

+ V~ F
F
F V~ F

F
c) Cắt theo bề dày d) Cắt theo bề mặt
2.1. Cấu tạo và nguyên lý
hoạt động
 Cách ghép các phần tử áp điện thành bộ:
+
+
+
+  +
+
a) Hai phần tử song song 
+
Cb =2C +
+
+ +
+ 
+


+ + 

b) Hai phần tử nối tiếp c) Nhiều phần tử song song

Cb =1/2C, Rb =2R, Vb = 2V
 2.2. CB thạch anh kiểu
vòng đệm
a) Cấu tạo:
2 3 1. Các vòng đệm
1 2. Các tấm đế
3.Đầu nối dây

 Các vòng đệm: phiến cắt từ đơn tinh thể

thạch anh, nhạy với lực nén dọc theo
chiều trục.
2.2. CB thạch anh kiểu vòng
đệm
b) Đặc điểm:
 Chỉnhạy với lực nén theo chiều trục
 đo lực nén (có thể đo lực kéo
bằng cách nén trước).
 Giới hạn trên của dải đo cỡ từ vài kN
(với đường kính ~ 1 cm) đến 103 kN
( với đường kính ~ 10 cm).
2.3. CB thạch anh nhiều thành phần

a) Cấu tạo:

a) Các phiến cắt

b) Cảm biến ba
thành phần vuông góc
 2.4. Mạch đo
a) Sơ đồ tương đương của cảm biến:

dQ dQ RS CS
Rg Cg
dt dt

a) Trong dải thông có ích b) Nối với mạch ngoài

1 1 1
Rg - Điện trở trong của cảm biến  
R S R g R1
Cg – Điện dung của cảm biến
C S  C g  C1

R1 và C1: điện trở và tụ tương đương với trở kháng cáp dẫn
2.4. Mạch đo

b) Sơ đồ khuếch đại điện áp

dQ
Req Ceq Vm
dt
dQ
R S CS Vm Re Ce
dt
Sơ đồ tương đương
1 1 1
 
Cảm biến ZV của khuếch R eq R S R e
và cáp nối đại điện áp C eq  C S  C e
Q R eq C eq P
Điện áp ở cửa vào của bộ khuếch đại: Vm  .
C q 1  R eq C eq P
2.4. Mạch đo
c) Sơ đồ khuếch đại điện tích
Bộ chuyển đổi Chuẩn độ nhạy và Bộ Bộ khuếch đại
điện tích khuếch đại vi sai lọc đầu ra

Đầu vào (điện tích) Đầu ra (điện áp)

a) Sơ đồ khối bộ chuyển đổi điện tích – điện áp
Cr

+Q Q

dQ RS CS V V0
dt

b) Sơ đồ ghép nối cảm biến và bộ chuyển đổi điện tích - điện áp

2.4. Mạch đo

 Trong mạch khuếch đại điện tích, sự di

chuyển của điện tích ở lối vào sẽ gây nên ở
lối ra một điện áp tỉ lệ với điện tích đầu
vào. Bộ khuếch đại điện tích gồm một bộ
biến đổi điện tích - điện áp đầu vào, một
tầng chuẩn độ nhạy, một bộ lọc trung gian
và một số tầng khuếch đại ở đầu ra để cung
cấp tín hiệu ra .
3. Cảm biến từ giảo

3.1. Hiệu ứng từ giảo

 Dưới tác động của từ trường, một số vật
liệu sắt từ thay đổi hìn dáng chất hình học
hoặc tính chất cơ học (mô đun Young) 
hiệu ứng từ giảo.
 Ngược lại: Khi có tác dụng của lực cơ học
gây ra ứng lực trong vật liệu sắt từ đường
cong từ hoá của chúng thay đổi  hiệu
ứng từ giảo nghịch.
 Đường cong từ hóa: B
B

Br
-Hm Hc Hm H
0

H
0

a) Từ hoá lần đầu b) Chu trình từ trễ

 Khi trong vậ t liệ u sắ t từ có
ứ ng lự c, kích thư ớ c mạ ng tinh B(Wb/m2) =20N/mm2

.
thể thay đổi, các hướng dễ từ =0

hoá thay đổi dẫn đến làm thay

H (A/m)
đổi định hướng của các domen
 đường cong từ hóa thay đổi
 hiệ u ứ ng từ giả o nghịch.
Trên hình biểu diễn ảnh hưởng
của ứng lực đến đường cong từ Sự biến dạng của đường
cong từ hoá dưới tác dụng
hoá của permalloy 68. của lực kéo
 3.2. Cảm biến từ thẩm biến
thiên
a) Cấu tạo, nguyên lý làm việc: F
2
 Dưới tác dụng của lực F, lõi từ
bị biến dạng  độ từ thẩm () 3
thay đổi  từ trở mạch từ (Rt) 1

thay đổi  độ tự cảm (L) của

cuộn dây thay đổi.
F
 Sự thay đổi , Rt, L  F:
1. Gông từ
 R L
   K. 2. Lõi từ

 R L 3. Cuộn dây
 3.3. Cảm biến từ dư biến
thiên
a) Cấu tạo và nguyên lý làm việc:
1
 Dưới tác dụng của lực cần đo  Br F

thay đổi , ví dụ lực nén (d < 0), 2

Br tăng lên: 2
Vm
dBr Wb.m
 1,5.10 9
d N.m 2
F
 Br thay đổi   biến thiên  ec.ư.
 Điện áp hở mạch: 1. Lõi từ Ni
2. Cuộn dây

dBr dBr d
Vm  K K
dt d dt
4. Cảm biến đo lực dựa trên
phép đo dịch chuyển
4.1. Nguyên lý: Trong cảm biến loại này, lực
cần đo tác dụng lên vật trung gian và gây
nên sự thay đổi kích thước l của nó. Sự
thay đổi kích thước được đo bằng một cảm
biến dịch chuyển. Khi đó tín hiệu ra Vm và
lực tác dụng được biểu diễn bằng biểu
thức: V V l
m
 m
.
F l F
Vm/l: tỉ số truyền đạt của cảm biến.
l/F : độ mềm của vật trung gian.
4. Cảm biến đo lực dựa trên
phép đo dịch chuyển
4.2. Cấu tạo:
 Vật trung gian:
 Vòng đo lực;
 Các dầm dạng console;
 Lò xo.
 Cảm biến đo dịch chuyển:
 Điện thế kế điện trở;
 Cảm biến từ trở biến thiên;
 Cảm biến tụ điện.
 5. Cảm biến xúc giác
5.1. Cấu tạo và nguyên lý làm việc:

X1 X2 F
Lớp cao su
Dây dẫn chứa hạt
Y1
dẫn điện
Y2
Điện cực

Đế cách
điện I00 I01 I02 I03 I04

a) Hệ thống cực đo b) Tác dụng của lực

lên điện cực
5. Cảm biến xúc giác

 Khi có lực nén tác dụng lên một phần nào

đó của tấm cao su, khoảng cách giữa các
hạt dẫn điện ở phần đó ngắn lại, điện trở
giảm xuống, dòng điện tăng lên. Toạ độ của
vùng có dòng điện tăng lên sẽ xác định vị
trí của lực tác dụng và giá trị của nó xác
định giá trị của lực.