Hệ thống ICP-MS bao gồm một nguồn ICP (nguồn cảm ứng cao tần plasma)

nhiệt độ cao và một khối phổ kế. Nguồn ICP chuyển các nguyên tử của nguyên
tố trong mẫu thành các ion. Sau đó, nhưng ion này được phân tách và phát hiện
bằng thiết bị khối phổ.

Hình 1. Đuốc ICP cho thấy sự biến đổi của mẫu (PerkinElmer, Inc.)

Hình 1 biểu diễn sơ đồ của nguồn ICP trong hệ thống ICP-MS. Khí Argon được
bơm qua rãnh đồng tâm của đuốc ICP. Cuộn cao tần RF được nối với một bộ
phát cao tần (RF). Khi dòng điện được cấp cho cuộn cao tần từ bộ phát cao tần,
dao động điện trường và từ trường sẽ được tạo thành ở cuối đuốc ICP. Khi dòng
khí argon được đánh lửa qua đuốc ICP, các điện tử sẽ được tách khỏi nguyên tử
Argon, để tạo thành ion Argon. Những ion này bị bắt lại trong các trường dao
động và va chạm với các nguyên tử Argon khác tạo thành plasma.

Mẫu được đưa vào đuốc plasma ICP dưới dạng sol khí bằng cách hút mẫu lỏng
hoặc rắn hòa tan vào ống phun hoặc sử dụng laser để chuyển trực tiếp mẫu rắn
thành dạng sol khí. Khi mẫu dưới dạng sol khí được đưa vào đuốc ICP, mẫu sẽ
bị đề solvat và các nguyên tố trong sol khí sẽ được chuyển thành các nguyên tử
khí rồi được ion hóa tại phần cuối của đuốc plasma.
Khi các nguyên tố trong mẫu được chuyển thành các ion, những ion này được
đưa vào thiết bị khối phổ qua vùng trung gian hình nón. Vùng này trong thiết bị
ICP-MS chuyển các ion trong dòng mẫu argon ở áp suất không khí (1 – 2 torr)
vào vùng có áp suất thấp (<10 x 10-5 torr) của thiết bị khối phổ. Hiện tượng này
xảy ra trong vùng chân không trung gian được tạo bởi 2 nón trung gian, là nón
thu và nón tách (xem Hình 2). Nón thu và nón tách là 2 đĩa kim loại có một lỗ
nhỏ (~1mm) ở trung tâm. Những đĩa này có tác dụng gom phần lõi của chùm
ion phát ra từ đuốc ICP. Một gương chắn tối màu (xem Hình 2) hoặc thiết bị
tương tự sẽ ngăn các photon phát ra từ đuốc ICP, cũng là một nguồn sáng
mạnh.

Hình 2. Vùng trung gian của thiết bị ICP-MS (PerkinElmer, Inc.)

Do lỗ của nón thu và nón tách có đường kính nhỏ, ICP-MS có một số hạn chế về
tổng lượng chất rắn hòa tan trong mẫu. Nói chung, mẫu chỉ nên chứa không
quá 0,2% tổng chất rắn hòa tan (TDS) để thiết bị có thể hoạt động tốt và ổn
định nhất. Nếu chạy các mẫu có hàm lượng TDS quá lớn, các lỗ xuyên tâm của
nón sẽ bị tắc, làm giảm độ nhạy và khả năng phát hiện dẫn đến việc phải ngừng
hệ thống để bảo trì. Đây là lý do tại sao nhiều loại mẫu, bao gồm các mẫu đất
và đá sau khi phá mẫu vẫn cần được pha loãng trước khi đưa vào chạy trên hệ
thống ICP-MS.
Các ion từ nguồn ICP sau đó được hội tụ lại bởi các thấu kính tĩnh điện trong hệ
thống. Lưu ý, các ion đi ra từ hệ thống mang điện tích dương, nên các thấu kính
tĩnh điện, cũng mang điện tích dương, có tác dụng chuẩn trực chùm ion và hội
tụ vào khe hoặc lỗ nhận của thiết bị khối phổ. Các hệ thống ICP-MS khác nhau
có các hệ thống thấu kính khác nhau. Hệ thống đơn giản nhất có một thấu kính
đơn, còn các hệ thống phức tạp hơn có thể có đến 12 thấu kính ion. Mỗi hệ
thống quang ion được thiết kế riêng để hoạt động với một hệ thống khối phổ và
bộ phận kết nối khác nhau.

Khi các ion đi vào thiết bị khối phổ, chúng được phân tách theo tỷ lệ khối lượng
– điện tích (m/z). Loại thiết bị khối phổ phổ thông nhất là bộ lọc khối tứ cực
quadrupole. Thiết bị này có 4 thanh (đường kính khoảng 1cm và dài khoảng 15
– 20cm) được bố trí như trong Hình 3. Trong bộ lọc khối tứ cực, điện thế một
chiều và xoay chiều được áp vào xen kẽ cho các cặp đối diện của các thanh này.
Điện áp này sau đó nhanh chóng được chuyển dọc theo một trường RF, tạo ra
một trường lọc tĩnh điện chỉ cho các ion có cùng tỷ lệ khối lượng – điện tích
(m/e) đi qua các thanh này tới đầu dò tại thời điểm tức thời. Như vậy, bộ lọc
khối tứ cực thực ra là một bộ lọc nối tiếp, có khả năng điều chỉnh cho mỗi tỷ lệ
m/e tại một thời điểm. Tuy nhiên, điện áp trên các thanh có thể được chuyển
với tốc độ rất nhanh. Kết quả là bộ lọc khối tứ cực có thể phân tách đến 2.400
amu (đơn vị khối lượng nguyên tử) trong một giây. Tốc độ này giải thích cho
việc hệ thống ICP-MS tứ cực thường được coi là có khả năng phân tích đồng thời
nhiều nguyên tố. Khả năng lọc ion dựa trên tỷ lệ khối lượng – điện tích cho phép
ICP-MS cho ra các kết quả của đồng vị vì các đồng vị khác nhau của cùng một
nguyên tố có các khối lượng khác nhau

Hình 3. Sơ đồ bộ lọc khối tứ cực (PerkinElmer, Inc.)

Khối phổ tứ cực điển hình dùng trong ICP-MS có độ phân giải từ 0,7 – 1,0amu.
Độ phân giải này là đủ cho các ứng dụng thông thường. Tuy nhiên, có một số
trường hợp độ phân giải này không đủ để phân tách các phân tử giao thoa nhau
hoặc nhiễu đồng vị của các đồng vị của nguyên tố đang phân tích. Bảng 1 chỉ ra
một số nhiễu phổ biến gây khó khăn khi phân tích siêu vết của nhiều nguyên tố
quan trọng, đặc biệt là trong chất nền cụ thể. Độ phân giải (R) của một thiết bị
khối phổ được tính theo công thức R = m/(ǀm1 – m2ǀ) = m/∆m, trong đó m1 là
khối lượng của một loại hoặc đồng vị, m2 là khối lượng của thành phần hoặc
đồng vị cần phân tách, m là khối lượng phân tử.