M aterials Characterization

วิศิษฏพงศ์ ยอดศรี
ห้องปฏิบัติการวิเคราะห์เชิงฟิสิกส์
หน่วยวิเคราะห์ลักษณะเฉพาะของวัสดุ
ศูนย์เทคโนโลยีโลหะและวัสดุแห่งชาติ
e-mail: visittay@mtec.or.th

การทำ�งานของ
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน
แบบทรานสมิสชัน
กล้องจุลทรรศน์อเิ ล็กตรอนแบบทรานสมิสชัน (Transmission Electron
Microscope, TEM) เป็นกล้องจุลทรรศน์แบบหนึ่งที่ใช้ในการศึกษาสิ่งเล็กๆ ใน
ระดับนาโนเมตร โดยอาศัยการยิงลำ�อิเล็กตรอนทะลุผ่านชิ้นงานตัวอย่างที่มี
ความบางมากๆ (น้อยกว่า 100 นาโนเมตร) ซึ่งลำ�อิเล็กตรอนที่ทะลุและเลี้ยวเบน
ผ่านตัวอย่างจะถูกนำ�มาสร้างเป็นภาพด้วยการโฟกัสและขยายด้วยเลนส์แม่เหล็ก
และฉายลงบนฉากรับภาพ

ภาพที่ 1 ภาพเครื่อง TEM (JEOL) รุ่น JEM-2010

ที่ศูนย์เทคโนโลยีโลหะและวัสดุแห่งชาติ
68 ตุลาคม - ธันวาคม 2557

หลักการทำ�งานของ TEM คล้ายกับกล้องจุลทรรศน์แบบใช้แสง (Optical Microscope, OM) โดยปกติกล้อง

OM จะใช้แสงเป็นแหล่งกำ�เนิดในการส่องผ่าน หรือสะท้อนจากวัตถุ และใช้เลนส์นูนสำ�หรับหักเหแสงเพื่อขยายขนาด
วัตถุเข้าสู่ตาผู้สังเกต ส่วนกล้อง TEM จะใช้ลำ�อิเล็กตรอนในการส่องผ่านวัตถุ และใช้เลนส์แม่เหล็กในการเบี่ยงเบนลำ�
อิเล็กตรอนเพื่อขยายขนาดวัตถุเข้าสู่จอรับภาพ
เนื่องจากอิเล็กตรอนมีความยาวคลื่นสั้นกว่าแสงมาก จึงทำ�ให้กล้อง TEM มีกำ�ลังขยาย (magnification) และ
กำ�ลังแยกแยะ1 (resolution) สูงกว่ากล้อง OM มาก โดย TEM และ OM มีกำ�ลังแยกแยะประมาณ 0.23 นาโนเมตร
และ 0.2 ไมโครเมตร ตามลำ�ดับ

ภาพที่ 2 ภาพเปรียบเทียบส่วนประกอบของกล้อง OM และ TEM

ส่วนประกอบสำ�คัญของกล้อง TEM
กล้อง TEM ประกอบด้วยส่วนสำ�คัญต่างๆ เช่น แหล่งกำ�เนิดอิเล็กตรอน ระบบเลนส์เม่เหล็ก ระบบสุญญากาศ
และระบบหล่อเย็น เป็นต้น แต่ในทีน่ จี้ ะกล่าวถึงส่วนประกอบหลักทีเ่ กีย่ วข้องกับการถ่ายภาพ และการวิเคราะห์ผลเท่านัน้

• แหล่งกำ�เนิดอิเล็กตรอน
ส่วนบนสุดของเครือ่ ง TEM ประกอบด้วยแหล่งกำ�เนิดอิเล็กตรอน หรือฟิลาเมนต์ (filament) ทีม่ ลี กั ษณะปลาย
แหลมเพือ่ ทำ�ให้อเิ ล็กตรอนหลุดออกมาได้งา่ ย ฟิลาเมนต์อาจทำ�จาก LaB6 (lanthanum hexaboride) โดยในขณะใช้งาน
จะให้ความร้อนที่ปลายฟิลาเมนต์ เพื่อกระตุ้นให้อิเล็กตรอนหลุดออกมา (thermionic emission) จากนั้นใช้สนามไฟฟ้า
ดึงดูดเพื่อเร่งอิเล็กตรอนให้พุ่งไปยังตัวอย่างที่อยู่ด้านล่าง

1 กำ�ลังแยกแยะ (resolution) คือ ความสามารถในการแยกความแตกต่างของปริมาณที่มีค่าใกล้เคียงกัน มักจะเรียกทับ

เสียงว่า เรโซลูชัน มีหลายลักษณะเช่น spatial resolution หมายถึง ความสามารถในการแยกบริเวณ 2 บริเวณที่อยู่
ใกล้เคียงกันออกจากกัน spectral resolution หมายถึง ความสามารถในการแยกพีค 2 พีคที่อยู่ใกล้เคียงกันออกจากกัน
เป็นต้น (ที่มา: พจนานุกรมศัพท์วัสดุศาสตร์และเทคโนโลยี)
 ตุลาคม - ธันวาคม 2557 69

ภาพที่ 3 ภาพจำ�ลองการทำ�งานของฟิลาเมนต์ (ซ้าย) และลักษณะของฟิลาเมนต์ชนิด LaB6 (ขวา)

ความแรงสนามไฟฟ้าทีใ่ ช้เร่งอิเล็กตรอนเรียกว่า ค่าแรงดันเร่ง (accelerating voltage) มีหน่วยเป็นอิเล็กตรอน

โวลต์ (electron Volt, eV) ในการใช้งานเครือ่ ง TEM จะต้องเลือกเครือ่ งทีใ่ ห้คา่ แรงดันเร่งทีเ่ หมาะสมกับตัวอย่าง เพราะ
ตัวอย่างแต่ละชนิดมีความทนทานต่อพลังงานของลำ�อิเล็กตรอนที่แตกต่างกัน
ตัวอย่างอินทรีย์ที่มีไฮโดรคาร์บอนเป็นส่วนประกอบ และรวมถึงตัวอย่างโพลิเมอร์บางตัวที่มีจุดหลอมเหลวต่ำ�
จะไม่ทนทานต่อพลังงานของลำ�อิเล็กตรอนจึงถูกทำ�ลายได้งา่ ย ดังนัน้ จึงต้องใช้พลังงานต่�ำ หรือค่าแรงดันเร่งในช่วง 80-160
keV ส่วนตัวอย่างอนินทรีย์ ได้แก่ โลหะ เซรามิก ออกไซด์ หรือสารประกอบต่างๆ ทีม่ จี ดุ หลอมเหลวสูงสามารถทนทาน
ต่อลำ�อิเล็กตรอนได้มากกว่าจึงอาจใช้พลังงานสูงหรือค่าแรงดันเร่งในช่วง 160-200 keV เพราะลำ�อิเล็กตรอนมีพลังงาน
เพียงพอที่จะทะลุผ่านตัวอย่างจึงสามารถวิเคราะห์ตัวอย่างนั้นๆ ได้

• เลนส์แม่เหล็ก (Magnetic Lens)

เลนส์แม่เหล็กเป็นส่วนประกอบที่สำ�คัญอย่างหนึ่งของกล้อง TEM ทำ�หน้าที่เบี่ยงเบนลำ�อิเล็กตรอนให้ไปยัง
ตำ�แหน่งต่างๆ โดยทัว่ ไปเลนส์แม่เหล็กประกอบด้วยขดลวดทองแดงขดตัวเป็นวงกลมล้อมรอบบริเวณแกนกลางของเครือ่ ง
TEM ที่ลำ�อิเล็กตรอนวิ่งผ่าน ซึ่งภายในเครื่อง TEM จะประกอบด้วยเลนส์แม่เหล็กจำ�นวนมาก
เมือ่ จ่ายกระแสค่าต่างๆ เข้าไปภายในขดลวดทองแดงจะทำ�ให้เกิดสนามแม่เหล็กรอบๆ ทางผ่านของลำ�อิเล็กตรอน
โดยสนามแม่เหล็กที่เกิดจากเลนส์แม่เหล็กแต่ละตัวจะควบคุมทิศทางลำ�อิเล็กตรอนให้เบี่ยงเบน หรือโฟกัสในตำ�แหน่งที่
เหมาะสมได้ ซึ่งเหมือนกับการทำ�งานของเลนส์นูนในกล้อง OM

ภาพที่ 4 ภาพเปรียบเทียบการหักเหของลำ�อิเล็กตรอนด้วยเลนส์แม่เหล็ก (ซ้าย) และการหักเหของแสงด้วยเลนส์นูน (ขวา)

70 ตุลาคม - ธันวาคม 2557

หลักการสร้างภาพของ TEM
ภาพที่ได้จาก TEM โดยทั่วไปมักเป็นภาพไบรต์ฟิลด์ (bright field) ซึ่งเป็นภาพถ่ายกำ�ลังขยายสูงที่เกิดจากลำ�
อิเล็กตรอนทะลุผ่านชิ้นงานและเลี้ยวเบน โดยลำ�อิเล็กตรอนที่ทะลุผ่านตัวอย่างลงมาจะถูกโฟกัสและขยายด้วยเลนส์
แม่เหล็ก และฉายลงบนฉากรับเพื่อแสดงภาพบนจอ
ในเบื้องต้นควรทำ�ความเข้าใจถึงความสำ�คัญของระนาบ 2 ระนาบที่ทำ�ให้เกิดภาพ ดังนี้
• ระนาบภาพแรก (First Image Plane): เป็นระนาบแรกที่เกิดการสร้างภาพหลังจากลำ�อิเล็กตรอนวิ่งทะลุ
ผ่านชิ้นงาน ซึ่งภาพแรกนี้จะถูกนำ�ไปเพิ่มกำ�ลังขยายให้มากขึ้นด้วยชุดเลนส์แม่เหล็กถัดไปด้านล่างตาม
ความเหมาะสม และฉายเป็นภาพไบรต์ฟิลด์ลงบนฉาก
• ระนาบแบกโฟคัล (Back Focal Plane): เป็นระนาบทีเ่ กิดการรวมกันของลำ�อิเล็กตรอนทีเ่ ลีย้ วเบนหลังจาก
ทะลุผ่านชิ้นงานและฉายลงบนฉาก ภาพที่ได้จากระนาบนี้คือ รูปแบบการเลี้ยวเบนอิเล็กตรอน (diffraction
pattern) ซึ่งบ่งถึงโครงสร้างผลึกของตัวอย่าง ณ บริเวณที่ลำ�อิเล็กตรอนตกกระทบ

ภาพที่ 5 ภาพแสดงตำ�แหน่งระนาบแบกโฟคัล และระนาบภาพแรกภายในกล้อง TEM (ซ้าย)

ภาพเปรียบเทียบระหว่างการฉายภาพไบรต์ฟิลด์กับรูปแบบการเลี้ยวเบนของอิเล็กตรอน (ขวา)

ในเบือ้ งต้นจะกล่าวถึงเฉพาะส่วนของการสร้างภาพในลักษณะไบรต์ฟลิ ด์เท่านัน้ เพือ่ ให้เข้าใจง่าย และสามารถ

วิเคราะห์ภาพ TEM ในเบื้องต้นได้
 ตุลาคม - ธันวาคม 2557 71

ภาพที่ 6 ภาพไบรต์ฟิลด์ของอนุภาคนาโนทอง (ซ้าย) และรูปแบบการเลี้ยวเบนของอิเล็กตรอน (ขวา)

ภาพไบรต์ฟิลด์ที่ได้จากเครื่อง TEM เป็นภาพจริง 2 มิติที่เกิดจากการฉายภาพตัวอย่างโดยใช้ลำ�อิเล็กตรอนเป็น

ตัวกลาง เช่น การวิเคราะห์ตวั อย่างทรงกลม ภาพทีเ่ ห็นคือ แผ่นวงกลม ในการวิเคราะห์ภาพ TEM ซึง่ เป็นภาพขาว-ดำ�
สิง่ สำ�คัญคือ การปรับคอนทราสต์ (contrast) ของภาพเพือ่ ให้เห็นความแตกต่างในแต่ละบริเวณของตัวอย่าง คอนทราสต์
ที่เกิดขึ้นในการสร้างภาพ TEM มี 2 ชนิด คือ
1. แอมพลิจูดคอนทราสต์ (Amplitude Contrast): เป็นคอนทราสต์ที่พบเห็นได้ทั่วไปในภาพไบรต์ฟิลด์
2. เฟสคอนทราสต์ (Phase Contrast): ใช้หลักการแทรกสอดของลำ�อิเล็กตรอนที่เกิดการเลี้ยวเบนหลังจาก
ทะลุผา่ นตัวอย่าง มักแสดงให้เห็นในส่วนของการวิเคราะห์ผลจากภาพทีก่ �ำ ลังแยกแยะสูง (high resolution)
ซึ่งไม่ได้กล่าวถึงรายละเอียดในบทความนี้

แอมพลิจูดคอนทราสต์แบ่งย่อยได้ 2 ประเภท คือ

• คอนทราสต์มวล-ความหนา (Mass-Thickness Contrast): เป็นปัจจัยหลักทีใ่ ช้แยกแยะรูปร่างของภาพทีไ่ ด้
จาก TEM กรณีตวั อย่างทีม่ คี วามหนาเท่ากันแต่เป็นวัสดุคนละประเภท (มวลอะตอมแตกต่างกัน) จะส่งผลต่อความสามารถ
ในการทะลุผา่ นของอิเล็กตรอนโดยตรง วัสดุทมี่ มี วลอะตอมมากกว่าจะเกิดการเลีย้ วเบนของอิเล็กตรอนทีพ่ งุ่ ทะลุตวั อย่าง
มากกว่าส่งผลให้อิเล็กตรอนที่ทะลุลงไปสร้างภาพด้านล่างมีปริมาณน้อย ภาพจึงสว่างน้อยกว่า
กรณีที่ตัวอย่างเป็นวัสดุชนิดเดียวกันแต่มีความหนาแตกต่างกัน ภาพที่ได้ก็จะแตกต่างกันด้วย โดยบริเวณที่
ตัวอย่างซ้อนทับกัน หรือหนากว่าจะเกิดการเลี้ยวเบนของอิเล็กตรอนที่ทะลุผ่านมากกว่า (ตัวอย่างยิ่งหนา สิ่งกีดขวางยิ่ง
มาก) ทำ�ให้ภาพบริเวณที่หนากว่าจะมีความสว่างน้อยกว่า โดยทั้ง 2 กรณีสรุปได้ดังนี้
มวลอะตอมน้อย/ความหนาน้อย ---> อิเล็กตรอนทะลุผ่านได้มาก ---> ภาพสว่างมากกว่า
มวลอะตอมมาก/ความหนามาก ---> อิเล็กตรอนทะลุผ่านได้น้อย ---> ภาพสว่างน้อยกว่า

ภาพที่ 7 ภาพไบรต์ฟิลด์แสดง คอนทราสต์มวล-ความหนาของวัสดุที่แตกต่างกันคือ ซิลิคอนสับสเตรท ฟิล์มคาร์บอน

และผิวเคลือบแพลทินัม (มวลอะตอม: ซิลิคอน = 28 คาร์บอน = 12 และแพลทินัม = 195)
72 ตุลาคม - ธันวาคม 2557

• ดิฟแฟรกชันคอนทราสต์ (Diffraction Contrast): ส่วนใหญ่เกิดขึ้นกับวัสดุที่มีความเป็นผลึก หรือมี

การจัดเรียงตัวของอะตอมอย่างเป็นระเบียบ ทั้งประเภทผลึกเดี่ยว2 (single crystal) หรือพหุผลึก3 (polycrystalline)
โดยปรากฏการณ์ทเี่ กิดขึน้ เกิดจากการใช้ออปเจกทีฟแอพเพอร์เจอร์4 (objective aperture) มาช่วยในการเพิม่ คอนทราสต์
ของภาพที่สร้างขึ้น โดยออปเจกทีฟแอพเพอร์เจอร์ที่ใช้มีหน้าที่กั้นลำ�อิเล็กตรอนบางส่วนที่เกิดการเลี้ยวเบนหลังจากทะลุ
ผ่านตัวอย่างก่อนจะนำ�มาสร้างภาพ ความแตกต่างของคอนทราสต์จากบริเวณทีอ่ เิ ล็กตรอนมีการเลีย้ วเบนในมุมทีต่ า่ งกัน
ทำ�ให้แยกแยะความแตกต่างของภาพได้มากยิ่งขึ้น

ภาพที่ 8 ภาพเปรียบเทียบการเพิ่มดิฟแฟรกชันคอนทราสต์โดยใช้ออปเจกทีฟแอพเพอร์เจอร์
โดยภาพซ้ายไม่ใช้ออปเจกทีฟแอพเพอร์เจอร์ ส่วนภาพขวาใช้ออปเจกทีฟแอพเพอร์เจอร์

หลักการสร้างภาพต่างๆ ที่กล่าวมาเป็นพื้นฐานสำ�คัญที่ช่วยให้ผลการวิเคราะห์ตัวอย่างด้วยเครื่อง TEM มี

ความชัดเจนมากขึน้ โอกาสการเกิดความเข้าใจผิดจากการวิเคราะห์ดว้ ยภาพจึงลดลงทำ�ให้สามารถอธิบายผลได้อย่างถูกต้อง

2 ผลึกเดีย่ ว (single crystal) คือ สสารทีม่ โี ครงสร้างเป็นผลึกทัง้ ชิน้ ไม่มขี อบเกรน (ทีม่ า: พจนานุกรมวัสดุศาสตร์และเทคโนโลยี)
3 พหุผลึก (polycrystalline) คือ วัสดุที่มีโครงสร้างประกอบด้วยผลึกหลายผลึกซึ่งเรียงตัวในทิศทางต่างๆ กัน (ที่มา: พจนานุกรม
วัสดุศาสตร์และเทคโนโลยี)
4 ออปเจกทีฟแอพเพอร์เจอร์ (objective aperture) มีลักษณะเป็นแผ่นโลหะเจาะรูขนาดเล็ก