CHƯƠNG 3: CẢM BIẾN NHIỆT ĐỘ VÀ ĐỘ ẨM

CHƯƠNG 3: CẢM BIẾN NHIỆT ĐỘ

VÀ ĐỘ ẨM
3.1 Giới thiệu chung cảm biến nhiệt

3.2 Cảm biến nhiệt điện trở kim loại

(RTD – Resitive Temperature Detector)
3.3 Cặp nhiệt điện (Can nhiệt – Thermocouple)

3.4 Cảm biến nhiệt bán dẫn

3.5 Hỏa kế (cảm biến quang đo nhiệt độ)

3.6 Cảm biến độ ẩm

3.1 Giới thiệu chung
- Tính chất vật lý của vật phụ thuộc vào nhiệt độ
- Khi nhiệt độ tác động vào vật thay đổi thì độ dẫn điện hoặc điện trở của nó cũng thay đổi

- Phân loại cảm biến nhiệt:

+ Theo pp tiếp xúc : CB tiếp xúc, CB không tiếp xúc
+ Theo cấu tạo: Cảm biến nhiệt điện trở, cảm biến cặp nhiệt điện, cảm biến bán dẫn,…
3.1.1 Thang đo nhiệt độ

Nhiệt độ Thang đo nhiệt độ

Kelvin (°𝐾) Celsius (℃) Rankin (°𝑅) Fahrenheit (°𝐹)
(1) 0 -273.15 0 -459.67
(2) 273.15 0 491.67 32
(3) 373.15 100 671.67 212
(1) – Độ không tuyệt đối
(2) – Nhiệt độ nước đá đang tan ở áp suất khí quyển chuẩn 𝑝0 =10232 Pa
(3) – Nhiệt độ hơi nước đang sôi ở 𝑝0
3.1.1 Thang đo nhiệt độ (tiếp)

❑ Chuyển đổi giữa các thang nhiệt

5 5
𝑡𝐶° = 𝑇𝐾° - 273,15 = 𝑡𝐹° − 17,78 = 𝑇𝑅° − 273,15
9 9

5 5
𝑇𝐾° = 𝑡𝐶° + 273,15 = 𝑡𝐹° + 255,37 = 𝑇𝑅°
9 9

9 9
𝑡𝐹° = 𝑡𝐶° + 32 = 𝑇𝐾° − 459,67 = 𝑇𝑅° − 459,67
5 5

9 ° 9 °
𝑇𝑅° = 𝑡𝐶 + 491,67 = 𝑇𝐾 = 𝑡𝐹° + 459,67
5 5
3.1.2 Nhiệt độ cần đo và nhiệt độ đo được

- Vật có nhiệt độ 𝑇𝑋 : nhiệt độ cần đo

- Nhiệt độ đo vật bằng cảm biến T: Nhiệt độ đo được

Để tăng độ chính xác: 𝑇𝑋 − 𝑇 min

- Giải pháp
+ Tăng cường trao đổi nhiệt giữa cảm biến
và môi trường bên ngoài
+ Giảm trao đổi nhiệt giữa cảm biến với môi
trường ngoài
3.1.2 Nhiệt độ cần đo và nhiệt độ đo được (tiếp)

- Trong cảm biến tiếp xúc, nhiệt lượng truyền từ môi trường vào bộ cảm biến tỷ lệ với (𝑇𝑋 − 𝑇 )

dQ = 𝛼𝐴(𝑇𝑋 − 𝑇 ) Trong đó:

𝛼 - Nhiệt dẫn suất; A -Diện tích bề mặt truyền nhiệt
dQ = 𝑚𝐶𝑑𝑇
m – khối lượng bộ cảm biến
C – tỷ nhiệt

- Bỏ qua tổn thất nhiệt do môi trường 𝛼𝐴 𝑇𝑋 − 𝑇 = 𝑚𝐶𝑑𝑇

𝑑𝑇 𝑑𝑡 𝑚𝐶
- Phương trình vi phân cân bằng nhiệt: 𝑇𝑋 −𝑇
= 𝜏
(1) 𝜏= 𝜏
𝛼𝐴
−𝑡
(1) Có nghiệm 𝑇 = 𝑇𝑋 − 𝑘𝑒 𝜏
 𝑇
3.1.2 Nhiệt độ cần đo và nhiệt độ đo được (tiếp)
𝑇𝑋
−𝑡
𝑇 = 𝑇𝑋 − 𝑘𝑒 𝜏
0,63𝑇𝑋

0
𝜏 𝑡
3.1.3 Phương pháp đo nhiệt độ
- Phương pháp nhiệt điện trở: dựa vào điện trở của vật liệu làm cảm biến thay đổi theo
nhiệt độ
- Phương pháp sức điện động nhiệt điện: dùng cặp nhiệt điện hay nhiệt ngẫu (dựa trên
hiệu ứng nhiệt điện).
- Phương pháp quang: Dựa trên sự phân bổ bức xạ nhiệt
- Phương pháp cơ: dựa vào sự giãn nở của các chất theo nhiệt độ
3.2 Cảm biến nhiệt điện trở kim loại (RTD – Resitive Temperature Detector)

- Điện trở chế tạo dưới dạng dây hay màng mỏng, điện trở suất thay đổi theo nhiệt độ
- Kim loại chế tạo RTD: Platin, Niken, đồng hoặc vonfram.

𝑅𝑇 = 𝑅0 (1 + 𝛼𝑇 + 𝛽𝑇 2 ) Trong đó:
𝑅𝑇 - Điện trở dây ở T℃
𝑅0 - Điện trở dây ở 0℃
𝛼, 𝛽 – hệ số nhiệt điện trở (1/độ)

- Điện trở và nhiệt độ tuyến tính: 𝑅𝑇 = 𝑅0 (1 + 𝛼𝑇)

RTD – PT100
3.2 Cảm biến nhiệt điện trở kim loại (tiếp)

❑ Cấu tạo

1 – Đầu cảm biến (Platium/Niken)

2 – Dây tín hiệu (2 dây, 3 dây, 4 dây)
3 – Chất cách điện bằng gốm (Gốm là một
vật liệu giúp ngăn chặn ngắn mạch và cách
điện các dây nối từ vỏ bọc bảo vệ)
4 – Chất làm đầy: Bột alumina
5 – Vỏ bảo vệ
6 - Đầu nối
3.2 Cảm biến nhiệt điện trở kim loại (tiếp)

❑ Đầu ra tín hiệu RTD

Dòng
điện

Nhiệt độ

- Tín hiệu đầu ra dạng dòng/áp, tránh ảnh hưởng của nhiệt độ môi trường bên ngoài
3.2 Cảm biến nhiệt điện trở kim loại (tiếp)
3.2 Cảm biến nhiệt điện trở kim loại (tiếp)
❑ Ưu điểm RTD

- Thang đo rộng:
- Đầu dò lPlatium chịu được nhiệt độ cao -200℃ ÷ 1000℃; thời gian phản hồi nhanh
- Độ chính xác cao
- Ổn định với nhiệt độ cao

❑ Nhược điểm RTD

- Cần lắp đặt thêm bộ hiển thị để đảm bảo tính chính xác
- Chi phí lắp đặt bộ chuyển đổi tín hiệu từ PT100 sang analog để truyền tín hiệu ổn
định
Ứng dụng RTD
Nhieät ñieän trôû

Caàu ño

Rô le ñieàu khieån

Điều khiển lò nung

 3.2 Cảm biến nhiệt điện trở kim loại (tiếp)

❑ Mạch đo

𝑈𝑛
- +

R𝑇
𝐴 R2

𝑈𝑑

R3
R1 𝐵

Mạch đo RTD 2 dây Mạch đo RTD 3 dây Mạch đo RTD 4 dây

3.2 Cảm biến nhiệt điện trở kim loại (tiếp)

❑ Ứng dụng RTD

- Nhà máy xi măng

- Nhà máy chế biến xăng dầu
- Khu sang chế nhiên liệu
- Nhà máy xử lý rác thải
- Đo nhiệt độ lò hơi, lò ấp trứng, ….
 𝑈𝑛
3.2 Cảm biến nhiệt điện trở kim loại - +

❑ Mạch đo RTD R𝑇
𝐴 R2

𝑅𝑇 = 𝑅0 (1 + 𝛼𝑇) 𝑈𝑑

Ví dụ: Tính giá trị nhiệt độ đo được của can R3

R1 𝐵
nhiệt PT100, biết ở 0℃ giá trị điện trở
𝑅0 =100Ω; biết mạch có 𝑈𝑛 =10V, điện áp Mạch đo RTD 2 dây
đầu ra đo được là 1.955 V R1 = R 2 = R 3 =R
0,1kΩ. Hãy tính giá trị nhiệt độ đo được?
 3.4 Cặp nhiệt điện (Can nhiệt – Thermocouple)

- Cấu tạo: gồm 2 chất kim loại khác nhau hàn dính tại 1 đầu
- Nguyên lý hoạt động: Dựa trên hiệu ứng nhiệt điện. Khi mối hàn được cấp nhiệt sẽ tạo ra 1
điện áp nhỏ trong mạch.
3.3 Cặp nhiệt điện (tiếp)

❑ Seebek đã chứng minh:

- Nhiệt độ tại các mối hàn t và 𝑡0 khác nhau; trong
mạch khép kín có 1 dòng điện chạy qua. Chiều của
dòng nhiệt điện phụ thuộc nhiệt độ tương ứng của
mối hàn. Nếu để hở 1 đầu thì xuất hiện sức điện
động (Sđđ) nhiệt. 2
𝑡0
Nếu 2 mối hàn có cùng nhiệt độ 𝑡0
𝐴 𝐵
𝐸𝐴𝐵 = 𝑒𝐴𝐵 𝑡0 + 𝑒𝐵𝐴 𝑡0 = 0 𝑡
1
Nếu 2 mối hàn có nhiệt độ 𝑡0 và t
Mối hàn
𝐸𝐴𝐵 = 𝑒𝐴𝐵 𝑡 + 𝑒𝐵𝐴 𝑡0 = 𝑒𝐴𝐵 𝑡 − 𝑒𝐴𝐵 𝑡0
 2
3.3 Cặp nhiệt điện (tiếp) 𝑡0
Nếu 2 mối hàn có nhiệt độ 𝑡0 và t
𝐴 𝐵
𝑡
PT cơ bản cặp nhiệt ngẫu
1
𝐸𝐴𝐵 = 𝑒𝐴𝐵 𝑡 + 𝑒𝐵𝐴 𝑡0 = 𝑒𝐴𝐵 𝑡 − 𝑒𝐴𝐵 𝑡0 Mối hàn

Nếu 2 mối hàn có nhiệt độ 𝑡0 = 𝑐𝑜𝑛𝑠𝑡

𝐸𝐴𝐵 = 𝑒𝐴𝐵 𝑡 − 𝐶 = 𝑓(𝑡)

3.3 Cặp nhiệt điện (tiếp)

❑ Mạch đo trong công nghiệp 𝑒𝐴𝐴1 𝑡1 𝐴1

𝐴
𝑒𝐴𝐵 𝑡
𝑡1 Dâ𝑦 𝑑ẫ𝑛 𝑏ù 𝑒𝐴1𝐵1 𝑡0 TBĐ 𝑡0
Sức điện động thiết bị đo (TBĐ): 𝐵
𝑒𝐵𝐵1 𝑡1 𝐵1
𝐸𝐴𝐵 = 𝑒𝐴𝐵 𝑡 − 𝑒𝐴𝐴1 𝑡1 − 𝑒𝐴1 𝐵1 𝑡0 + 𝑒𝐵𝐵1 𝑡1
Hệ đo can nhiệt trong công nghiệp
Nếu t = 𝑡1 = 𝑡0 𝐸𝐴𝐵 = 0

Điều kiện dây dẫn bù: 𝑡1 < 100℃

൞𝑒𝐴𝐵 𝑡1 = 𝑒𝐴1 𝐵1 𝑡1
𝑒𝐴𝐴1 𝑡1 = 𝑒𝐵𝐵1 𝑡1

𝐸𝐴𝐵 = 𝑒𝐴𝐵 𝑡 − 𝑒𝐴1 𝐵1 𝑡0

𝐸𝐴𝐵 = 𝑒𝐴𝐵 𝑡 − 𝑒𝐴𝐵 𝑡0
Dây bù không gây ra Sđđ phụ
3.3 Cặp nhiệt điện (tiếp)

❑ Bù nhiệt độ đầu tự do

Điều kiện chuẩn xác định đặc tuyến cặp nhiệt điện 𝑡0 = 0

𝐸𝐴𝐵 (𝑡, 0) = 𝑒𝐴𝐵 𝑡 − 𝑒𝐴𝐵 0

Thực tế: 𝑡0 #0

𝐸𝐴𝐵 (𝑡, 𝑡0 ) = 𝑒𝐴𝐵 𝑡 − 𝑒𝐴𝐵 𝑡0

𝐸𝐴𝐵 𝑡, 0 −𝐸𝐴𝐵 𝑡, 𝑡0 = 𝑒𝐴𝐵 𝑡0 − 𝑒𝐴𝐵 0 = 𝐸𝐴𝐵 𝑡0 , 0

𝐸𝐴𝐵 𝑡, 0 = 𝐸𝐴𝐵 𝑡, 𝑡0 + 𝐸𝐴𝐵 𝑡0 , 0

3.3 Cặp nhiệt điện (tiếp)

❑ Bù nhiệt độ đầu tự do 𝐴1 𝑡0
𝐴
𝑒𝐴𝐵 𝑡
R1 , R 2 , R 3 : làm bằng mangan Dâ𝑦 𝑑ẫ𝑛 𝑏ù
𝑡 𝑡1 Rđ
R đ : làm bằng đồng 𝐴 R1

𝐵 𝑡0
𝑅đ = 𝑅0 (1 + 𝛼𝑡) 𝐷
𝐵1 𝐶
R3 R2
𝐵 R𝑡
Để dòng điện qua 𝑅đ không đổi ta chọn:
+ -
R2= R3 R1 = R 0
Nguồn
R 2 = R 3 >>>> R 0
~
𝑈𝐶𝐷 = 𝐼. 𝑅đ − 𝐼. 𝑅1

𝑈𝐶𝐷 = 𝐼𝑅0 𝛼𝑡0 (𝑡0 < 50℃)

3.3 Cặp nhiệt điện (tiếp)
❑ Ưu điểm:
- Kích thước nhỏ
- Đáp ứng nhanh
- Khi cần Sđđ nhiệt lớn có thể đấu nối nhiều cặp nhiệt điện
❑ Nhược điểm:
- Sức điện động ở dải nhiệt độ nhỏ là không tuyến tính
- Quan hệ giữa Sđđ theo nhiệt độ phụ thuộc cấu tạo từng loại can
nhiệt và có chuẩn riêng
- Sai số đại lượng cần đo phụ thuộc duy trì nhiệt độ chuẩn lúc đo
 Đặc tính kỹ thuật của các cặp nhiệt ngẫu thông dụng

Cặp nhiệt ngẫu Dải nhiệt độ làm Sức điện động Độ chính xác
việc mV
Cặp nhiệt điện loại K -270÷1250 -5.354÷ 50.633 0℃ ÷ 400℃): ±3%
(Niken-Crom/Niken- (400℃ ÷ 1250℃): ±0.75%
Alumel)
Cặp nhiệt điện loại T -270÷ 870 -6.258 ÷ 19.027 (-100℃ ÷ 40℃): ±2%
(Đồng/Constantan) (40℃ ÷ 100℃): ±0.8%
(100℃ ÷ 350℃): ±0.75%

Cặp nhiệt điện loại E -276÷870 -9.835 ÷ 66.473 (0℃ ÷ 400℃): ±3%
(Niken- (400℃ ÷ 870℃): ±0.75%
Crom/Constantan)
Cặp nhiệt điện loại J -210÷ 800 -8.096 ÷ 45.498 (0℃ ÷ 400℃): ±3%
(Iron/constantan) (400℃ ÷ 800℃): ±0.75%
Cặp nhiệt điện loại R -50 ÷1500 -0.226 ÷ 17.445 (0℃ ÷ 538℃): ±1.4%
(Platium- (538℃ ÷ 1500℃): ±0.25%
13%Rhodium/Platium)
Cặp nhiệt điện loại S -50 ÷1500 -0.236 ÷ 15.576 (0℃ ÷ 600℃): ±2.5%
(Platium- (600℃ ÷ 1500℃): ±0.4%
3.4 Cảm biến nhiệt bán dẫn
3.4.1 Cảm biến nhiệt bán dẫn silic
Cấu tạo:
- Làm từ bán dẫn Silic tinh khiết hoặc đơn tinh thể
Nguyên lý:
- Sự thay đổi điện trở suất theo nhiệt độ của Si phụ thuộc nồng độ pha tạp chất
và nhiệt độ
+ Dưới 120℃ hệ số của điện trở suất dương (điện trở suất tăng khi nhiệt độ tăng)
+ Trên 120 ℃ hệ số của điện trở suất âm( điện trở giảm khi nhiệt độ tăng)
3.4.2 Cảm biến nhiệt IC
❑ IC LM335
- Cấu tạo: Làm từ các loại chất bán dẫn
- Nguyên lý: Sự phân cực của các chất bán dẫn bị
ảnh hưởng bởi nhiệt độ.
- Ưu điểm: Rẻ tiền, dễ chế tạo, độ nhạy cao, chống
nhiễu tốt, mạch xử lý đơn giản.
- Nhược điểm: không chịu nhiệt độ cao, kém bền.
- Dải đo: -50 ~ 150oC
- Ứng dụng: Đo nhiệt độ không khí, dùng trong các
thiết bị đo, bảo vệ các mạch điện tử.
- Các loại cảm biến nhiệt bán dẫn điển hình: kiểu
diod, các kiểu IC LM35, LM335, LM45
3.4.2 Cảm biến nhiệt IC (tiếp)

❑ IC DS18B20
- Nguồn 3-5.5V
- Dải đo nhiệt độ −55 ÷ 125℃
- Sai số: ±0.5% ở dải đo −10 ÷ 85℃
- Hỗ trợ truyền thông
3.4.3 Cảm biến nhiệt bán dẫn diot và tranzito

- Cấu tạo: Bán dẫn diot hoặc tranzito nối theo kiểu diot
- Nguyên lý: Tranzito nối theo kiểu diot – nối B và C,
được phân cực thuận có dòng điện không đổi. Khi có
điện áp UBE là hàm của nhiệt độ
- Độ nhay (mắc theo kiểu điot):

𝑑𝑉
𝑆=
𝑑𝑇

- Để tăng độ tuyến tính và khả năng thay thế: dùng 2 tranzito mắc ngược nhau

𝑑(V1−V2)
𝑆=
𝑑𝑇
3.5 Hỏa kế (cảm biến quang đo nhiệt độ)

- Phân loại:
+ Hỏa kế bức xạ
+ Hỏa kế quang hoc
+ Hỏa kế quang điện
3.5.1 Hỏa kế bức xạ toàn phần

- Nguyên lý: Dựa trên định luật

năng lượng bức xạ toàn phần
của vật đen tuyệt đối

- Cấu tạo:
Hỏa kế bức xạ toàn phần
1 - Nguồn bức xa
a- Có thấu kính hội tụ
2 - Thấu kính hội tụ
b- Có gương phản xạ
3 - Gương phản xạ
4 - Bộ phận thu năng lượng
5 - Dụng cụ đo thứ cấp
Cặp nhiệt

+ Bộ phận thu năng lượng : 1 vi nhiệt

kế điện trở hoặc tổ hợp cặp nhiệt Lớp phủ platin
3.5.1 Hỏa kế bức xạ toàn phần (tiếp)

❑ Nguyên lý hoạt động

Hỏa kế bức xạ có gương phản xạ

❑ Đặc điểm
- Không cần tiếp xúc với nguồn nhiệt khi đo ở nhiệt độ cao, đo nhiệt độ 300-6000 oC
- Không bị ảnh hưởng bởi khoảng cách
- Tốc độ đáp ứng nhanh, không làm sai lệch nhiệt độ đối tượng đo
3.5.2 Hỏa kế quang học
- Sử dụng đo nhiệt độ > 800 ℃
- Cấu tạo:
1 – Vật cần đo nhiệt
2 – Vật kính của dụng cụ đo
3 – Kính lọc ánh sáng
4 – Thành ngăn đầu vào
5 – Dây tóc đèn
6 – Thành ngăn đầu ra
7 – TB lọc ánh sáng đỏ
8 – Thị kính
3.5.2 Hỏa kế quang học (tiếp)

- Nguyên lý hoạt động: Dựa trên so sánh độ

chói quang phổ của vật đo với độ chói chuẩn
bằng mắt thường để xác định sự trùng của độ
chói đo với độ chói chuẩn.

Ánh sáng từ vật bức xạ cần đo nhiệt (1) qua vật kính
(2), kính lọc ánh sáng (3), và thành ngăn (4) – (6),
kính lọc ánh sáng đỏ (7) tới thị kính (8) và mắt. Khóa
K đóng, cung cấp điện cho sợi tóc bóng đèn (5), điều
chỉnh biến trở để độ sáng của dây tóc bóng đèn trùng
với độ sáng của vật cần đo. Kim chỉ của mA với sự
chia độ theo ánh sáng phụ thuộc vào nhiệt độ sẽ cho
biết nhiệt độ tương ứng của vật.
3.5.2 Hỏa kế quang học (tiếp)

- Nhiệt độ đo được: 𝑇đ𝑜

- Bức xạ của vật đen tuyệt đối có T < 3000 ℃, bước sóng 𝜆 = 0.4 – 0.7𝜇𝑚; cường độ bức xạ:
−𝐶2
𝐸0𝜆 = −5
𝐶1 𝜆 𝑒 𝜆𝑇

- Đối với vật: độ đen tuyệt đối 𝜀 <: 1

−𝐶2
𝐸𝜆 = 𝜀𝜆 𝐶1 𝜆−5 𝑒 𝜆𝑇𝑡

- Nhiệt độ của vật: 1 1 𝜆

= + 𝑙𝑛𝜀𝜆
𝑇𝑡 𝑇đ𝑜 𝐶2

𝑇𝑡 = 𝑓(𝑇đ𝑜 , 𝜀𝜆 )
3.5.3 Hỏa kế quang điện

- Dụng cụ đo tự động, dải đo 600 ÷ 2000℃

- Phần thu năng lượng bức xạ: TB quang
điện, điện trở quang, điot quang điện, …
- Dựa trên sự phụ thuộc độ chói quang phổ
của vật vào nhiệt độ của nó.
3.6 Cảm biến độ ẩm
3.6.1 Khái niệm chung
- Độ ẩm: xác định bởi lượng hơi nước bay trong không khí ở một điều kiện nhiệt độ
và áp suất.

- Độ ẩm tuyệt đối 𝑅𝑑 : khối lượng hơi nước có trong một đơn vị thể tích không khí (g/m3)

- Độ ẩm tương đối RH (Relative Humidity):

𝑅𝑑 Trong đó: 𝑅𝑑 : Độ ẩm tuyệt đối

𝑅𝐻% = . 100
𝑅𝑚𝑎𝑥 (𝑇) 𝑅𝑚𝑎𝑥 𝑇 : Độ ẩm cực đại ở nhiệt độ T
𝑝𝑣 𝑝𝑣 : Áp suất riêng của hơi nước
𝑅𝐻% = . 100
𝑝𝑠 (𝑇)
𝑝𝑠 (T): Áp suất hơi nước bão hòa ở nhiệt độ T

- Nhiệt độ tạo sương 𝑇𝑑 (℃): nhiệt độ cần làm lạnh không khí ẩm để đạt trạng thái bão
hòa 𝑝𝑣 = 𝑝𝑆 (𝑇𝑑 )
3.6.2 Phân loại ẩm kế

Theo nguyên lý vật liệu đo Theo nguyên lý vật lý

Ẩm kế biến thiên trở

Ẩm kế ngưng tụ
kháng
Ẩm kế tinh thể thạch Ẩm kế điện ly
anh
Ẩm kế hấp thụ
3.6.3 Ẩm kế biến thiên trở kháng

- Ẩm kế điện trở

- Ẩm kế tụ điện polyme
- Ẩm kế tụ điện Al2O3
3.6.3 Ẩm kế biến thiên trở kháng

❑ Ẩm kế điện trở R𝑚
- Cấu tạo: ~
+ Điện trở kim loại R 𝑚 : đế có diện tích nhỏ, phủ chất hút ẩm R𝑎 𝑅𝐻%
+ Trên đế được phủ hai điện cực kim loại không bị oxy hóa
+ R 𝑎 : Điện trở bù có cùng hệ số nhiệt với R 𝑚 Mạch đo độ ẩm điện trở
3.6.3 Ẩm kế biến thiên trở kháng
❑ Ẩm kế điện trở R𝑚
- Nguyên lý: ~
+ Dòng chạy qua chất hút ẩm R𝑎 𝑅𝐻%
+ Điện trở giữa 2 điện cực R 𝑚 được xác định qua điện áp
+ Khi nhiệt độ thay đổi R 𝑚 tăng (giảm), thì R 𝑎 cũng tăng (giảm) Mạch đo độ ẩm điện trở
𝑢2
tương ứng = 𝑐𝑜𝑛𝑠𝑡
𝑢1
𝑢2
+ Khi độ ẩm thay đổi 𝑡ℎ𝑎𝑦 đổ𝑖
𝑢1
- Đặc điểm:
+ Dải đo RH%: 5%-95%
+ Dải nhiệt độ -10℃ ÷ 60℃
+ Sai số ±2% ÷ 5%
+ Thời gian đáp ứng 10s
+ Giá thành thấp, kích thước nhỏ, ít chịu ảnh hưởng môi trường
3.6.3 Ẩm kế biến thiên trở kháng (tiếp)
❑ Ẩm kế tụ điện polyme

- Cấu tạo:
(1) – Điện cực xốp bên ngoài (Cr)
(2) – Phần tử dẫn dòng (Cr-Ni-Au)
(3) – Màng mỏng polyme
Ẩm kế tụ điện môi polyme
(4) – Điện cực trong (Ta)
(5) – Bản nền
3.6.3 Ẩm kế biến thiên trở kháng (tiếp)
❑ Ẩm kế tụ điện polyme
𝜀𝜀0 𝐴
- Nguyên lý: 𝐶=
𝐿

Trong đó: 𝜀: Hằng số điện môi màng polyme (2-6)

𝜀0 : Hằng số điện môi chân không 8,85.10-12 F/m
𝐴: Diện tích bản cực
𝜀: Chiều dày màng polyme
- Đặc điểm:
+ Dải đo RH%: 0%-100%
+ Dải nhiệt độ -40℃ ÷ 80℃ ÷ 100℃
+ Sai số ±2% ÷ 3%
+ Thời gian đáp ứng vài giây
+ Ít chịu ảnh hưởng nhiệt độ, phần tử nhạy có thể nhúng vào nước
3.6.3 Ẩm kế biến thiên trở kháng (tiếp)

❑ Ẩm kế tụ điện 𝑨𝒍𝟐 𝑶𝟑
- Cấu tạo:
(1) – Điện cực nhôm
(2) – Lớp điện môi Al2 O3
(3) – Dây dẫn
(4) – Điện cực vàng (Au)
Ẩm kế tụ điện Al2 O3
(5) – Hộp bảo vệ
3.6.3 Ẩm kế biến thiên trở kháng (tiếp)

❑ Ẩm kế tụ điện 𝑨𝒍𝟐 𝑶𝟑 R1
C0 R0
- Nguyên lý:
+ Phương pháp anot hóa tấm nhôm, tấm nhôm là R2 C2
điện cực thứ nhất của tụ; điện cực 2 là kim loại
mỏng phủ trên lớp điện môi
Mạch tương đương
+ Nếu chiều dày Al2 O3 < 0,3 𝜇𝑚, tụ điện chỉ phụ
thuộc vào áp suất riêng của hơi nước, không phụ
thuộc vào nhiệt độ
3.6.3 Ẩm kế biến thiên trở kháng (tiếp)
❑ Ẩm kế tụ điện 𝑨𝒍𝟐 𝑶𝟑
- Đặc điểm:
+ Đo nhiệt độ điểm sương -80℃ ÷ 70℃
+ Kích thước nhỏ
+ Thời gian đáp ứng vài giây
+ Làm việc dải áp suất rộng

- Nhược điểm:
+ Định kỳ chuẩn thiết bị
+ Phi tuyến
+ Không làm việc được trong môi trường có hoạt tính cao
3.6.4 Ẩm kế hấp thụ (tiếp)

- Dựa trên sự hấp thụ hơi nước của một số chất Liti Clorua, Anhidrit Photphoric,
… Ở trạng thái khô, điện trở cao, khi hút ẩm điện trở giảm mạnh.
- Áp suất hơi phía trên dung dịch bão hòa chứa muối hòa tan nhỏ hơn áp suất
hơi ở phía trên mặt nước ở cùng điều kiện nhiệt độ.
- Độ dẫn điện muối kết tinh nhỏ hơn dung dịch muối
3.6.4 Ẩm kế hấp thụ (tiếp)

- Cấu tạo:
(1) – Cảm biến nhiệt Pt
(2) – Lớp bọc tẩm dung dịch muối LiCl
(3) – Điện cực
(4) – Ống bọc kim loại cách điện
3.6.4 Ẩm kế hấp thụ (tiếp)
- Nguyên lý:
+ Dòng điện (I) chạy qua hai điện cực được đốt nóng
dung dịch (T℃) và làm bay hơi nước
+ Khi nước bay hơi hết, độ dẫn điện LiCl tinh thể
<<<< độ dẫn của dung dịch dẫn đến I và T giảm.
+ LiCl hấp thụ hơi nước từ không khí dẫn đến: độ ẩm
tăng, độ dẫn tăng, dòng điện tăng và lớp phủ LiCl lại bị
đốt nóng Đường cong áp suất hơi theo

- Đặc điểm: nhiệt độ của một số dung dịch

bão hòa
+ Ưu điểm: độ chính xác cao ±0.2℃, cấu tạo đơn giản,
giá thành thấp
+ Nhược điểm: thời gian đáp ứng lớn (chục phút), dải
đo hẹp -40℃ ÷ 60℃
3.6.5 Ẩm kế ngưng tụ (tiếp)

- Nguyên lý:
+ Khi làm lạnh vật, đo nhiệt độ liên tục đến khi hình thành lớp sương
+ Giữ ổn định quá trình làm lạnh
+ Nhiệt độ đo là điểm sương Td, tiến hành đo áp suất trong không khí ẩm

- Cấu tạo:
(1) – Nguồn sáng
(2) – Đầu thu quang
(3) – Bộ điều chỉnh
(4) – Bộ đốt nóng, làm lạnh
(5) – Gương kim loại
Nguyên lý kết cấu ẩm kế ngưng tụ
(6) – CB nhiệt
3.6.5 Ẩm kế ngưng tụ (tiếp)

- Nguyên lý:
+ Khi làm lạnh vật, đo nhiệt độ liên tục đến khi hình thành lớp sương
+ Giữ ổn định quá trình làm lạnh
+ Nhiệt độ đo là điểm sương Td, tiến hành đo áp suất trong không khí ẩm

- Cấu tạo:
(1) – Nguồn sáng
(2) – Đầu thu quang
(3) – Bộ điều chỉnh
(4) – Bộ đốt nóng, làm lạnh
(5) – Gương kim loại
Nguyên lý kết cấu ẩm kế ngưng tụ
(6) – CB nhiệt
3.6.5 Ẩm kế ngưng tụ

- Nguyên lý hoạt động:

+ Khi không có ngưng tụ hơi nước, gương được
bố trí để (2) không nhận được ánh sáng khi (1)
chiếu tới gương
+ Bộ làm lanh (4) hoạt động, hơi nước ngưng tụ
trên gương làm tán xạ ánh sáng tới đầu thu Nguyên lý kết cấu ẩm kế ngưng tụ
quang (2), qua bộ điều chỉnh (3) gương được
nung nóng
+ Cảm biến nhiệt (6) xác định điểm sương

- Đặc điểm:

+ Ưu điểm: độ chính xác cao ±0.2℃, dải đo rộng -70℃ ÷ 100℃, làm việc trong môi
trường ăn mòn
+ Nhược điểm: cấu tạo phức tạp, giá thành cao, nhu cầu hiệu chỉnh thường xuyên
 Một số loại cảm biến độ ẩm

(Nguồn kythuatdienviet.com)

CB độ ẩm đầu ra số/tương tự CB độ ẩm tương tự