Phương trình trạng thái đặc trưng cho khí lý tưởng: pV=NkT

=> phân bố
(Maxwell) phân tử
va chạm theo vận
tốc:
phụ thuộc vào khối
lượng của phân tử
và nhiệt độ.
 Cơ sở lý thuyết kỹ thuật chân không
Áp suất p gây nên bởi xung lượng của phân tử khi va chạm với thành bình.

1
p = nmv 2
3
Động năng chuyển động tịnh tiến của phân tử

m 2 3
v = KT
2 2
1 1
 3kT  2  T 2
v =  = 15800   (cm / s)
 m  M 
Số phân tử đập lên 1 đơn vị diện tích bề mặt trong một giây:
1
1 n  8 KT  2 −
1
 = nv =   = p (2 mKT )
2
4 4 m 
Khối lượng Mv và thể tích Vv “đập” lên một đơn vị 1

diện tích bề mặt, trong một đơn vị thời gian: 14551  T  2 −

1
= n   = 3,5.10 ptorr ( MT ) 2
22
(1.7)
1
4 M 
M M  2
M V = m = = 5,833.10−2 p   gr /(cm 2 .s ) (1.7a )
AM T 
1
  KT T  2
 = = = 3638   cm3 /(cm 2 .s )
n p M 
Phân tử va chạm với bề mặt tuân theo cơ chế va chạm của vật rắn
đàn hồi sau khi được giữ bởi lực dính kết trong 1 khoảng thời gian

n = nocos

 n - số phân tử bay ra dưới góc 

no – số phân tử bay ra trong một đơn vị thời gian
theo hướng trực giao với bề mặt (hướng X)

Định luật phân bố theo góc

của phân tử khí sau va
chạm với bề mặt.
Khoảng đường tự do trung bình 

Phân tử khí thứ nhất bán kính a1, vận tốc

1
v1 có nồng độ không lớn, chuyển động = (1.8)
trong khí thứ 2 có nồng độ n, bán kính a2, 2
v2
n ( a1 + a2 ) 1+ 2
2
vận tốc v2
v1

đơn vị (cm, oK, cm2, torr)

1, 03.10−9 T T
=  2 = 2,3.10−20 2
2 d p d p

Ở nhiệt độ phòng (T=293 K), đối với khí có đường kính phân tử
d = 3,7.10-8cm (Ar, O2, N2, H2O, H2, không khí…):

5.10−3
o 
p
 Sự phân bố khoảng đường tự do
no hạt chuyển động trong khí với vận tốc v theo hướng x.
khoảng đường tự do trung bình ,
trên khoảng cách dx sẽ xảy ra (dx/ ) n va chạm.
Mỗi va chạm một hạt đi ra khỏi nhóm, số hạt giảm trên khoảng cách dx:
dn = -n(dx/ ) => n = noe(-x/)dx n/nC
1

0.8

Phần hạt có khoảng đường tự do nằm giữa x và x+dx: 0.6

x 0.4
dn 1  −
= e dx
no  0.2


0.5 1 1,5 2 2.5 3

Luật phân bố khoảng đường tự

do của phân tử khí.
Những tương tác trong khí

Các dạng tương tác:

1) tương tác yếu tồn tại trên khoảng cách lớn giữa
các hạt và được gây nên bởi lực yếu với bán
kính tương tác lớn (lực Van der Waals)
2) tương tác mạnh tương ứng với bán kính tương
tác nhỏ (lực hóa trị)
 Lực và năng lượng tương tác giữa các hạt:
F E
tĩnh điện/lượng tử

F
khoảng cách Lực hút
giữa các hạt
Lực đẩy

Năng lượng E phụ thuộc vào khoảng cách r:

E(r) = F(r)dr
Khi cân bằng lực hút F- và lực đẩy F+: F + F+ = 0

Các hạt sẽ nằm trên khoảng cách, ở đó thế năng

E(ro) min.
 Năng lượng liên kết

• Năng lượng cần thiết để thắng lực liên kết giữa các
hạt và tách chúng ra xa

E ( r ) =  F (r )dr
0

Các nguyên tử hợp thành phân tử => kèm theo tỏa nhiệt.
Phá vỡ mối liên kết giữa các hạt => cung cấp một năng lượng tương ứng
Chuyển từ liên kết mạnh sang liên kết yếu => xảy ra tỏa nhiệt
Lực và liên kết Van der waals

• Xuất hiện khi các hạt trung hòa điện tương tác với
nhau.
• Khi các hạt đến gần nhau, bị phân cực, sinh ra lực
hút tương hỗ giữa các đipôn điện.
+ Lực hút Đipôn, nếu hai hạt đều có mômen điện không đổi.
+ Lực cảm ứng, nếu một trong 2 hạt có mômen điện không đổi.
+ Lực tác sắc, nếu cả hai hạt không phân cực
• Lực hút của 3 dạng trên tỉ lệ nghịch với khoảng cách
giữa các hạt:
F_ = - a/r7
Năng lượng tương ứng với lực này không vượt quá 10Kcal/mol.
Lực và liên kết Van der waals

• Khi khoảng cách  kích thước hạt => sinh ra

tương tác trao đổi lượng tử.
• Hai hạt tiến lại gần nhau => lực hút = lực đẩy
• Lực đẩy xuất hiện do tương tác giữa các hạt
nhân (điện dương) /giữa các lớp điện tử
• F+ tỉ lệ nghịch với khoảng cách r theo bậc u > 9:
F+ = +b/ru
• Cân bằng lực hút/ lực đẩy: khoảng cách tâm của
hai hạt ro tương ứng với Emin.
 Chế độ chảy của khí
• Dòng khối lượng và độ dẫn
Dòng khí Q qua bề mặt Q = p(dV/dt)
Dòng khối lượng (số phân tử qua bề mặt tương ứng với Q)
n(dV/dt) = Q(KT) -1 [ torr.l/sec]
Độ dẫn C (của ống chân không nối 2 bộ phận của hệ)
C = (Q/T) [l/sec]
• Định luật nối mạch song song và nối tiếp cho ống
dẫn chân không:
C = C1+C2 song song
(1/C) = (1/C1) + (1/C2) nối tiếp
Sự chảy của khí dọc theo ống dẫn

• Chế độ nhớt
p1>p2
R
n
P1 P2

Dòng chảy khí qua ống dưới tác động của hiệu áp suất (p1-p2):
* Lực chuyển động f1=(p1-p2)r2
* Lực hãm f2=2rl(du/dr)
* Trạng thái cân bằng: f1 = f2 => (p1 - p2) = 2lu + C

Khi r = R => u = 0, xác định C:

( p1 − p2 ) ( R 2 − r 2 )
u= (2.5)
4 l
Sự chảy của khí dọc theo ống dẫn

• Thể tích V1của khí chảy dọc theo ống dẫn trong một đơn
vị thời gian
R
 R4
V1 =  u.2. .r.dr = ( p1 − p2 ) (2.6)
0
8 l

• Dòng khí chảy qua ống dẫn

 R4
Q= p ( p1 − p2 ) (2.7)
8l
• Độ dẫn chân không
 R2
C= p (2.8)
8l
Sự chảy của khí dọc theo ống dẫn

• Chế độ phân tử
không va chạm nhau
Phân tử không trao đổi năng lượng
va vào thành bình, phản xạ theo các hướng

Khí chuyển động theo hướng có nồng độ nhỏ hơn.

Những lực cân bằng

- Lực chuyển động f1 = (p1 - p2) R2
- Lực hãm f2 = Antmu => R 
f2 =   l.m.n.v .u
 2 
Sự chảy của khí dọc theo ống dẫn
• Chế độ phân tử
• Trạng thái cân bằng: f1 = f2

( p1 − p2 )  R 2
= R.m.n.v .u
2
2R
u= ( p1 − p2 )
l.m.n.v
hay
R ( p1 − p2 )  RT
u=
p1 2M

Thể tích khí V1 chảy dọc theo ống dẫn/đơn vị thời gian:

 R3 ( p1 − p2 )  RT
V1 =  R 2u = (2.11)
pl 2M
Sự chảy của khí dọc theo ống dẫn
• Chế độ phân tử

Thực tế, thay  bằng 8/3 do phân tử va chạm với thành

bình không chỉ theo hướng vuông góc
8R3 ( p1 − p2 )  RT
V1 = (2.12)
3 pl 2M

8R3 ( p1 − p2 )  RT
Q= (2.13)
3l 2M

8R3  RT
C= (2.14)
3l 2M
Với N2 ở 293oK, D = 2R:

D3
C = 12,3 l/s (2.15)
l
Sự chảy của khí dọc theo ống dẫn

• Chế độ nhớt - phân tử

Ở áp suất trung bình (≤R), nội ma sát + truyền phân tử
ảnh hưởng đến khí chảy => không có nghiệm chính xác
=> dùng thực nghiệm (Knudsen)
Cmt = Cmb + Ct
1 + 2,5( D / 2 )
b= (2.17)
1 + 3,1( D / 2 )

 Cmt = Cm(b+ Ct/Cm) => Cmt = Cm(b+0,147)

không khí, To phòng
 Bơm chân không
Theo quan điểm thực tiễn
• Bơm hút khí từ thể tích cần hút, từ áp suất khí quyển
(bơm sơ cấp)
• Bơm làm việc với điều kiện khi thể tích cần hút đạt chân
không ban đầu (áp suất khởi động)
Theo quan điểm khoa học
• Bơm làm việc theo định luật Boi-Mariot.
• Bơm làm việc theo định luật nội ma sát trong không khí.
• Bơm phân tử : cơ và khuếch tán.
• Bơm ion hóa chất khí.
• Bơm bề mặt.
 Bơm chân không

vận tốc bơm

áp suất tới hạn
Thông số cơ bản áp suất khởi động
áp suất làm việc nhỏ nhất
áp suất làm việc lớn nhất

• Vận tốc bơm Si Si = (dV/dt)

• Năng suất bơm Q = p2SH = p1Seff =piSi

HỆ CHÂN KHÔNG
Sơ đồ hệ chân không
• Buồng chân không
• Bơm chân không
• Ống nối.
Bơm Piston
Bơm thực hiện do biến đổi chu kỳ thể Bơm vòng chất lỏng
tích hình trụ. Bơm có stato hình trụ và roto đặt lệch tâm
 Bơm quay 2 rotor (roots)
Không cần bôi trơn vì rotor và stator
không tiếp xúc nhau do có khe hở đặc
biệt nhỏ 10-1 10-2

• Rotor định tâm tốt, tần số quay: 2.10-3  4.10-3

rpm.
• Vận tốc hút khí:
Dòng khí: I+= Sp
S phụ thuộc vào thể tích làm việc Vp giữa rotor và
stator và tần số quay của rotor:
S = Vpn

Dòng khí theo hướng ngược lại: tạo bởi sự không kín khí: I_ = CH(Po-P)
CH – độ dẫn trung bình của sự không kín (của khe), P- áp suất vào, Po - áp suất ra.
Vận tốc hiệu dụng Ieff = I+-I-= Sp-CH(Po – P)