МЕРНИ ПРЕТВАРАЧИ

1. СЕНЗОРИ

Мерни претварачи су уређаји који врше претварање сигнала једне физичке величине,
електричне или неелектричне, у одговарајући електрични сигнал. Састоје се од сензора и
склопова за обраду сигнала.
Сензори (давачи, мерне ћелије, пикапи...) су осетљиви елементи који скупљају информације
везане за различите процесе и врше претварање мерене величине у електрични облик.
Отварањем Интернет тржишта, сензори добијају нови значај јер, као очи и уши сваког
контролера (или рачунарског система), омогућавају да се измерени податак готово тренутно
пренесе на било које место у свету. Што је најлепше, ова технологија је доскора постојала
само у врхунским лабораторијама, а сада је доступна и сваком хобисти.
Сензори се користе пре, у току и после одређеног процеса. Избор сензора, па и комплетног
претварача зависи од величине која се мери, потребне прецизности, цене... Тачност мерења
највише зависи од избора сензора и интерно генерисаног шума од самих сензора.
Технолошки напредак омогућио је израду сензора са детаљима микрометарских димензија.
Они користе МЕМС технологију и називају се микросензори.

1.1. Класификација сензора

Сензори неку физичку величину претварају у електричну, коју интерним електронским

склопом најпре обрађују као аналогну, потом је конвертују у дигиталну, евентуално
пропуштају кроз дигитални филтер и линеаризатор, а онда чине доступном преко порта за
комуникацију са микроконтролером.
Једна од много подела се може извршити:
- према природи мерене величине, односно облику енергије носећег сигнала
(механичка, термичка, електрична, хемијска, разне врсте зрачења...),
- према принципу рада сензора (импедансни, генераторски, фреквенцијски, на бази
Холовог, пиезоелектричног или неког другог ефекта),
- према облику сигнала који сигнала на излазу сензора (аналогни или дигитални),
- на основу тога да ли за рад користи или не користи спољњи извор напајања
(активни или пасивни),
- према технологији производње сензора,
- према области примене, односно врсти информације која се жели обезбедити
(метеорологија, медицина, сеизмологија...),
- према врсти мерења (температура, померај, сила, притисак, проток...),
- према природи излазне величине (механички, временски, електрични),
- на основу унутрашње структуре (директни или компензациони),
- на основу начина употребе (оператни и помоћни),
 - на основу габарита (нормални, малогабаритни и минијатурни),
- према условима рада (стационарни и преносиви).

1.1.1. Класификација према облику енергије носећег сигнала

Сензори се најчешће калисификују према овој карактеристици. Према Шеноновој хипотези
носилац информације мора бити маса или енергија. Већи значај придаје се енергији као
носиоцу информације, односно не може се пренети нека информација ако нема протока
енергије између објекта мерења и сензора. У складу са природом мерене величине видови
енергије коју она може пренети на сензор могу се груписати у шест области: механичка,
термичка, електрична, магнетска, хемијска и енергија зрачења.
У Табели 1.1. дат је приказ врста енергије и одговарајућих физичких величина које се овом
врстом енергије прате и преносе.

Табела 1. Врста енергије и одговарајуће физичке величине које се овом врстом енергије прате и
преносе.

Енергија Мерена величина

Механичка енергија Померај, брзина, убрзање, сила, момент

силе, притисак, маса, проток, таласна
дужина акустичког сигнала и др.

Термичка енергија Температура, топлота, топлотни проток,

ентропија, топлотни капацитет и др.

Електрична енергија Наелектрисање, отпорност, проводност,

капацитивност, индуктивност, струја, напон
и др.

Магнетска енергија Интензитет магнетског поља, магнетски

флукс, магнетски момент, магнетска
пермеабилност и др.

Хемијска енергија Влажност, pH фактор, концентрација,

токсичност, запаљивост и др.

Енергија зрачења (електромагнетска Интензитет зрачења, поларизација, фаза,

зрачења од радио таласа до светлосног фреквенција и др.
и гама зрачења

Због једноставности манипулисања посебан значај придаје се електричној енергији, која се

користи и у процесу повезивања сензора са колима за обраду сигнала.
1.1.2. Класификација према принципу рада сензора
По овом критеријуму сензори се групишу у импедансне, генераторске и фреквенцијске.
Импедансни сензори имају као излазну величину промену импедансе под утицајем
промене мерене величине. У ову групу спадају: мерне траке, фотоотпорници,
потенциометри, отпорни термометри, и све врсте капацитивних и индуктивних сензора.
Импедансни сензори се укључују у коло које се напаја из једносмерног или наизменичног
напонског или струјног извора. Промена импедансе сензора доводи до промене излазног
сигнала сразмерно мереној величини. Напон напајања је ограничен дозвољеном
дисипацијом сензора, и због загревања самог сензора и због загревања околине. Изузетак су
отпорни сензори протока и вакуума који раде у самозагрејаном стању.
Генераторски сензори као излазни сигнал имају електромоторну силу, количину
наелектрисања или струју, који се непосредно генеришу под дејством мерене неелектричне
величине. У ову групу сензора спадају: термопарови, фотонапонски елементи,
пиезоелектрични и пироелектрични сензори, индукциони (електромагнетни), индукциони
(генераторски) и др. Већина сигнала генераторских сензора има малу енергију и неопходно
је вршити појачање и линеаризацију сигнала, као и компензовање ометајућих величина као
што су шумови, промене температуре околине и др.
Фреквенцијски сензори дају периодичан излазни сигнал чија се фреквенција мења у
функцији мерене величине. Овој групи сензора припадају: турбински сензори, чија је угаона
брзина сразмерна протоку флуида, као и кварцни термометри где се фреквенција осцилатора
мења сразмерно температури сензора и др.
Разврставање сензора може се вршити и на основу физичких или хемијских принципа на
којима се заснива њихов рад. Тако неки сензори користе Холов ефекат (нпр. сензори угаоне
брзине), неки фотоелектрични ефекат (нпр. фотодекодер), а други користе
пиезоелектрични, хемодиелектрични, термоелектрични или неки други ефекат.

1.1.3. Класификација према облику сигнала на излазу сензора

Аналогни сензори на излазу дају континуални (непрекидни) сигнал, који је
пропорционалан величини која се мери. Информација о мереној величини садржана је у
амплитуди излазног сигнала. Излаз ових сензора обично се преко AD претварача повезује на
рачунар или микроконтролер.
Дигитални сензори на излазу дају низ дискретних вредности. Свака вредност је независна
од претходне и следеће вредности. На излазу може да се појави и једна (из скупа) од
унапред дефинисаних дигиталних вредности.
Дигитални сензори су познати по својој тачности и једноставном повезивању на рачунар или
микроконтролер, без потребе за додатним претварачима.

1.1.4. Класификација на основу потребе за додатним извором напајања

По овом основу сензори се деле на пасивне, који имају физички улаз, електрични излаз и
побудни улаз, и активне, који имају само улаз и излаз, и не захтевају додатно напајање.
Код активних сензора сва електрична енергија на излазу изведена је са физичког улаза, па је
овај сигнал ниског нивоа и неопходно га је појачати.
У пасивне сензоре, између осталих, спадају: отпорнички, индуктивни и капацитивни
сензори, а у активне: термопарови, индукциони, пиезоелектрични и др.

1.1.5. Класификација према технологији производње

Могу се набројати различите технологије ако што су: класична полупроводничка
технологија, технологија дебеле наслаге (штампане мреже), технологија танке наслаге (1 nm
- 1µm), микро-електромеханички системи, технологије са новим материјалима (SiC,
дијамант, аморфни), интелигентни материјали, меморијске легуре, интегрисани сензори и
нанотехнологија.

1.2. Примена сензора

Мерење исте величине може се вршити применом сензора који раде на различитим
принципима. Разврставање сензора по основу примене зато има посебан практични значај.
Из скупа сензора за одређену примену бира се одговарајући према специфичним захтевима.

1.2.1. Сензори температуре

Најстарија и најраспрострањенија мерења.
Овој групи припадају:
- отпорнички термометри (RTD),
- термистори,
- термопарови,
- пирометри и др.

1.2.1.1. Отпорнички сензори (RTD - Resistance Thermometer Devices)

Раде на принципу зависности електричне отпорности од температуре.
Праве се од платине (за захтевније примене), никла или бакра, најчешће у облику жице.
Имају велику тачност, добру линеарност у широком опсегу (-2000С до +8000С), мале
димензије, спор одзив и приступачну цену.
Платински термометри се користе у метрологији као термометри највеће тачности. Платину
одликује постојаност карактеристика, висока тачка топљења (1769 0С) и релативно велика
специфична отпорност. Квалитет зависи од чистоће платине.

1.2.1.2. Термистори (Thermally Sensitive Resistor)

То су полупроводнички сензори. Користе се материјали на бази смесе сулфида, селенида
или оксида метала (магнезијума, никла, кобалта, бакра, гвожђа, урана...).
Полупроводнички термометри се карактеришу великом осетљивошћу (већом од
отпорничких), али и уским температурским опсегом и нелинеарном карактеристиком.
Напретком технологије постижу се уже толеранције, а грешке мерења се своде на 0.2 ОС до
0.10С.
Отпорност термистора на собној температури може бити веома различита, од неколико
десетина до неколико мегаома.
Назначена (номинална) отпорност термистора одређује се саставом материјала и
примењеним поступком синтеровања, али се може и накнадно подешавати. Висока
назначена отпорност термистора значи и већу осетљивост мерења температуре.
Највећу примену имају термистори са негативним температурским коефицијентом
(NTC), код којих вредност електричне отпорности пада са порастом температуре око (1-6)%
по 10К.
У мањој мери користе се и други, обично силицијумски отпорни сензори и термистори са
позитивним термпературским коефицијентом (РTC).
РTC термистори се производе од баријум-титаната. Најчешће се користе као сензори који
при некој температури дају одговарајући дигитални сигнал. У самозагревајућем режиму,
слично NTC термисторима, могу имати примене за одређивање нивоа течности, мерење
притиска и сл.
Ретко се користе за мерење температуре. Имају узак мерни опсег, али и осетљивост 10-так
пута већу од NTC термистора.

1.2.1.3. Термопарови
Најчешће коришћени сензори температуре у свакодневној техничкој пракси за температуре
опсега од 300ОС до 1500ОС.
Предности су им:
- једноставна конструкција и уградња,
- релативно ниска цена,
- добре особине за динамичко мерење температуре.
Мане су им:
- релативно мала осетљивост реда 5 до 50 µV/0C,
- низак ниво излазног сигнала,
- ограничени век при високим температурама,
што им смањује примену у прецизним мерењима температуре.
Постоји више типова термопарова именованих великим словима E, J, K, N, R, S и T, којима
се дефинише њихов састав и својства по АNSI стандарду. Принцип рада заснива се на тзв.
Зебековом ефекту (Thomas Seebeck, проналазач термоелектричног ефекта).
Зебеков напон:
Ако су два различита проводника спојена у једној тачки, са променом температуре на
отвореном крају ће се јавити разлика потенцијала, која зависи од разлике температура на
крајевима. Зависност Зебековог напона од температуре је нелинеарна, али се за мале разлике
у температури може сматрати линеарном. Термоелектромоторна сила зависи само од
разлике температура спојеног и отвореног краја. Ако је разлика температура 00С и напон на
излазу је 0V. За тачнија мерења потребно је компензовати промене температуре околине.

1.2.1.4. Пирометри
Мере врло високе температуре на основу карактеристика топлотног зрачења загрејаних тела.
Постоје пирометри:
- са укупним и делимичним зрачењем,
- за мерење расподеле зрачене енергије,
- који раде на бази фототермометрије.
Специфичност и предност им је што њихова примена захтева директан контакт са објектом
чија се температура мери.
Пирометри са делимичним зрачењем су оптички пирометри са видљивим зрачењем.
Раде на принципу упоређивања спектралне густине зрачења тела чија се температура мери и
спектралне густине баждареног (референтног) извора зрачења.
Извор референтног зрачења је сијалица са ужареном волфрамовом жицом.
Пирометри овог типа се могу користити за мерење температура у опсегу од 600 ОС до
3000ОС са грешком мерења од (1–3)%.
Пирометри са укупним зрачењем мере енергију за цео спектар зрачења.
Помоћу оптичког система цео спектар зрачења који пада на објектив пирометра се
концентрише на малој површини што већег коефицијента апсорпције. На тај начин се
укупно зрачење претвара у топлоту, и даље у електричну енергију.
Као пријемници зрачења и претварачи топлотног флукса у електричну енергију најчешће се
користе вишеструки термоелементи са површином која је прекривена колоидном платином.
Опсег мерења ових пирометара је од 0ОС до 4000ОС и грешком реда 0.5 до 1%.

1.2.2. Сензори помераја, силе и притиска

Мерење притиска врши се најчешће индиректно, мерењем силе, а мерење силе и масе
најчешће се своди на мерење веома малих помераја.
У Табели 1.2 дат је преглед сензора за мерење помераја, силе и притиска, као и како се
различите врсте ових сензора користе за ове намене.

1.2.2.1. Потенциометарски сензори

Служе за мерење линеарних или угаоних помераја. Припадају групи електромеханичких
сензора.
Користе се жичани потенциометри, који се састоје од танке жице хомогено намотане око
правог или кружног изолатора константног попречног пресека. Резолуција мерења зависи од
дебљине жице и густине намотаја.
Температурске промене отпорности незнатно утичу на излазни сигнал, јер он представља
функцију количника отпорности.
Потенциометарски сензори се најчешће користе за мерење великих притисака. Тачност је у
границама ±(0.5-1)% пуног опсега. Обрада сигнала је једноставна.

Табела 1.2. Преглед сензора за мерење помераја, силе и притиска.

Врста сензора Примена

Потенциометри Притисак, померај

Мерне траке Притисак, сила , померај, момент

Променљиви капацитивни Притисак, померај

Диференцијални трансформатор Притисак, сила, померај, положај

Индуктивно-магнетни Притисак, померај

Пиезоелектрични Притисак, сила, вибрације

Пиезоотпорни Притисак

Магнетнострикциони Притисак, сила

1.2.2.2. Мерне траке

Веoма коришћени елементи за мерење силе. Користе се металне или полупроводничке
мерне траке. Производе се од фолије, танког филма или полупроводника.
Раде на принципу тензоотпорног ефекта, тј. промени отпорности жице при њеном истезању.
Осим за мерење силе користе се за мерење притиска, убрзања, вибрација, протока флуида и
сл, где мерена величина може изазвати деформације траке. Примењује се и за мерење
великих сила (нпр. тежине терета камиона, вагона, силоса, резервоара...).
Величина траке варира према потреби, обично је дужине 0.5 до 50 mm и ширине 1-15 mm.
Промена температуре има утицај на отпорност траке и тачност мерења, па се врши
температурна компензација. Обично се трака повезије у уравнотежен пун мерни мост. У
случају да се за мерење користи само једна мерна трака компензација се може постићи
додавањем компензационе (пасивне) мерне траке у суседну грану мерног моста.
Металне мерне траке имају назначену вредност отпорности реда 120 до 350 ома, док је
назначена отпорност полупроводничких трака реда килоома.
Имају нелинеарну карактеристику и малу осетљивост. Код полупроводничких мерних трака
осетљивост је 30 до 50 пута већа него код металних.

1.2.2.3. Капацитивни сензори

То су, практично, кондензатори са променљивом капацитивношћу. Од начина израде зависи
да ли се капацитивност мења:
- променом активне површине између електрода,
- променом зазора између електрода, или
- променом диелектрика.
Сви наведени начини израде дају добре мерне резултате, а избор зависи од од конкретних
захтева. Тако нпр. сензори са променљивим размаком између плоча имају нелинеарну
статичку карактеристику, али и велику осетљивост, па се примењују за праћење физичких
величина које се одликују малим помацима реда mm, µm па и мање.
Једноставне су израде, малих димензија и ниских цена. Користе се у мостним шемама или
као елементи осцилаторних кола. Типична тачност је ± 2.5%.

1.2.2.4. Индуктивно-магнетски сензори

Из ове групе значајну примену имају линеарни варијабилни диференцијални
трансформатори (LVDT, Linear Variable Differential Transformer), који се користе за
детекцију малих помераја реда nm, а максимални опсег им је ± 250 mm.
LVDT сензори (трансформатори) имају примарни и два секундарна намотаја, а објекат чије
померање треба детектовати се повезује са помичним магнетним језгром. Померањем језгра
мења се амплитуда излазног напона на секундару.
За побуду се користи простопериодични сигнал амплитуде 2-15V, учестаности од 50Hz до
20 000Hz. Ниске учестаности, нпр мрежне, нису увек погодне јер је тада импеданса мала, па
мора бити низак и напон напајања, па је и осетљивост сензора мала. Повећан је утицај омске
отпорности, која у трансформаторима са језгром може бити променљива.
Постиже се висока линеарност и осетљивост, али и високе цене.

1.2.2.5. Пиезоелектрични сензори

Имају примену у мерењу притиска користећи пиезоелектрични ефекат, који се јавља код
неких врста чврстих тела (кварц, Рошеова со, турмалин).
Кад се овај сензор подвргне механичкој деформацији на његовој површини се генерисе
одређена количина наелектрисања, која зависи од силе којом се врши деформација. Тако
долази до конверзије механичке енергије у електричну, а важи и обрнуто.
Кварцни сензори имају малу сопствену капацитивност, а тиме и осетљивост излазног
напона на капацитивности спољашњих веза. Због велике механичке отпорности и високе
резонантне учестаности могу се користити за мерење краткотрајних промена притиска, нпр.
при експлозијама и сл. Не могу се користити за мерење смичућих деформација и
хидростатичког притиска (запреминске дефорнације).
Пиезоелектрични сензори су компактне јединице које одликује велика осетљивост и мале
димензије. Имају сопствену учестаност реда величине десетине kHz. Унутрашња импеданса
је врло висока, па се при мерењу морају користити инструменти велике улазне отпорности.
У комбинацији са еластичним или сеизмичким елементима се успешно користе за мерење
убрзања или померања при вибрацијама, као и за динамичка мерења притиска.
Постоји и инверзни пиезоелектрични ефекат, који се манифестује кроз механичке
деформације сензора, ако се овај изложи утицају електричног поља, односно наелектрише
неком количином наелектрисања.
Директни и инверзни пиезоелектрични ефекат су у потпуној реципрочности.

1.2.2.6. Пиезоотпорни сензори

Пиезоотпорни (пиезорезистивни) сензори притиска се често користе код прецизних
индустријских мерења због високе класе тачности, брзе динамике и одличне стабилности.
Када се пиезоотпорни материјали причврсте за мембрану, која се под деловањем силе
(притиска) деформише, мења се и њихова електрична отпорност (пиезорезистивни ефекат).
Као сензорски материјал најчешће се користи силикон пошто има велики деформациони
фактор од 10 (поликристал) до 150 (монокристал), у односу на платину (6), констатан (2.5),
никл-хром (2) или живу (2).
Ови сензори су веома малих димензија и могу се прилагодити различитим условима
монтаже. Имају ниску цену и високу тачност (грешка мања од 0.1%). Нелинеарност и
температурска стабилност су у границама ±1%.
Примењени су за мерење малих, средњих и великих притисака.