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第 ４４ 卷 第 １０ 期 工 矿 自 动 化 Ｖｏ
ｌ．４４Ｎｏ．１０
２０１８ 年 １０ 月 ｎｄｕｓ
Ｉ ｔｒｙａｎｄ Ｍｉ
ｎｅＡｕ
ｔｏｍａ
ｔｉｏｎ Ｏｃｔ．２０１８
殧

檾檾檾檾檾殧
实验研究
檾檾檾檾檾殧 殧

文章编号：
１６７１－２５１Ｘ（
２０１８）
１０－００１９－０５ ＤＯＩ： １３２７２／
１０． ｊ．ｉ
ｓ １６７１－２５１ｘ．
ｓｎ． ２０１８０３００２４

矿用 ＭＥＭＳ 甲烷传感器硅微加热器功率优化设计
王丽影１，２ ， 秦顺利１，２ ， 马洪宇１，２

１．矿山互联网应用技术国家地方联合工程实验室，江苏 徐州 ２２１００８；
（
２．中国矿业大学 物联网（感知矿山）研究中心，江苏 徐州 ２２１００８）

摘要：在 ＡＮＳＹＳ 有限元分析软件中对矿用微机电系 统 （ＭＥＭＳ）甲 烷 传 感 器 硅 微 加 热 器 功 率 进 行 了 优

化设计。首先建立了基于已知掺杂浓度求解一定温度范围内硅电阻率的计算模型 ；然后根据计算结果，利用
ＡＮＳＹＳ 软件对 Ｕ 型双悬臂梁式硅微加热器进行了以掺杂浓度、两悬臂间距、悬臂梁宽度为影响因素的正 交
试验，研究了不同因素对硅微加热器功率的影响。试验结果表明：悬臂梁宽度和掺杂浓度为硅微加热器功率
的主要影响因素，两悬臂间距影响较小；硅微加热器功率随悬臂梁宽度的减小而 减 小，随 掺 杂 浓 度 的 升 高 先
增大后减小；温度为 ６００ ℃ 时，选取悬臂梁宽度为 ２５μｍ、掺杂浓度为 １０１９ ｃｍ－３ 、两悬臂间 距 为 １０μｍ 可 使
硅微加热器功率最优。
关键词：煤矿安全；ＭＥＭＳ 甲烷传感器；硅微加热器；功率优化；掺杂浓度；有限元分析；正交试验
中图分类号：
ＴＤ７１２ 文献标志码： Ａ
网络出版地址：ｔ
ｈｔｐ：
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ｔａｉ
ｌ／３２．
１６２７．
ＴＰ．
２０１８０９１４．
０９５４．
００４．
ｈｔｍｌ

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ｔｉｍａ
ｌｖａ
ｌｕｅ

２０１８－０３－０７；修回日期：
收稿日期： ２０１８－０９－０３；责任编辑：李明。
基金项目：国家重点研发计划资助项目（
２０１７ＹＦＣ０８０４４０３）；江苏省自然科学基金资助项目（
ＢＫ２０１６１１８６）。
作者简介：王丽影（
１９８５－ ），女，吉林四平人，硕士研究生，主要研究方向为 ＭＥＭＳ 微加热器，
Ｅ－ｍａ
ｉｌ：
ｗａｎｇ
ｌｉｉ
ｙｎｇ＠ｃｕｍｔ． ｃｎ。
ｅｄｕ．
引用格式：王丽影，秦顺利，马洪宇 ．矿用 ＭＥＭＳ 甲烷传感器硅微加热器功率优化设计［
Ｊ］．工矿自动化，
２０１８，
４４（
１０）：
１９－２３．
ＷＡＮＧ Ｌ
ｉｙｎｇ，ＱＩＮＳｈｕｎ
ｉ ｌｉ，ＭＡ Ｈｏｎｇｙｕ．
Ｐｏｗｅ
ｒｏｐ
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ｅｎｓ
ｏｒ［
Ｊ］．
Ｉ
ｎｄｕｓ
ｔｒｙａｎｄ Ｍｉ
ｎｅＡｕ
ｔｏｍａ
ｔｉｏｎ，
２０１８，
４４（
１０）：
１９－２３．
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· ２０ · 工矿自动化 ２０１８ 年第 ４４ 卷

ｗｈｅｎｃａｎｔ
ｉｌｅｖｅｒｗｉｄｔ ｓ２５μｍ，ｄｏｐ
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ｏｎｉｓ１０１９ｃｍ－３ ａｎｄｄｉ
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ｉｌｅｖｅ
ｒｓｉｓ
１０μｍ ａｔ６００ ℃．
Ｋｅｙｗｏ ｒｄｓ：ｃｏａ
ｌｍｉｎｅｓ
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ｔｙ；ＭＥＭＳ ｍｅｔｈａｎｅｓ ｒ；ｓ
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ｉｓ；ｏ
ｒｔｈｏｇｏｎａ
ｌｔｅ
ｓｔ

１３００μｍ，厚度为 １０μｍ。当金属电极接通电源 时，
０ 引言
电流流过硅微加热器，使其升温。
甲烷传感器是煤矿防治瓦斯灾害必不可少的设
２ 硅微加热器的电阻率计算
备。现有基于能谱、质 谱 或 色 谱 的 瓦 斯 检 测 设 备 大
多只能在线下使用，且体积庞大，难以实现井下在线 为研 究 掺 杂 浓 度 对 硅 微 加 热 器 功 率 的 影 响，需
检测和随身携带。 ＭＥＭＳ（Ｍｉ
ｃｒｏｅ
ｌｅｃ
ｔｒｏ Ｍｅ
ｃｈａｎ
ｉｃａ
ｌ 要计算不 同 掺 杂 浓 度 下 硅 的 电 阻 率。 Ｎ 型 硅 电 阻
Ｓｙｓ
ｔｅｍｓ，微机 电 系 统 ）气 体 传 感 器 是 基 于 微 机 械、 率ρＮ 与 Ｐ 型硅电阻率ρＰ 分别为 ［１２］
微电子及薄 膜 技 术 的 气 敏 元 件，具 有 体 积 小、功 耗 １
ρＮ ＝ ｎｑ Ｎ （
１）
低、成本 低、灵 敏 度 高、响 应 速 度 快、寿 命 长、易 集 成 μ
等优点 ［１－２］。研制矿用 ＭＥＭＳ 甲烷传感器具有现实 １ （
ρｐ ＝ ｐｑ Ｐ ２）
意义。 μ
式中：ｎ 为电子浓度； ｑ 为单电子 电 量，本 文 取 １．
６×
矿用 ＭＥＭＳ 甲 烷 传 感 器 中，硅 微 加 热 器 的 体
积、功耗与温度性能制约着传感器向小体积、低功耗 μＮ 为电子迁移率；
１０－１９ Ｃ； ｐ 为空穴浓度；
μＰ 为空穴
迁移率。
方向发展 ［３－５］。因此，有必要对硅微加热器进行功率
３００ Ｋ）以 上 时 即 进
半导体内的载流 子 在 室 温（
优化。为了避免 实 物 加 工 造 成 的 高 成 本 ［６］，本 文 采
入饱和区。单一类型硅处于饱和区和本征激发态之
用 ＡＮＳＹＳ 有 限 元 分 析 软 件 ［７－９］，建 立 了 矿 用
间时，电子浓度 ｎ 和空穴浓度ｐ 分别为 ［１２］
ＭＥＭＳ 甲烷传感器悬臂梁式硅微加热器 仿 真 模 型， ／
ＮＮ ＋ （
Ｎ２Ｎ ＋４ｎｉ２）
１２
（
研究了掺杂浓度对 硅 微 加 热 器 功 率 的 影 响，并 以 掺 ｎ＝ ３）
２
杂浓度、两悬臂间距、悬臂梁宽度为影响因素进行正 １／２
ＮＰ ＋ Ｎ２Ｐ ＋４ｎｉ２）
（
（
交设计，研究了不同因素对硅微加热器功率的影响， ｐ＝ ４）
２
根据正交 试 验 结 果 对 硅 微 加 热 器 功 率 进 行 了 优 化 式中：
ＮＮ 为 Ｎ 型 硅 掺 杂 浓 度；
ｎｉ 为 本 征 载 流 子 浓
设计。 ＮＰ 为 Ｐ 型硅掺杂浓度。
度 ［１３］；
Ｔ ２
１ 硅微加热器结构 １５×１０１９
ｎｉ ＝９．
（ ）
３００
ｅｘｐ（
－０． ｋＴ ））
５９２８／（

悬臂梁式硅微加热器利用 ４ 根悬臂梁支撑工作 （
５）
区 ［
，由于将硅微加热器与衬底悬吊隔离，降低了因
９］ 式中： Ｔ 为 温 度；
ｋ 为 玻 尔 兹 曼 常 数，
ｋ＝８．
６１７×
热传导损失的热量，极大降低了传感器功耗，提高了 １０ ｅＶ／Ｋ。
－５

响应速度 ［１０－１１］。本 文 中 矿 用 ＭＥＭＳ 甲 烷 传 感 器 采 将 ｋ 值代入式（

５），得
用双悬臂梁支 撑 工 作 区 的 Ｕ 型 结 构，如 图 １ 所 示。 Ｔ ２ ６８８０
与四悬臂结构相比，该 结 构 进 一 步 减 少 了 衬 底 与 工
１５×１０１９
ｎｉ ＝９．
３００ （ ） （
ｅｘｐ －
Ｔ ）
（６）

作区之间的热传 导。 悬 臂 梁 材 料 为 掺 杂 单 晶 硅，悬 Ｔ＝３００Ｋ 时，由式（ ６）得 ｎｉ＝１×１０１０ ｃｍ－３ ，与

臂梁底端固定在衬底上。整个硅微加热器总长度为 实际 测 量 数 据 ［１４］ 非 常 接 近。 将 式 （
６）与 式 （ ３）、
式（
４）联立，即可求解单一类型硅中电子浓度或空穴
浓度。
电子迁 移 率 μＮ 和 空 穴 迁 移 率 μＰ 可 由 Ｄ．
Ｊ．
ｏｎ 提出的公式计算 １５ ：
［ ］
Ｒｏｕ
ｌｓｔ
５７
－０．
μＮ ＝８８Ｔｎ ＋
７．４×１０８Ｔ－２．３３ （
７）
图 １ 双悬臂梁式硅微加热器结构 １＋ ［
ＮＮ／（
１． ｎ ）
２６×１０１７Ｔ２．
４
］ ８８Ｔｎ－０．１４６
０．
５７
－０．
ｉ
Ｆｇ．
１ Ｓ
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μＰ ＝５４． ＋
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２０１８ 年第 １０ 期 王丽影等：矿用 ＭＥＭＳ 甲烷传感器硅微加热器功率优化设计 · ２１ ·

１．３６×１０８Ｔ－２．３３ （ 项同 性 热 导 率 与 各 项 同 性 电 阻 率，电 阻 率 采 用 第 ２
８）
１＋ ［
ＮＰ／（２． ｎ ）
３５×１０１７Ｔ２．
４
］ ８８Ｔｎ－０．１４６
０． 节所述方法求解。
式中 Ｔｎ＝Ｔ／３００。 ｒｋｂｅｎｃｈ 中 建 立 热 电 耦 合 项 目，
在 ＡＮＳＹＳ Ｗｏ
采用 式 （
７）、式 （
８）计 算 所 得 数 值 与 Ｇ．Ｌ． 对硅微加热 器 进 行 参 数 化 建 模 分 析，如 图 ３ 所 示。
ｓｏｎ 等 １６ 及 Ｆ．Ｊ．Ｍｏ ｎ 等 １７ 的 实 验 结 果 很
［ ］ ［ ］
Ｐｅ
ａｒ ｒｉ 设置 Ｕ 型 双 悬 臂 梁 式 硅 微 加 热 器 总 长 度 为
接近。 １３００μｍ，厚度为 １０μｍ，两悬臂间距与悬臂梁宽度
根据式 （ ８）计 算 出 ｎ，
３）—式 （ ｐ， μＰ 并 代 入
μＮ ， 为变量。
１）、式（
式（ ２），即可求 出 不 同 温 度 下 Ｎ 型 硅、
Ｐ 型硅
电阻率。
在 Ｍａ
ｔｌａｂ 软件中对上述计算过程编程，求解掺
杂浓度为 ５×１０１７ ，
７×１０１７ ，
１０１８ ，
５×１０１８ ，
７×１０１８ ，
１０１９ ｃｍ－３ 时不同 温 度 下 Ｎ 型 硅、
Ｐ 型 硅 的 电 阻 率，
计算结果如图 ２ 所示。该结果与文献［ １２］中的一般
半导体电阻率变化 趋 势 一 致，且 ３００ Ｋ 时 电 阻 率 与
ＧＢ／Ｔ１３３８９—２０１４《掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与
掺杂剂浓度换算规程》［１８］非常吻合。

图 ３ 硅微加热器仿真模型
Ｆ
ｉｇ．
３ Ｓ
ｉｍｕ
ｌａｔ
ｉｏｎ ｍｏｄｅ
ｌｏｆｓ
ｉｌ
ｉｃｏｎ ｍｉ
ｃｒｏｈｅ
ａｔｅ
ｒ
因硅的导热性 能 优 良，在 硅 微 加 热 器 的 热 损 耗
中，很大一部 分 是 通 过 衬 底 热 传 导 流 失 的 ［１９］，硅 微
加热器与衬底的 接 触 面 积 越 小，其 热 损 耗 越 小。 构
建仿真模型时，在硅 微 加 热 器 模 型 外 部 建 立 一 个 完
全将加热器包裹的 立 方 体 空 气 模 型，来 模 拟 硅 微 加
热 器 与 空 气 之 间 的 热 传 导，空 气 热 导 率 设 置 为

ａ）Ｎ 型硅
（ ０２４２ Ｗ ·ｍ－１ ·Ｋ－１ 。
０．
２ 掺杂浓度对硅微加热器功率的影响分析
３．
为研 究 掺 杂 浓 度 对 硅 微 加 热 器 功 率 的 影 响，在
确定悬臂梁宽度和两悬臂间距的条件下改变掺杂浓
度，记录不同掺杂浓 度 下 硅 微 加 热 器 在 不 同 温 度 下
的功率。
创 建 悬 臂 梁 宽 度 为 ５ μｍ、两 悬 臂 间 距 为
１００μｍ的硅微加热器仿真模型，选取 Ｎ 型硅进行仿
真，掺 杂 浓 度 分 别 为 ７ × １０１７ ，１０１８ ，５ × １０１８ ，
１０１９ ｃｍ－３ ，温度由 ２５ ℃ 升至 ８００ ℃ 以 上，试 验 结 果
如图 ４ 所示。可看出温 度 在 ２５０ ℃ 以 下 时，掺 杂 浓
ｂ）Ｐ 型硅
（ 度对硅微加热器功率的影响不明显； ２５０～６００°Ｃ情
图 ２ 硅电阻率计算结果 况下，掺杂浓度为 ７×１０ ｃｍ 时 硅 微 加 热 器 功 率
１７ －３

Ｆ
ｉｇ．
２ Ｃａ
ｌｃｕ
ｌａｔ
ｅｄｒ
ｅｓｕ
ｌｔｓｏ
ｆｓｉ
ｌｉ
ｃｏｎｒ
ｅｓｉ
ｓｔｉ
ｖｉｔ
ｙ 较 小；温 度 高 于 ６００ °Ｃ 情 况 下，掺 杂 浓 度 为
１０１９ ｃｍ－３ 时硅微加热器功率较小。
３ 仿真试验
３ 正交试验及结果分析
３．
１ 试验设置
３． 正交 设 计 是 研 究 多 因 素、多 水 平 对 试 验 性 能 指
采用 ＡＮＳＹＳ 软 件 对 矿 用 ＭＥＭＳ 甲 烷 传 感 器 标影响的设计方 法，具 有 试 验 次 数 少、效 果 好、方 法
硅微加热器进 行 仿 真。在 设 置 材 料 属 性 时，选 择 各 简单、使用方便、效率高等优点 ［２０］。
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· ２２ · 工矿自动化 ２０１８ 年第 ４４ 卷

图 ５ 硅微加热器电阻与电流关系

图 ４ 硅微加热器功率仿真结果 ｉ
Ｆｇ．
５ Ｒｅ
ｌａｔ
ｉｏｎｓｈ
ｉｐｂｅ
ｔｗｅ
ｅｎｒ
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ｓｔａｎｃ
ｅｏｆｓ
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Ｆ
ｉｇ．
４ Ｐｏｗｅ
ｒｓｉｍｕ
ｌａｔ
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ｌｔｓｏ
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ｌｉ
ｃｏｎ ｍｉ
ｃｒｏｈｅ
ａｔｅ
ｒ ｍｉ
ｃｒｏｈｅ
ａｔｅ
ｒａｎｄｃｕ
ｒｒｅｎ
ｔ

对于硅微加热器，掺杂浓度会改变硅的电阻率， 表 ２ 硅微加热器正交试验结果

从而对功率产生影响；在给定电流条件下，悬臂梁宽 Ｔａｂ
ｌｅ２ Ｏｒ
ｔｈｏｇｏｎａ
ｌｔｅ
ｓｔｒ
ｅｓｕ
ｌｔｓｏ
ｆｓｉ
ｌｉ
ｃｏｎ ｍｉ
ｃｒｏｈｅ
ａｔｅ
ｒ

度会改变电流密度，从而影响功率。经综合考虑，以 因素 掺杂浓度 两悬臂间距 悬臂梁宽度

Ｎ 型硅材料的硅微 加 热 器 为 研 究 对 象，选 取 掺 杂 浓 ｋ１ ８９．

９３９５４ ９０．
９６９１８ ６０．
７４４１９

度、两悬臂间距、悬臂梁宽度 ３ 个因素进行 ４ 个水平 功率／ ｋ２ ９０．

９６５５８ ９０．
６８３７９ ７３．
６０９３７

的正交试验，见表 １。 ｍＷ ｋ３ ９２．
７６９７９ ９０．
５５６３３ １００．
３７５２０

ｋ４ ８９．
５８２２３ ９１．
０４７８５ １２８．
５２８４０
表 １ 硅微加热器正交试验因素及水平
极差 ３．
１８８ ０．
４９２ ６７．
７８４
Ｔａｂ
ｌｅ１ Ｆａ
ｃｔｏ
ｒｓａｎｄｌ
ｅｖｅ
ｌｓｏ
ｆｏｒ
ｔｈｏｇｏｎａ
ｌｔｅ
ｓｔｏ
ｆ
ｓ
ｉｌ
ｉｃｏｎ ｍｉ
ｃｒｏｈｅ
ａｔｅ
ｒ
从表 ２ 可看出，根据各功率极差，各因素对硅微
因素
加热器功率的影响 由 大 到 小 依 次 为 悬 臂 梁 宽 度、掺
水平 掺杂浓度／ 两悬臂 悬臂梁
杂浓度、两悬臂间距；两悬臂间距对硅微加热器功率
ｃｍ－３ 间距／μｍ 宽度／μｍ
影响较小；悬臂梁 宽 度 越 小，硅 微 加 热 器 功 率 越 小；
１ ７×１０１７ ２ ２５
随着掺杂浓度的升 高，硅 微 加 热 器 功 率 先 增 大 后 减
２ １０１８ ５ ３０
小；当悬臂梁宽度为 ２５μｍ、掺杂浓度 为 １０１９ ｃｍ－３ 、
３ ５×１０１８ １０ ４０
两悬 臂 间 距 为 １０ μｍ 时，硅 微 加 热 器 取 得 最 优
４ １０１９ ２０ ５０
功率。
实际测量的硅微加热器电阻与电 流 关 系 如 图 ５
４ 结论
所示 ［
７４０～７６０ ℃ 时 电 阻 最 大，超 出 该 温 度 范 围
２１］
，
后单晶硅进入本征区，电阻随电流增大而减小，硅性 采用有限元分析和正交设计方法，研究 了 Ｕ 型
能 不 稳 定，响 应 时 间 变 慢，效 率 降 低。 为 避 免 该 问 双悬臂梁式硅微加热器中掺杂浓度、两悬臂间距、悬
题，将硅微加热器温度设为 ６００ ℃ 。 臂梁宽度对硅微加热器功率的影响，得出结论：
对所建的硅微加热器仿真模型按表 １ 进行正交 １）悬臂梁宽度、掺杂浓度、两悬臂间距对 硅微
（
试验，控制输入电流 使 硅 微 加 热 器 温 度 达 到 ６００ ℃ 加热器功率的影响程度依次减小。悬臂梁宽度和掺
（误差为 ±１．
１２％ ），记 录 硅 微 加 热 器 功 率 与 最 高 加 杂浓度为硅微加热 器 功 率 的 主 要 影 响 因 素，两 悬 臂
热温度。 间距影响较小。
以仿真得到的硅微加热器电势差与输入电流为 （
２）硅微加热器功率随悬臂梁宽度的减小而减
依据，计算硅微加热器功率并对其进行极差分析，得 小，随 掺 杂 浓 度 的 升 高 先 增 大 后 减 小。 当 温 度 为
出水平 １—４ 下功率的平均值 ｋ１ —ｋ４ 和 各 因 素 的 极 ６００ ℃ 时，选 取 悬 臂 梁 宽 度 为 ２５ μｍ、掺 杂 浓 度 为
差，结果见表 ２。比较各因素的 极 差，确 定 主 次 要 影 １０１９ ｃｍ－３ 、两悬臂间距为 １０μｍ 可使硅微加热 器 功
响因素，并最终确定最佳因素取值。 率最优。
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２０１８ 年第 １０ 期 王丽影等：矿用 ＭＥＭＳ 甲烷传感器硅微加热器功率优化设计 · ２３ ·

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