Chương 6

CẢM BIẾN ĐO QUANG

1. Tính chất và đơn vị đo ánh sáng

2. Cảm biến quang dẫn
3. Cảm biến quang điện phát xạ
1. Tính chất và đơn vị đo
1.2. Tính chất ánh sáng
a) Tính chất sóng: một dạng của sóng điện từ:

0,395 0,455 0,490 0,575 0,590 0,650 0,750

cực tím tím lam lục da cam đỏ hồng ngoại

vàng
(m)
0,01 0,1 0,4 0,75 1,2 10 30 100
Trông thấy

cực tím H. ngoại xa

H.N. ngắn

Hồng ngoại

Phổ ánh sáng

1. Tính chất và đơn vị đo
1.2. Tính chất ánh sáng
a) Tính chất sóng: một dạng của sóng điện từ:
1.2. Tính chất ánh sáng
Vận tốc: c = 299.792 km/s (chân không)
hoặc c (môi trường vật chất)
v 
n
c
Bước sóng:   (chân không)

v
hoặc   (môi trường vật chất).

  tần số ánh sáng.
1.2. Tính chất ánh sáng
b) Tính chất hạt: chùm hạt (photon) chuyển động với
vận tốc lớn, mỗi hạt mang một năng lượng nhất định,
năng lượng này chỉ phụ thuộc tần số () của ánh sáng:

W  h.

h = 6,6256.10-34J.s  hằng số Planck

 1.2. Đơn vị đo quang
a) Đơn vị đo năng lượng:
Năng lượng bức xạ Q (J): là năng lượng lan truyền hoặc hấp
thụ dưới dạng bức xạ tính bằng Jun.

Thông lượng ánh sáng : là công suất phát xạ, lan truyền
hoặc hấp thụ tính bằng oat.
dQ
 (W)
dt
 1.2. Đơn vị đo quang
Cường độ ánh sáng (I): d
I (W/sr)
d
Steradian

Độ chói năng lượng (L):

dI
L 
dA n (W/sr.m2)

Độ rọi năng lượng (E): d

E (W/m2)
dA
 1.2. Đơn vị đo quang
b) Đơn vị đo thị giác:
Độ nhạy đối với ánh sáng của mắt phụ thuộc bước sóng:

V()
1

0,5

0  (m)
0,3 0,4 0,5 0,6 0,7 0,8
max

Độ nhạy cực đại ứng với sóng max

 1.2. Đơn vị đo quang

Đại lượng đo Đơn vị Đơn vị thị giác

năng lượng
Thông lượng W lumen(lm)

Cường độ W/sr cadela(cd)

Độ chói W/sr.m2 cadela/m2 (cd/m2)

Độ rọi W/m2 lumen/m2 hay lux (lx)

Năng lượng J lumen.sex (lm.s)

 1.2. Đơn vị đo quang
Hệ số chuyển đổi:
1 đv đo năng lượng = K. V().đv đo thị giác
1W = K. V(max) =680.1= 680 lumen
Ví dụ đối với ánh sáng đơn sắc:
 V    680 V  .  (lumen)
Đối với ánh sáng phổ liên tục:
2
d(  )
 V  680  V( ). d (lumen)
1
d
 Nguồn sáng

1. Đèn sợi đốt.

2. Đi ốt phát quang.

3. Laze
 2. Cảm biến quang dẫn
2.1. Hiệu ứng quang dẫn: Hiệu ứng
quang dẫn (hiệu ứng quang điện nội) là
hiện tượng giải phóng những hạt tải
điện (hạt dẫn) trong vật liệu dưới tác
dụng của ánh sáng làm tăng độ dẫn
điện của vật liệu.
 2.1. Hiệu ứng quang dẫn
WWlk

Vùng dẫn - điện tử điện tử

-
h
Wlk + -
h
h
Vùng hoá trị + lỗ trống + lỗ trống

Bán dẫn tinh khiết Bán dẫn loại n Bán dẫn loại p
 2.1. Hiệu ứng quang dẫn
Mật độ điện tử trong tối:
1/ 2
a a 2
a.Nd 
n0    2  
2.r  4r r 

Nd  Nồng độ tạp chất donor

 qWd 
a  exp    Hệ số tỉ lệ giải phóng e.
 kT 

r  Hệ số tái hợp.
 2.1. Hiệu ứng quang dẫn
Nồng độ điện tử khi được chiếu sáng:

1 / 2
 g 
n   
 r 
g  Số e giải phóng do chiếu sáng trong 1s trong 1
đơn vị thể tích:
G 1 1  R 
g  . 
V V h

g  aNd  n
 2.1. Hiệu ứng quang dẫn
Độ dẫn trong tối:
Độ dẫn khi chiếu sáng:
0  qn0

1
g 2
1 1
  qn  q   . 2

r  A

   0và là hàm phi tuyến của  với số

mũ  =1/2 (thực tế  = 0,5 -1)
2.2. Tế bào quang dẫn (TBQD)
a) Cấu tạo: thực chất TBQD là một điện trở được chế
tạo từ các chất bán dẫn: đa tinh thể đồng nhất, đơn
tinh thể, bán dẫn riêng, bán dẫn pha tạp.
CdS
CdSe
CdTe
PbS
PbSe
PbTe
Ge
Si GeCu
SnI
n AsIn CdHgTe

, m
0,2 0,6 1 2 3 45 10 20 30

Vùng phổ làm việc của một số vật liệu quang dẫn
2.2. Tế bào quang dẫn (TBQD)
b) Đặc trưng chủ yếu:
Điện trở: điện trở trong tối lớn (từ 104  - 109  ở
25oC đối với PbS, CdS, CdSe ) và giảm nhanh khi
độ rọi sáng tăng.
Điện trở ()
106

106

104

102
0,1 1 10 100 1000 Độ rọi sáng (lx)

Sự phụ thuộc của điện trở vào độ rọi sáng

2.2. Tế bào quang dẫn (TBQD)
2.2. Tế bào quang dẫn (TBQD)
Độ nhạy: I V  1
S  
 A

Nhận xét:
+ Độ nhạy giảm khi  tăng (trừ  = 1)
+ Độ nhạy giảm khi tăng nhiệt độ, khi V điện áp đặt
vào lớn.
+ Độ nhạy phụ thuộc vào bước sóng ánh sáng.
 2.2. Tế bào quang dẫn
c) Đặc điểm
+ Tỷ lệ chuyển đổi tĩnh cao.
+ Độ nhạy cao.
+ Hồi đáp phụ thuộc không tuyến tính .
+ Thời gian hồi đáp lớn.
+ Các đặc trưng không ổn định do già hoá.
+ Độ nhạy phụ thuộc nhiệt độ, một số loại đòi
hỏi làm nguội.
 2.2. Tế bào quang dẫn
Độ 10 Độ 100
nhạy nhạy
tương 5 tương 50
đối đối 30
(%)

1 10

0,5 5
3

0,1 1
-150 -100 -50 0 50 1 2 3
Nhiệt độ
Bước sóng (m)
(oC)

Ảnh hưởng của nhiệt độ Ảnh hưởng bước sóng

đến độ nhạy của tế bào đến độ nhạy của tế bào
quang dẫn quang dẫn
 2.2. Tế bào quang dẫn
c) Ứng dụng:

Điều khiển rơ le: khi có bức xạ ánh sáng chiếu lên tế

bào quang dẫn, điện trở giảm, cho dòng điện chạy qua
đủ lớn  sử dụng trực tiếp hoặc qua khuếch đại để
đóng mở rơle.

Thu tín hiệu quang: dùng tế bào quang dẫn để thu và

biến tín hiệu quang thành xung điện.
 2.2. Tế bào quang dẫn

+ +

Điều khiển thông qua

Điều khiển trực tiếp
tranzito khuếch đại
 2.3. Photođiot
a) Cấu tạo và nguyên lý hoạt động

Vùng
Vùng nghèo chuyển tiếp

Vùng
P N
nghèo
E

Vb

Sơ đồ chuyển tiếp P – N
 2.3. Photođiot
Nguyên lý hoạt động:

Khi  = 0 và V = 0, dòng điện chạy qua chuyển tiếp:

 qVd 
I  Ikt  I0  I0 exp   I0  0
 kT 
Ikt  Dòng khuếch tán các hạt cơ bản. I0  Dòng hạt
dẫn không cơ bản sinh ra do kích thích nhiệt.
 qVd 
Khi V > 0  dòng ngược:
Ir  I0 exp    I0  0
 kT 
 qV 
 I0 exp d 
Khi V đủ lớn  kT
0 và Ir = I0.
 2.3. Photođiot
Khi chiếu sáng bằng Ir
h
luồng ánh sáng 0  Ip. x
P
Vùng + 
q1  R  nghèo V
 0 exp X 
+
Ip 
hc N

 qVd 
Ir  I0 exp    I0  Ip
 kT 
Khi V đủ lớn: Ir  I0  Ip  Ip Hiệu ứng quang
điện khi chiếu sáng
 2.3. Photođiot
 Chế độ quang dẫn: Ir

Phương trình mạch điện: VD

+ ES Rm VR
E  VR  VD 

Tín hiệu ra: VR  RmIr

E
Þ đường thẳng tải . -40 -30 S-20 -10 0

50W
Þ Dòng ngược: E VD 20
Ir  
Rm Rm 100W
40

Cảm biến làm việc ở chế độ 150W

60

tuyến tính VR ~ .
200W
 Ir
 2.3. Photođiot
Chế độ quang thế: điện áp ngoài V = 0.
 I 
 Đo thế hở mạch VOC 
kT
log1  P 
q  I0 
kT Ip
Khi Ip<< I0: Voc  .  nhỏ nhưng tỉ lệ với .
q I0
kT I
Khi Ip>> I0: VOC 
q
log P
I0
 lớn nhưng tỉ lệ với log.
ISC
ÞĐo dòng ngắn mạch:

Isc  Ip Rbé
 2.3. Photođiot
c) Độ nhạy:
S không phụ thuộc thông lượng ánh sáng .
S phụ thuộc vào , với   s: S (A/W)

q 1  R exp   X 
0,4

 IP
S(  )   
0,3
T1 T 2
 hc 0,2

0,1

SSmax khi  = p
0,3 0,4 0,5 0,6 0,7 0,8 0,9 1,0

p  (m)

Khi To tăng p dịch sang phải. (S( ) = 0,1-1,0 A/W)

p

S phụ thuộc , R, α.
 2.3. Photođiot
d) Ứng dụng:
- Sơ đồ mạch làm việc ở chế độ quang dẫn:
ES CP1
R2
R1 R2
+ 
 +
Rm Rm
V0  R1+R2 C2 V0
Ir + ES
R1

Sơ đồ cơ sở Sơ đồ tác động nhanh

 R2 
V0  Rm 1  Ir V0  R1  R2 Ir
 R1 
 2.3. Photođiot
- Sơ đồ làm việc ở chế độ quang thế:

R2
Rm

+
_
ISC _
+
Vco
R1 V0
V0
R1=Rm

Sơ đồ tuyến tính Sơ đồ logarit

 R2 
V0  R m .I sc V0  1   Voc
 R1 
 2.3. Photođiot
Chế độ quang dẫn: Chế độ quang thế:
+ Độ tuyến tính cao. + Có thể làm việc ở chế độ
+ Thời gian hồi đáp tuyến tính hoặc logarit.
ngắn. + Ít nhiễu.
+ Thời gian hồi đáp lớn.
+ Dải thông lớn.
+ Dải thông nhỏ.
+ Nhạy cảm với nhiệt độ ở
chế độ logarit.
 2.3. Photođiot
c) Ứng dụng:
 Chuyển mạch: điều khiển rơ le, cổng logic, ….
 Đo ánh sáng không đổi (Chế độ tuyến tính)
 2.4. Phototranzito
a) Cấu tạo và nguyên lý hoạt B
động: C
E
Gồm 3 lớp bán dẫn ghép nối tiếp tạo - +
thành 2 tiếp giáp E - B và B – C N P N
tương tự như một tranzito. Cấu tạo
 Phân cực: chỉ có điện áp đặt lên C,
+
không có điện áp đặt lên B, B – C
C
phân cực ngược.
B
 Sơ đồ mạch điện như hình vẽ.
E

Sơ đồ mạch điện
 2.4. Phototranzito
Nguyên lý làm việc: +E

 Khi đặt điện áp E lên C, điện áp V BE C

 0,6  0,7 V, VBC  E. B


Khi chiếu sáng tiếp giáp B – C  các E
điện tử và lỗ trống phát sinh trong vùng Sơ đồ mạch điện
bazơ dưới tác dụng của ánh sáng sẽ bị phân
Điện thế
chia dưới tác dụng của điện trường trên
chuyển tiếp B – C  điện tử bị kéo về C,
C
lỗ trống ở lại trong B tạo ra dòng điện tử từ -
+ B
EBC tạo ra dòng ngược: Ir = I0 + Ip E

Sơ đồ tách cặp
điện - lỗ trống
 2.4. Phototranzito
Dòng I0: dòng ngược trong tối.
+E IC
Dòng Ip : dòng ngược do chiếu
sáng. q1  R exp( X)
C
IP   0
hc  B
Ir ~ IB  Dòng colector IC: Ir
E
I c    1I r    1I 0    1I p
 phototranzito tương đương tổ Sơ đồ tương đương

hợp của một photodiot và một

tranzito.
 2.4. Phototranzito
c) Độ nhạy: S (  )   Ic
 0
S()
(%)
Ic    1Ir    1I0    1Ip S(p)
100

80
Ic  Ip   và   Ic   
60

 S    độ nhạy phụ thuộc 40

thông lượng ánh sáng. 20

Độ nhạy phụ thuộc  0,4 0,6 0,8 1,0

 p  (m)
(hình vẽ)
Đường cong phổ hồi đáp
S(p) = 1  100A/W
 2.4. Phototranzito
d) Ứng dụng phototranzito:
Chuyển mạch: thông tin dạng nhị phân (có hay không có bức
xạ, bức xạ nhỏ hơn hoặc lớn hơn ngưỡng) điều khiển rơle,
cổng logic hoặc thyristo.
+ + +
+ +

Điều khiển rơle Điều khiển cổng logic Điều khiển thyristo

 Cho độ khuếch đại lớn có thể dùng ĐK trực tiếp.

 2.4. Phototranzito
Sử dụng ở chế độ tuyến tính: +
+ Trường hợp thứ nhất: đo ánh sáng 0
không đổi (giống luxmet).
+ Trường hợp thứ hai: thu nhận tín
hiệu thay đổi (Điều kiện biên độ
dao động nhỏ):
t    0  1t 
I c t   I c  t 
0  S . 1

Độ tuyến tính kém hơn photodiot. Luxmet

 2.5.Phototranzito hiệu ứng trường
a)Cấu tạo và nguyên lý làm việc: - - - - - - -
+ + + + + + + +
P
Gồm 2 lớp P và N ghép với nhau, N
lõi là N, vỏ là P, tạo thành một tiếp + + + + + + + +
- - - - - - - P
giáp P-N. Tiếp giáp P-N được phân
cực ngược, bên ngoài vùng nghèo G
là cổng, bên trong vùng nghèo là S D
kênh. Dòng qua kênh phụ thuộc
tiết diện kênh   điện áp giữa G

cổng và kênh:
2
 VGS 
ID  IDS  1  
 VP 
 2.5.Phototranzito hiệu ứng trường
• Khi chiếu sáng, chuyển tiếp P - N +
hoạt động như một photodiot cho dòng
ngược: I r  I0  I P D
I0 - dòng điện trong tối. G S
IP = Sg - dòng quang điện.
Sg - độ nhạy của điot cổng-kênh. Rg

 - thông lượng ánh sáng. -

VGS  RgIr  Eg Sơ đồ mạch

VGS  R g I 0  I P   E g
 2.5.Phototranzito hiệu ứng trường
c) Đặc điểm và ứng dụng:
 Làm việc ổn định
 Hệ số khuếch đại cao
 Điều khiển điện áp bằng ánh sáng.
 3. Cảm biến quang điện phát xạ
3.1. Hiệu ứng quang điện phát xạ
Hiệu ứng quang điện phát xạ (hiệu ứng quang điện
ngoài) là hiện tượng các điện tử được giải phóng khỏi
bề mặt vật liệu và có thể thu lại nhờ tác dụng của điện
trường khi chiếu vào chúng một bức xạ ánh sáng có
bước sóng thích hợp (nhỏ hơn một ngưỡng nhất định).
 3. Cảm biến quang điện phát xạ
Cơ chế phát xạ điện tử khi chiếu sáng:
 Hấp thụ photon và giải phóng điện tử.
 Điện tử được giải phóng di chuyển  bề mặt.
 Điện tử thoát khỏi bề mặt vật liệu.
Do nhiều nguyên nhân  số điện tử phát xạ trung bình
khi một photon bị hấp thụ (hiệu suất lượng tử) thường
nhỏ hơn 10% và ít khi vượt quá 30%.
 3.2. Tế bào quang điện chân không
a) Cấu tạo: A K
K

 b)
a) A
A
c) K
Catot: có phủ lớp vật liệu nhạy với ánh sáng (Cs 3Sb,
K2CsSb, Cs2Te, Rb2Te , CsTe …) đặt trong vỏ hình trụ
trong suốt (b) hoặc vỏ kim loại có một đầu trong suốt (b)
hoặc hộp bên trong được hút chân không (áp suất ~ 10 -6 -
10-8 mmHg).
Anot: bằng kim loại.
 3.2. Tế bào quang điện chân không
Ia (A)
A Ia 4,75 mW
 4

E 3
2,37 mW
2

0,95 mW
K 1

Rm 0 20 40 60 80 100 120

Vak (V)

Sơ đồ tương đương Đặc tính V - A

• Khi chiếu sáng catot (K) các điện tử phát xạ và

dưới tác dụng của điện đường do Vak tạo ra tập trung
về anot (A) tạo thành dòng anot (Ia).
 3.2. Tế bào quang điện chân không

Đặc tính V - A có hai vùng:

 Vùng điện tích không gian.
 Vùng bão hòa.
 TBQĐ làm việc ở vùng bão hòa  tương đương
nguồn dòng, cường độ dòng chủ yếu phụ thuộc thông
lượng ánh sáng. Điện trở trong  của tế bào quang điện
rất lớn:
1  dI a 
  
  dV ak 
 Ia
Độ nhạy: S  =10  100 mA/W

 3.2. Tế bào quang điện chân không
c) Đặc điểm và ứng dụng:
 Độ nhạy lớn ít phụ thuộc Vak.
 Tính ổn định cao
 Chuyển mạch hoặc đo tín hiệu quang.
 3.3. Tế bào quang điện dạng khí
a) Cấu tạo và nguyên lý làm việc: cấu tạo tương tự
TBQĐ chân không, chỉ khác bên trong được điền đầy bằng
khí (acgon) dưới áp suất cỡ 10-1 - 10-2 mmHg.

Khi Vak < 20V, đặc tuyến I - Ia (A)

V có dạng giống TBQĐ. Khi 2

điện áp cao, điện tử chuyển

1,5.10-2 lm
1
10-2 lm

động với tốc độ lớn  ion hoá

các nguyên tử khí  Ia tăng 5
0 20 40 60 80 100 120
Vak (V)

10 lần.
 3.3. Tế bào quang điện dạng khí

c) Đặc điểm và ứng dụng: Stg.đối

8
- Dòng Ia lớn. 6

 S phụ thuộc mạnh vào Vak. 4

Þ Chuyển mạch và đo tín hiệu 2

quang.
0 20 40 60 80
Vak (V)