Chuong 5 Cac Cam Biến Thong Dung

10/17/2021
CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

5.1 CHUYỂN ĐỔI CƠ CƠ CẤU ĐÒN
Cơ cấu đòn và cơ cấu bản lề
Cơ cấu đòn thường dùng trong dụng cụ đo là cơ cấu sin, cơ cấu tang….
r Cơ cấu sin là một dạng
biến thể của cơ cấu cu
lít. Trong các thiết bị
S thông thường con trượt
S 2 ( hình a) được thay thế
S=r sinφ S=r tgφ
tay quay(hình b). Điều
này nâng cao độ chính
xác và giảm ma sát ( do
s
tiếp xúc điểm).
Ta có :
10/17/2021 1
CHƯƠNG 6: CÁC CHUYỂN ĐỔI, THIẾT BỊ VÀ DỤNG CỤ ĐO THÔNG DỤNG
5.1 CHUYỂN ĐỔI CƠ CƠ CẤU ĐÒN

Dùng cơ cấu cùng tên nhưng tác dụng ngược.
S2
S2
Ví dụ phối hợp sin và sin ngược

S1 r2
  arcsin
r1 Cho nên khi S1  S 2 hay S 2   S1 là tuyến tính
r1
S2 r1 r2
  arcsin
r2
Phối hợp tang và tang ngược

S1 S S1 S 2 L2
  arctg  arctg 2 Nên khi  và S2   S1 là tuyến tính
L1 L2 L1 L2 L1
10/17/2021 2
1
10/17/2021

5.1 CHUYỂN ĐỔI CƠ ĐỒNG HỒ SO
 Nó chủ yếu được sử dụng để đo so sánh.

 Nó bao gồm một cơ cấu có thể quay tròn, một
điểm tiếp xúc kết nối với một bánh răng và một
kim chỉ ra, trong đó trực tiếp chỉ ra sự dịch
chuyển tuyến tính của điểm tiếp xúc.
 Đồng hồ so quay số được sử dụng cùng với
khối chữ V trong một phép đo lường phòng thí
nghiệm để kiểm tra độ tròn của các sản phẩm.
10/17/2021 3

Sau khi bộ phận cảm biến nhận được tín hiệu, ở đây sự dịch chuyển, bộ phận khuyếch đại
có nhiệm vụ khuyếch đại tín hiệu đó và truyền tới bộ phận chỉ thị, gây cho bộ phận chỉ thị
một lượng dịch chuyển lớn trên một thước chia độ. Quan hệ giữa đại lượng vào và đại lượng
ra phải theo một qui luật theo yêu cầu:
S 0  f 0 S 
r
Cơ cấu ăn khớp bánh răng thân khai: r22
Bảo đảm tỉ số truyền số định.Hàm quan r1
hệ giữa đại lượng vào và ra
S r2 Z r3
Sk   R S 2 R
r1 r3 Z1Z 3
Z 2 .R
K
Z1.Z 3
Trong đó r1, r2, r3 là bán kính vòng chia của các bánh răng 1,2,3; Z1, Z2, Z3 số răng của
bánh răng 1,2,3 và R là chiều dài kim. Thường k=100
10/17/2021 4
2
10/17/2021

Thông thường mô đun vào khoảng 0,1÷ 0,2.
Sai số động học của bánh răng 1sẽ gây cho kim chỉ thị một sai số
1 r2
S k    R  F 1  K  F 1
r1 r3  
3
R
Để khắc phục nhược điểm của cơ cấu trên . 5
Kalasnicốp đã đề xuất cơ cấu với k=1000 với 3 2 4 6
cặp ăn khớp. Cặp ăn khớp đầu tiên là thanh đẩy
1 và cam 2 có biên dạng thân khai, hai cặp sau 1
đều dùng bánh răng có tỉ số truyền cố định. Cặp
ăn khớp thứ nhất cũng có tỷ số truyền cố định,
nhờ đó tỷ số truyền chung của cơ cấu cũng cố
định và đạt 1000. Phạm vi của s=1 mm, kim
thực hiện 10 vòng quay sai số chỉ vào khoảng S
2÷ 3μm
10/17/2021 5

Johansson Mikrokator
Kết hợp cơ cấu đòn và lò xo biến dạng xoắn
 Trục đo 1 được dẫn động bằng hai khớp

động kiểu màng biến dạng.
 Loại cơ cấu này có độ nhậy cao, độ ổn
định rất tốt và lực đo rất nhỏ
10/17/2021 6
3
10/17/2021

5.1 CHUYỂN ĐỔI CƠ
Nhận xét các chuyển đổi cơ:

- Không cần nguồn năng lượng phụ.
- Làm việc trong một phạm vi hẹp và có độ chính xác cao. Nên
thường dùng trong phép đo so sánh.
- Có quán tính.
- Kết cấu không nhỏ gọn.
- Không có khả năng truyền đi xa.
10/17/2021 7

5.2 CHUYỂN ĐỔI QUANG
 Là chuyển đổi không tiếp xúc.

 Dựa trên các đặc tính của ánh sáng (tính truyền thẳng của ánh
sáng, giao thoa…)
 Có tỷ số truyền lớn.
Dựa trên tính truyền thẳng của ánh sáng. Có hai khả năng sử dụng tính
chất này: dùng tạo ảnh trong hệ kính hiển vi hoặc chiếu hình và kết
hợp với các yếu tố nhậy quang như các tế bào quang điện.
10/17/2021 8
4
10/17/2021

CHUYỂN ĐỔI QUANG HÌNH
Chi tiết cần đo L được

đặt trong hệ quang, và
được tạo ảnh lên màn
hình M là L’
L' a ,
 K
L a
 K là hệ số khuyếch đại của hệ quang.

 Là chuyển đổi trực tiếp.
 Có độ chính xác cao.
 Có thể đo chi tiến nhỏ và mềm.
10/17/2021 9

Biến thiên kích thước ΔD sẽ ảnh hưởng đến thông lượng Φ của
chum sáng làm cho quang thông tới tế bào quang điện biến thiên.
Đây là phép đo gián tiếp. Ví dụ
Phương pháp chiếu qua
10/17/2021 10
5
10/17/2021

Phương pháp phản xạ
10/17/2021 11
5.3. CHUYỂN ĐỔI KHÍ NÉN

 H được cung cấp từ máy nén khí và được ổn
định với giá trị không đổi.
 Khi tăng Z thì h giảm và ngược lại , nghĩa là
Z thay đổi thì h thay đổi, điều đó có nghĩa là
h là một hàm của Z
 Δh= f(Δ z) . Vì vậy còn gọi là vòi

phun lá chắn
1 1
hH H 2
RK1  4d Z 
1 1   22 
RK 2
 d1 
10/17/2021 12
6
10/17/2021
5.3. CHUYỂN ĐỔI KHÍ NÉN Back Pressure Gauge
 Hình bên thể hiện đường cong

đặc trưng của máy đo áp suất
ngược.
 Giả sử diện tích lỗ điều khiển
và lỗ đo tương ứng là A1 và A2,
mối quan hệ giữa tỷ số áp suất
ngược với áp suất nguồn và tỷ
lệ diện tích lỗ điều khiển để đo
lỗ là gần như tuyến tính đối với
giá trị h / H từ 0,5 đến 0,8.
10/17/2021 13
5.3. CHUYỂN ĐỔI KHÍ NÉN Back Pressure Gauge
Trong thiết lập thể hiện trong hình trên, áp suất ngược được đưa vào
một ống bourdon. Độ lệch của ống bourdon được khuếch đại bằng đòn
bẩy và bánh răng và được hiển thị trên mặt số.
10/17/2021 14
7
10/17/2021
 Là chuyển đổi không tiếp xúc.

 Có tỷ số truyền lớn.
 Kích thước nhỏ.
 Đo lường dùng khí nén đã trở thành một phần không
thể thiếu của kiểm tra sản xuất trong ngành công
nghiệp.
 Có thể đo chiều dài, đường kính, các sai số vị trí như độ
:vuông góc, song song, côn, đồng tâm, vv bằng cách
thiết lập đơn giản.
10/17/2021 15
5.3. CHUYỂN ĐỔI KHÍ NÉN  Khí nén với áp suất trong
khoảng từ 1,5 đến 2 bar
được truyền qua ống thủy
tinh hình côn, có chứa phao
kim loại nhỏ.
 Không khí sau đó đi qua một
ống cao su hoặc nhựa và
thoát ra ngoài khí quyển qua
lỗ trong đầu đo.
 Vì đầu đo được đưa vào bên
trong chi tiết đang được
kiểm tra, có một khe hở nhỏ
giữa đầu đo và chi tiết.
 Điều này hạn chế luồng
Free Flow Air Gauge không khí, do đó thay đổi vị
trí của phao bên trong cột
kính giảm dần.
10/17/2021 16
8
10/17/2021
5.3. CHUYỂN ĐỔI KHÍ NÉN Free Flow Air Gauge
 Rõ ràng từ biểu đồ ta thấy rằng khi

khe hở tăng, lưu lượng dòng chảy
cũng tăng. Đường cong có phần tuyến
tính, được sử dụng cho mục đích đo
lường.
 Độ tuyến tính này trong phạm vi đo
cho phép biến đổi kích thước được đo
chính xác lên đến một micron.
 Thang đo được hiệu chỉnh cho phép
đọc được đọc trực tiếp từ thang đo.
Mức độ khuếch đại lên tới 100 000.
10/17/2021 17
5.3. CHUYỂN ĐỔI KHÍ NÉN Solex Pneumatic Gauge
 Máy đo này đã được phát triển và tiếp thị bởi Solex air Gauges Ltd.
của Mỹ và là một trong những máy đo khí nén phổ biến nhất.
 Máy đo khí nén Solex thường được sử dụng để kiểm tra kích thước
trong, mặc dù nó cũng được sử dụng để đo ngoài với các phụ kiện phù
hợp.
10/17/2021 18
9
10/17/2021

 Đo bằng khí nén là một trong những phương pháp được sử dụng
rộng rãi để kiểm tra lỗ.
 Các yếu tố đo có thể được điều chỉnh để đo gần như bất kỳ tính
năng nào của lỗ bao gồm đường kính, độ tròn, độ vuông và độ
thẳng.
10/17/2021 19

5.4 CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN TRỞ
Chuyển đổi điện trở gồm hai loại: chuyển đổi biến trở và chuyển đổi biến trở lực căng
Chuyển đổi biến trở Loại cơ
 Gồm một lõi bằng vật liệu cách điện (
gốm, sứ, bakêlit hoặc bằng nhôm, đồng
có phủ lớp cách điện). Trên lõi có quấn
dây thường là các hợp kim Ni-Cr, Ni-
Cu, Ni-Cu-Fe hay Ag-Pd.
 Cũng có khi điện trở là băng dẫn điện
bằng chất dẻo trộn bột dẫn điện hạt rất
nhỏ (2μm). đường kính dây từ 0,01÷
0,1 mm, điện trở của dây từ 1kΩ ÷ vài
trăm kΩ. Các dây điện trở được tráng
ê may cách điện.
 Trên lõi vầ dây cuốn có con trượt, con
trượt được chế tạo bằng hợp kim:
platin-iridi hoặc platin-berin để có độ
đàn hồi và tiếp xúc tốt, lực tiếp xúc
giữa con trượt và lõi từ 0,01 ÷ 0,1 N
10/17/2021 20
10
10/17/2021

Loại cơ
Chuyển đổi biến trở
l
Với dịch chuyển thẳng Rx  Rn
Ln
Trong đó Rn là điện trở toàn phần của chuyển đổi (Ω).
Ln là chiều dài của biến trở (mm).
l là vị trí con chạy kể từ một đầu của điện trở (mm).
Rx là điện trở giữa con chạy và đầu điện trở (Ω).
Với dịch chuyển góc

Rx  Rn
n
Trong đó αn là góc tâm của Rn ( độ) (αn ˂3600 ).
α là góc quay của con chạy (độ).
R là điện trở ứng với góc quay của con chạy (Ω).
Với dịch chuyển xoắn

Khi đó α>3600 và Rx vẫn tính như biểu thức trên.
10/17/2021 21

Độ nhạy và độ chính xác:

Điện trở bé nhất có thể phát hiện Rn
R0 
w
W là số vòng dây của chuyển đổi, R0 là ngưỡng độ nhậy của chuyển đổi,
Độ di chuyển bé nhất có thể phát hiện được
Ln
X0 
w
Sai số của chuyển đổi đối với cuộn dây quấn như nhau:
Rmin L
  n
2 Rn 2W Δrmin : điện trở toàn phần của một vòng dây.
Sai số phí tuyến từ 0,1 ÷0,03 % .
Sai số nhiệt độ 0,1 % trên 100 C.
10/17/2021 22
11
10/17/2021

Loại cơ
Chuyển đổi biến trở
Mạch đo
- Quan hệ phi tuyến, dòng điện
Mạch biến trở
không biến thiên từ được từ 0 trở
U U đi.
I 
R x  RCT x - Dòng điện trong mạch tỉ lệ nghịch
RCT  R 
l với điện trở cần đo Rx
Nếu Rv  R thì R x Rv R R
Mạch phân áp  x v  Rx
R x  Rv Rv
Và U  Rx R U x x
U Ux  U  x  R U 
I
R R R  R x  Rx R R l l
R  Rx  x v
R x  Rv
Quan hệ Ux và x là tuyến tính, Ux biến thiên từ 0
R x Rv U R x Rv
Ux  I   đến U khi Rx biến thiên từ 0 đến R ( thường Rv
R x  Rv R x Rv R x  Rv
R  Rx  ≥ (10÷20)Ω
R x  Rv
10/17/2021 23


Mạch cầu
Nếu R1=R2=R3=R4= R và Rg>>R ta có
U R
Ug  
4 R
ΔR/R là lượng biến thiên điện trở tương đối

khi biến trở di chuyển.
Mạch lôgômét
R là biến trở; R1, R2 là điện trở cuộn dây
lôgômét ; R3,R4 là điện trở phụ được xác
định theo thông số của chuyển đổi và
lôgômét. Khi Rx thay đổi làm dòng điện I1 và
I2 thay đổi và góc quay .
α=f(I1 /I2 )=f (R2/R1 )= f (x)
10/17/2021 24
12
10/17/2021

Ứng dụng
- Đo dịch chuyển thằng từ (2÷3) mm
- Đo dịch chuyển góc
- Dùng kết hợp các dụng cụ đo áp suất, lực , gia tốc
- Cấu tạo đơn giản, rẻ, mạch điện không phức tạp
- Có tiếp xúc nên bị mòn, ồn
10/17/2021 25

 Ta có công thức xác định điện trở Loại cơ
L
R
A
 Lấy logarith cả hai vế ta có dR d dL dA
  
R  L A
 Thành phần dL/L là biến dạng dọc trục, εa.

 Thành phần dA/A có thể xác định từ phương trình của mặt cắt ngang A=πD2/4.
 Cuối cùng chúng ta có
.
dA dD
2
A D
 Thành phần dD/D là biến dạng ngang, εt.

 Mặt khác theo cơ học chất rắn có quan hệ sau đây giữa biến dạng dọc và ngang.
Trong đó v là hệ số Poisson’s   v
10/17/2021 t a 26
13
10/17/2021

Loại cơ
 Kết hợp các phương trình trên chúng ta có:
dR d
   a (1  2v)
R 
 Phương trình trên cho thấy mối quan hệ giữa sự thay đổi điện trở của dây, biến
dạng và sự thay đổi điện trở suất của dây.
 Hệ số đo biến dạng S, được định nghĩa là dR / R
S
a
 Kết hợp các phương trình trên chúng ta có:
d / 
S  1  2v 
a
10/17/2021 27

5.4 CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN TỪ (Inductive Transducer)
 Chuyển đổi điện từ là chuyển đổi dựa trên quy luật điện từ. Đại lượng cần đo làm thay đổi
điện cảm, hỗ cảm. Gồm hai loại: điện cảm và hỗ cảm.
Chuyển đổi điện cảm
10/17/2021 28
14
10/17/2021

5.4 CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN TỪ
 Nếu bỏ qua điện trở thuần của cuộn dây và trở từ của lõi thép ta có:
W: số vòng cuộn dây

W 2 W 2 0 S
L  
R  R  từ trở của khe hở không khí
0S
 Khe hở không khí
S là tiết diện của khe hở không khí

0 Là độ từ thẩm của không khí
 Các chuyển đổi điện từ (cảm ứng) thường dùng để xác định vị trí và dịch chuyển
10/17/2021 29

 Với W là hằng số ta có dL  L dS  L d
S 
 Với lượng thay đổi hữu hạn  và  S ta có
W 2 0 W 2 0 S0
L  S  
0  0   2
 Với S 0 và  0 là giá trị ban đầu của S và  khi XV= 0
 Độ nhạy của chuyển đổi điện cảm với khe hở không
khí thay đổi(S là hằng số)
L L0
S   2
    
 0 1   
  0 
10/17/2021 30
15
10/17/2021


 Và độ nhậy SS khi thay đổi tiết diện ( là hằng số)
L L0
SS  
S S 0
W 2 0 S0
L0  là giá trị điện cảm ban đầu của chuyển đổi
0
 Khi S  S 0 và  0   và tổng trở Z của chuyển đổi là

W 2 0 S
Z  L 

 Từ biểu thức này ta thấy rằng tổng trở của chuyển đổi là một hàm
tuyến tính với tiết diện khe hở không khí S và phi tuyến với khe
 hở không khí.
 Độ nhậy của chuyển đổi khi tiết diện của khe hở không khí thay
đổi là hằng số và không phụ thuộc vào lượng thay đổi của S .
10/17/2021 31

Chuyển đổi điện cảm vi sai
 Để tăng độ nhậy của chuyển

đổi và tăng đoạn đặc tính làm
việc người ta thường dùng
chuyển đổi dạng vi sai
10/17/2021 32
16
10/17/2021

Chuyển đổi hỗ cảm
 Còn gọi là chuyển đổi biến áp.

 Cấu tạo tương tự chuyển đổi điện cảm chỉ khác ở chỗ có thêm
một cuộn dây đo.
10/17/2021 33

Chuyển đổi điện cảm vi sai Linear Variable Differential Transformer (LVDT)
 Cảm biến gồm một cuộn dây bên trong có lõi từ di động
1 1
1
2
XV
XV
l0 lf
l Đơn
Kép
 Dưới tác động của đại lượng đo Xv, lõi từ dịch chuyển làm cho độ dài lf của lõi từ nằm trong
cuộn dây thay đổi, kéo theo sự thay đổi hệ số tự cảm L của cuộn dây. Sự phụ thuộc của L
vào lf là hàm phi tuyến, có thể cải thiện bằng cách ghép hai cuộn dây đồng dạng vào hai
nhánh kề sát nhau của một cầu điện trở có chung một lõi sắt.
 Đặc điểm:
L = f(lf)  phi tuyến, độ nhạy và độ tuyến tính của cảm biến kép cao hơn cảm biến đơn.
Đo được dịch chuyển lớn hơn so với cảm biến từ cảm có khe từ biến thiên
10/17/2021 34
17
10/17/2021

Vinsint
Voutsin(t+f)
Phase measurement
Vout wout

Vin win
10/17/2021 35

• Khi loõi theùp di chuyeån seõ taïo

ra moät doøng ñieän trong 2
cuoän thöù caáp :
– Taïi vò trí giöõa Voutput=0
– Khi loõi theùp di chuyeån veà
phía cuoän thöù caáp 1 thì seõ
coù 1 doøng ñieän trong
cuoän 1 vaø doøng ñieän naøy
cuøng pha vôùi nguoàn ñieän
vaøo .
10/17/2021 36
18
10/17/2021

10/17/2021 37

Lõi tự do dủng trong các môi

trường bị che khuất
Dùng trong các xy lanh thủy lực
10/17/2021 38
19
10/17/2021

 Dòch chuyeån : giaõn keá , chuyeån ñoåi nhieät ,

ñieàu khieån van böôùm , .v.v..
 Duøng trong caùc phaàn töû ño löïc , aùp suaát
Diaphragm Pressure Gage
10/17/2021 39

 Ưu điểm
 Phát hiện được cả khoảng cách và chiều di chuyển
 Chính xác và độ lặp lại cao, thời gian đáp ứng nhanh.
 Làm việc được trong môi trường khắc nghiệt và nhiều môi trường
khác nhau.
 Ít ảnh hưởng bởi rung động, nhiễu và trở kháng đầu ra thấp.
 Tuổi thọ cao, bền do không có ma sát giữa cuội dây và lõi thép.
 Được sử dụng rộng rãi trong công nghiệp do giá thành rẻ.
 Có thể đo được chuyển vị rất nhỏ.
 Phạm vi làm việc ±100 μm đến ±500 mm.
 Nhược điểm
 Không phù hợp cho việc đo khoảng cách lớn.
 Lõi thép cần được gắn trực tiếp với chuyển vị cần đo.
10/17/2021 40
20
10/17/2021

5.4 CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN CHUYỂN ĐỔI ÁP ĐIỆN ( Piezoelectric)
NGUYÊN LÝ
 Do Pierre Curie & Jacques Curie khám phá vào

năm1880
 Piezo xuất phát từ Hy lạp Greek “Piezen” : có nghĩa là
ép press
 Có một số loại vật liệu có thể tạo ra điện áp khi nó bị
biến dạng do bị biến dạng khi nó chịu tác động cơ học
hoặc ứng suất, đó là các vật liệu như tinh thể thạch anh
(SIO2) hoặc Barium titanate. Hoặc thay đổi kích thước
vật lý khi đặt vào phần tử áp điện một điện thế
 Cấu tạo chất áp điện được phủ lên hai mặt của phiến
mỏng. Khi tác dụng lực cơ học thì xuất hiện các điện tích
trái dấu tại hai mặt của phiến, các điện tích xuất hiện tỷ
lệ với các tác động cơ học.
 Việc sử dụng trong công nghiệp vào năm 1950s. Hiện
nay đã trở thành kỹ thuật phổ biến
10/17/2021 41

5.4 CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN CHUYỂN ĐỔI ÁP ĐIỆN
NGUYÊN LÝ
Hiệu ứng áp điện (piezoelectric phenomena) là một hiện tượng vật

lý được nhà khoáng vật học người Pháp phát hiện đầu tiên vào năm
1817, sau đó được anh em nhà Pierre và Jacques Curie nghiên cứu
chi tiết vào năm 1880.
10/17/2021 42
21
10/17/2021

NGUYÊN LÝ
 Hiệu ứng áp điện mô tả mối quan hệ giữa ứng

suất cơ học và điện thế trong vật thể rắn.
Các vật liệu áp điện tạo ra điện tích q tỷ lệ với
lực tác dụng.
10/17/2021 43

NGUYÊN LÝ
=
k là hằng số áp điện
Vo
k đối với thạch anh= 2.3 pC/N

k đối với barium titanate = 140 pC/N
Ta tìm Vo, giả thuyết cảm biến giống như một tụ điện
q kf kfx
Vo   
Capacitor: A
C C 0r A C 0r
x
10/17/2021 44
22
10/17/2021

NGUYÊN LÝ
Khi tác dụng lực theo trục x (hiệu ứng dọc)
Q= d. Fx
Khi tác dụng lực theo trục y (hiệu ứng ngang)
Q= -d.Fy.. a/b x 1
 x1
g.t.F
V  g.t.p
A
 

Hiệu ứng áp điện ngang
Hiệu ứng áp điện dọc
10/17/2021 45

NGUYÊN LÝ
Nếu tỉ số a / b lớn hơn 1, thì hiệu ứng ngang tạo ra các điện tích nhỏ hơn hiệu ứng dọc.
Do tác dụng của lực F, sẽ làm thay đổi chiều dầy của tinh thể
Nếu chiều dầy ban đầu của tinh thể là t, và Δ t - Là sự thay đổi chiều dầy do tác dụng
của lực F, do vậy mô đun đàn hồi E có thể biểu diễn là tỉ số của ứng suất và biến dạng
tương đối của chiều dầy tinh thể
F
ung suat F. t
E  A 
bien dang tuong doi t A . t
A = Diện tích của tinh thể m2
t
F
A.E
.t
t= chiều dầy của tinh thể m
t
10/17/2021 46
23
10/17/2021

NGUYÊN LÝ
Từ các phương trình trên ta có d.A.E.t
q coulombs
t
Điện tích ở các điện cực tạo ra điện thế q

V
C
Điện dung của vật liệu áp điện giữa hai điện cực r0 A
C
t
q d.F
V 
C  A
r 0
t
 r = Hằng số điện môi của vật liệu
Trong đó
0 = Hằng số điện môi của chân không
10/17/2021 47

NGUYÊN LÝ
Có ba dạng chính: ngang, dọc, cắt ,
10/17/2021 48
24
10/17/2021

NGUYÊN LÝ
Để tăng điện tích Q người ta đặt các phiếm thạch anh
chồng lên nhau: nối tiếp với lực hay song song với điện. Fy
Fx nQ Q
Vq  
+
-
+
-
+
- -
+ + + + +
- - - nCq Cq + -
- - - - - - -
+ -
+ + + + + + + +
+ -
+
-
+
-
+
- -
+ + + + +
- - - + -
Fx + -
- - - - - - -
+ + + + + + + +
+ Fx - Fy
+ -
Hiệu ứng áp điện ngang
Hiệu ứng áp điện dọc
10/17/2021 49

NGUYÊN LÝ a/Hiện tượng áp điện thuận:
 Khi tinh thể áp điện chịu tác dụng của lực bên ngoài, thì các hạt
mang điện xuất hiện trên bề mặt của lớp tinh thể làm xuất hiện
dòng điện. Tùy theo chiều tác dụng của lực mà chiều dòng điện
khác nhau.
 Khi lực là kéo thì chiều dòng diện cùng chiều với chiều tinh thể,
nếu lực là nén thì chiều dòng điện ngược chiều với chiều tinh thể.
10/17/2021 50
25
10/17/2021

NGUYÊN LÝ b/Hiện tượng áp điện nghịch:
 Khi đặt một điện áp vào hai đầu tinh thể áp điện, hay tinh thể áp
điện được cung cấp hạt mang bởi nguồn bên ngoài thì trong tinh
thể sẽ xuất hiện ứng suất làm cho làm cho tinh thể co dãn. Tuỳ
theo chiều dòng điện đặt vào mà tinh thể nén hay dãn.
 Như hình dưới, khi của nguồn ngược với cực của tinh thể thì làm
cho tinh thể dãn ra. Khi nguồn lắp cùng với cực của tinh thể thì
tinh thể bị nén lại.
10/17/2021 51

CÁC ĐẶC TRƯNG ĐỘ NHẬY KHI LỰC F KHÔNG ĐỔI
• Thạch anh có thể coi như một tụ diện dưới tác dụng của một lực F
sinh ra điện tích Q, tạo ra điện thế Vq
Q
Vq 
Cq
• Điện áp Vq thường có giá trị lớn.
Q kFt Vq kt
Vq   S  
C q  0 r A
F  0 r A
Để thay đổi độ nhạy thì ta có ba cách:
• Thay đổi ε: thay đổi vậy liệu áp điện.
• Thay đổi d: thay đổi kích thước của cảm biến.
• Thay đổi A: diện tích tiếp xúc cảm biến (diện tích lực tác dụng).
10/17/2021 52
26
10/17/2021

CÁC ĐẶC TRƯNG ƯU ĐIỂM
 Tuổi thọ cao.

 Độ nhậy cao.
 Ngưỡng thấp.
 Có thể đo dịch chuyển hoặc đo tự do. Tính mềm dẽo, linh động của cảm biến: Thích
hợp với mọi đường biên dạng.
 Tần số riêng cao.
 Không nhậy với trường điện từ và phóng xạ
 Không cần nguồn cung cấp
 Có kích thước nhỏ dễ lắp đặt, có thể lắp vào các khe 20x20mm. Làm cực tiếu mạch và
cũng giảm sự nhiễu.
 Có độ cứng cao để có thể chịu các lực lớn.
 Có độ chính xác cao
 Giới hạn động học lớn, hầu như không cò nhễu thich hợp để đo shock , hoặc các dao
động rất nhỏ .
 Tuyến tính trên toàn bộ phạm vi động học của nó
10/17/2021 53

CÁC ĐẶC TRƯNG
NHƯƠC ĐIỂM
• Nhược điểm của cảm biến áp điện là không dùng để đo tĩnh.

• Ảnh hưởng của nhiệt độ.
• Điện trở và tụ điện ký sinh trên dây dẫn ảnh hưởng đến độ chính xác
• Bị ảnh hưởng nhiều bởi môi trường xung quanh.
• Cần có bộ khuếch đại lấy tín hiệu ra.
10/17/2021 54
27
10/17/2021

VẬT LIỆU
 Thạch anh ( SiO2 . Nó có thể là vật liệu tự nhên hoặc tổng hợp, nó có các thông số sau:
 Hằng số áp điện: d1 =2,1.10-12C/N.
 Hằng số điện môi:  = 39,8. 10-2F/m.
 Ứng suất cho phép:  =( 70 ÷100)N/mm2
14
 Điện trở suất   10 cm nhưng phụ thuộc nhiều vào nhiệt độ. Ở nhiệt độ 2000C d1
không phụ thuộc vào nhiệt độ. Từ (200 ÷500) 0C d1 thay đổi không đáng kể, ở 5730C
tính chất áp điện bị phá hủy
 Titanat Bari( BaTiO3) là vật liêu tổng hợp, không phụ thuộc vào độ ẩm, nhưng phụ
thuộc nhiều vào dạng tạp chất, độ bền cơ học cao, rẻ tiền, dễ chế tạo ở các hình dánh
khác nhau.
 Hằng số áp điện: d=10,7.10-12C/N.
 Hằng số điện môi:  = 1240. 10-11F/m
 Mô đun đàn hồi E=115.103 N/mm2
 Các tính chất không phụ thuộc vào độ ẩm mà phụ thuộc vào tạp chất, công nghệ chế tạo
và điệ áp phân cực. Mô đun áp điện không phải là hằng số, nó có thể giảm 20% sau hai
năm. Do có hiện tượng trễ nên quan hệ q=f(F) là không tuyến tính. Song nó có độ bền
cơ học cao, rẻ tiến, có thể tạo được bất kỳ hình dáng nào
10/17/2021 55
CHƯƠNG 6: CÁC CHUYỂN ĐỔI, THIẾT BỊ VÀ DỤNG CỤ ĐO THÔNG DỤNG
6.4 CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN CHUYỂN ĐỔI ÁP ĐIỆN ( Piezoelectric)
VẬT LIỆU
 Gốm PZT là hỗn hợp oxýt chì, zirconi và titan ( PbTi1-xZrxO3)

thường x = 0,5 nó quyết định tính chất vật lý và tính chất nhiệt
của vật liệu, ưu điểm chính của lọai này:
 Độ nhậy cao.
 Hằng số điện môi lớn nên ảnh hưởng của điện dung ký sinh nhỏ.
 - Dễ gia công.
 - Độ bền cơ học cao.
 Chịu được nhiệt độ cao
 Nhược điểm: hằng số điện môi và hằng số áp điện phụ thuộc vào
nhiệt độ. Có tính trễ do nhiệt độ do vậy dễ bị lão hóa
10/17/2021 56
28
10/17/2021

VẬT LIỆU
Vật liệu Độ thẩm thấu Điện trở suất (Ωm) Modun đàn Ứng suất cực Nhiệt độ sử
hồi 109N.m-2 đại 107N.m-2 dụng (0C)
Thạch anh Ε11 = 4,5 1012 Y11 = 80 10 550
Muối Ε11 = 350 >1010 Y11 = 19.3 1,4 45

Seignette Y22 = 30
Y33 = 30
LH Ε11 = 350 >1010 46 1,5 75
Ε11 = 350
Ε11 = 350
PZT 5A Ε11 = 1700 1011 Y33 = 53 7÷8 365
10/17/2021 57

SƠ ĐỒ ĐO
Mạch điện tương đương có thể chuyển thành:
10/17/2021 58
29
10/17/2021

CÁC ỨNG DỤNG
 Đo áp suất trong lòng khuôn đối với công nghệ phun ép.
 Giám sát áp suất trong xi lanh của các động cơ diesel và gas.
 Giám sát và điều khiển lực ép.
 Giám sát lực liên kết (joining) trong các máy lắp ráp tự động .
 Giám sát sự rung động của các máy .
 Giám sát quá trình gia công
10/17/2021 59

CÁC ỨNG DỤNG CẢM BIẾN ÁP SUẤT

Cảm biến đo áp suất trong lòng khuôn:
Nhằm nâng cao chất lượng và giảm chu kỳ sản xuất.

Không dùng màng : Màng chất dẻo tự hình thành
10/17/2021 60
30
10/17/2021

CÁC ỨNG DỤNG CẢM BIẾN ÁP SUẤT
• Cảm biến áp suất là 01

màng mỏng với kích
thước đã biết
• Áp suất chỉ tác dụng

theo một hướng
10/17/2021 61

CÁC ỨNG DỤNG GIA TỐC KẾ
 Phần tử áp điện ở dạng hình trụ và được dán ở tâm của chốt.
Khối lượng của hình trụ được dán với phần bên ngoài của phần
tử áp điện.
 Gia tốc theo hướng của trục hình trụ và là nguyên nhân sinh ra
lực cắt trên phần tử và tạo ra lực đàn hồi cho chính nó.
Q = dF
 Khi vỏ của gia tốc kế là đối tượng được dao động thì lực tác
dụng trên phần tử áp điện là do khối lượng bị thay đổi.
 Điện tích được tạo ra trên tinh thề áp điện được đưa vào bộ
khuyếch đại điện tích. Lực F tác dụng vào tinh thể đã được
chuyển thành điện tích .
10/17/2021 62
31
10/17/2021


 Khi gia tốc thay đổi tác dụng lên khối lượng trong cảm biến theo
thực nghiệm sự thay đổi của lực được mô tả :
a là gia tốc
V là điện thế tạo ra
 Vậy thực chất gia tốc kế là cảm biến cung cấp tín hiệu ra tỉ lệ với
gia tốc, dao động và chấn động. Nó được dùng trong các cảm biến
túi khí nhằm bảo đảm cho ô tô.
10/17/2021 63

10/17/2021 64
32
10/17/2021

CÁC ỨNG DỤNG GIA TỐC KẾ Dạng nén
 Ưu điểm  Nhược
– Ít chi tiết / Dễ chế tạo – Nhậy với sự thay đổi nhiệt độ
– Tần số Resonant cao – Nhậy với sự biến dạng
10/17/2021 65

CÁC ỨNG DỤNG GIA TỐC KẾ Dạng uốn
 Ưu điểm  Nhược điểm

– Ít chi tiết – Tần số Resonant thấp
– Kích thước nhỏ
– Ít nhậy với biến dạng
– Ít nhậy với nhiệt độ
10/17/2021 66
33
10/17/2021

CÁC ỨNG DỤNG
Dạng cắt
 Ưu điểm  Nhược điểm

– Ít nhậy với nhiệt độ – ???
– Ít nhậy với biến dạng
– Kích thước nhỏ
10/17/2021 67


CẤU TẠO
• Khi dùng đo lực rất nhỏ: thì ta dùng
cấu trúc dầm gồm hai tấm ghép lại với
nhau. Khi có lực tác dụng một tấm dãn
một tấm bị co lại.
• Đo lực cắt theo bề mặt phải dùng tấm
mỏng
10/17/2021 68
34
10/17/2021

CÁC ỨNG DỤNG CẢM BIẾN LỰC
Đo lực ba thành phần
10/17/2021 69

CÁC ỨNG DỤNG CẢM BIẾN LỰC
Đo lực kéo và nén .
10/17/2021 70
35
10/17/2021

5.4 CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN DUNG
Điện dung C phụ thuộc vào 3 yếu tố:

 0 r A
C
d
ξr d A
10/17/2021 71

Cảm biến điện dung gồm một tụ điện phẳng hoặc tụ điện hình trụ có một bản cực có thể di chuyển
và được nối cứng với dịch chuyển cần đo. Khi bản cực của tụ điện dịch chuyển sẽ kéo theo su thay
đổi điện dung của tụ.
Điện dung của tụ điện phẳng được biểu diễn bằng công thức:
 r 0 A
C
d
Trong đó:
A - diện tích nằm giữa hai bản cực.
d - khoảng cách giữa hai bản cực. Các tụ điện điện phân (Electrolytic)
- hằng số điện môi của môi trường. hoặc gốm thường được sử dụng
- hằng số điện môi của chân không.
Nghĩa là các tụ điện điện phân thường làm bằng nhôm được bốc hơi trên các bề mặt
của tấm phim mỏng (hoặc chất điện phân)
10/17/2021 72
36
10/17/2021

Material r Material r Material r

Quartz 3,8-5 Paper 3,0 Silica 3,8
GaAs 13 Bakelite 5,0 Quartz 3,8
Nylon 3,1 Glass 6,0 (4-7) Snow 3,8
Paraffin 3,2 Mica 6,0 Soil (dry) 2,8
Perspex 2,6 Water (distilled) 81 Wood (dry) 1,5-4
Polystyrene foam 1,05 Polyethylene 2,2 Silicon 11,8
Teflon 2,0 Polyvinyl Chloride 6,1 Ethyl alcohol 25
Ba Sr Titanate 10.000.0 Germanium 16 Amber 2,7
Air 1,0006 Glycerin 50 Plexiglas 3,4
Rubber 3,0 Nylon 3,5 Aluminum oxide 8,8
10/17/2021 73

a/ Thay đổi khoảng cách giữa hai tấm
 0 r LW  0 r LW
C1  C2 
d d 
10/17/2021 74
37
10/17/2021

a/ Thay đổi khoảng cách giữa hai tấm
 Một tấm được gắn với đối tượng di chuyển và tấm kia cố định
 Điện dung C  K Và độ nhậy S  C   K
x x x2
 Quan hệ này là phi tuyến nhưng có thể tuyến tính hóa bằng cách dùng mạch op amp
vref Cref
vo  x
K
Mạch điện C = K/x

vo
dung
Cref
A −
Tấm Điện thế + +
+
Vị trí cố định cung cấp Tín
Tấm di chuyển Op amp
x vref − hiệu ra
(Ví dụ như màng) v−o
10/17/2021 75

C   A
a/ Thay đổi khoảng cách giữa hai tấm Độ nhậy : S   r 20
d d
Từ biểu đồ trên ta thấy độ nhậy được nâng cao khi d càng nhỏ
10/17/2021 76
38
10/17/2021

Lọai này được gọi là lắp vi sai dùng để đo
a/ Thay đổi khoảng cách giữa hai tấm dịch chuyển chính xác, kí hiệu
   0 r
A A
C1  ; C2 
d d
EC 2 E
E1  
C1  C 2 2
EC1
E2 
C1  C 2
Khi ở giữa thì E1  E 2  0 nếu goị x là dịch chuyển của tấm di chuyển thì A A
C2  ; C1 
dx dx
dx dx x
hiệu điện thế ra là E  E1  E 2  E E  E. Thường sử dụng loaị này để đo dịch
2d 2d d
chuyển với độ chính xác 0,05% với khoảng đo từ 0,001÷ 10mm.
Độ nhậy: E E
S 
x d
10/17/2021 77

b/ Thay đổi diện tích giữa hai tấm
 0 r LW  0 rW ( L  x)
C1  C2 
d d
C2 L  x

C1 L
10/17/2021 78
39
10/17/2021

10/17/2021 79

Ví dụ Dùng phần chung giữa hai tấm tụ điện để đo dịch chuyển. Bằng cách đo điện
dung chúng ta cũng có thể xác định được dịch chuyển do khi đối tượng di chuyển cũng
làm thay đổi điện dung
.
  A   LW C  1 0W
C 1 0  1 0 s 
d d L d
10/17/2021 80
40
10/17/2021

Với tụ hình trụ
Điện dung dạng hình trụ đồng tâm với bán kính ngoài của hình trụ trong D1,
đường kính trong của hình trụ ngoài D2 và chiều dài L. Điện dung của tụ điện
2 r  0 L
C
D
ln 2
D1
10/17/2021 81

• Phần dịch chuyển có thể đo bằng cách lắp đối tượng với phần
tử có chất điện môi được đặt giữa hai tấm
Giá trị ban đầu của điện
dung, giả thuyết vật liệu
điện cực có chiều dầy d
và chiều rộng w
 0 r wl1  0  r wl 2
C 
d d
 w
C  0 l1   r l 2 
d
10/17/2021 82
41
10/17/2021

Dùng đo góc
A  r2
Giá trị lớn nhất điện dung: C   0 r
d 2
d
  r
Điện dung với góc  là c  r 0 
2 d
Độ nhậy C  r  0 2
S  r
 2d
10/17/2021 83

Dùng đo góc
• Một tấm quay và một tấm cố định
• Phần diện tích chung tỷ lệ với góc C  K
• Mối quan hệ là tuyến tính và K là hằng số của cảm biến

• Độ nhậy C  r  0 2 Capacitance DC Output
S  r Bridge vo
 2d
Fixed
C Plate
S K Rotatio A
 n
θ Rotating
Plate
10/17/2021 84
42
10/17/2021

c/ Thay đổi hằng số điện môi giữa hai tấm
 Điện dung của tụ song song phụ thuộc vào hằng số điện môi
giữa các tấm. Nếu gọi chiều rộng của tấm w thì điện dung C là
 Phần dịch chuyển có thể đo bằng cách lắp đối tượng với phần
tử có chất điện môi được đặt giữa hai tấm.
10/17/2021 85

5.4 CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN DUNG ƯU ĐIỂM
 Độ phân giải cao.
 Độ nhậy cao,1pF per mm.
 Yêu cầu năng lượng nguồn thấp.
 Làm việc đo động với tần số cao.
 Có thể phát hiện được dịch chuyển đến 10-4mm.
 Có thể phát hiện đối tượng dẫn điện và không dẫn điện.
 Không thay đổi nhiều khi thay đổi nhiệt độ và áp suất.
 Có thể dùng làm cảm biến không tiếp xúc.
 Là cảm biến đơn giản.
 Dùng trong nhiều ứng dụng khác nhau.
 Tính đáp ứng như nhau với tất cả vật liệu ( không nhậy với vật liệu).
 Độ chính xác ± 0.01%.
 Phạm vi từ vài (-10s của microns) đến (vài cm).
 Cho phép dùng trong môi trường nguy hiểm: ăn mòn , nhiệt độ rất cao.
 Không ma sát nên tuổi thọ cao (~200 năm).
 Rẻ và nhỏ hơn dụng cụ giao thoa .
 Ảnh hưởng
10/17/2021của các tải cơ có thể bỏ qua. 86
43
10/17/2021

5.4 CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN DUNG NHƯỢC ĐIỂM
 Điện dung là nhỏ và sự thay đổi về điện dung là nhỏ .

 Dùng các phương pháp đặc biệt để chuyển đổi .
 Thường là thành phần của LC của oscillator ( Đo tần số.).
 Dễ hỏng khi có sự cố
 Phạm vi giới hạn 5 ÷ 500 V.
 Cảm biến tiệm cận độ chính xác đến millimeter.
 Không làm việc trong môi trường bẩn.
 Yêu cầu khe hở lớn giữa đối tượng và cảm biến.
 Nhậy với độ ẩm.
10/17/2021 87

MẠCH ĐO a) Cầu Sauty và tụ vi sai
 Trong hình sau biểu diễn sơ đồ nguyên lý cầu Sauty và tụ vi sai dùng để đo điện áp
không cân bằng. Do cấu trúc mạch điện nên có thể bỏ qua ảnh hưởng của các tụ ký
sinh cùng với sự thay đổi của chúng. Do vậy điện áp cần đo sẽ được tính bằng biểu
thức:
eS C21  C31
Vm 
A2 C21 Vm 2 C21  C31
eS A1
S
A3 C31 im
 Trong cả hai trường hợp dùng tụ điện diện tích thay đổi hoặc tụ điện có khoảng
cách giữa các bản cực thay đổi, điện áp đo tỉ lệ tuyến tính với dịch chuyển.
10/17/2021 88
44
10/17/2021

5.4. CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN DUNG
b/Sơ đồ R-C chế độ động

MẠCH ĐO
Khi độ dịch chuyển cần đo thay Vc

đổi nhanh, có thể dùng sơ đồ đo
thế gồm một điện trở R cố định eS
mắc nối tiếp với một tụ điện C VR
biến thiên và sử dụng nguồn nuôi
một chiều
Xét trường hợp điện dung của tụ thay đổi theo hàm sin xung quanh một giá trị cố định :
C  C0  C1 sin t
Theo sơ đồ mạch ta có: VC  VR  ES
t
1
VR  R.i VC  idt
C 0
Trong đó và
10/17/2021 89

5.4. CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN CHUYỂN ĐỔI ĐIỆN DUNG
MẠCH ĐO
• Nếu trong mạch sử dụng tụ điện có khoảng cách giữa các bản cực thay đổi, và giả sử
biên độ dịch chuyển nhỏ so với :
D  D0  d1 sin t
Khi đó
0 A  d 
C  C0 1  1 sin t 
D0  d1 sin t  D0 
Nghĩa là
C1 d
 1
C0 D0
Và
d1
VR   ES sin t
D0
Như vậy ta thấy rằng, ở mọi thời điểm biên độ của điện áp tỷ lệ với dịch chuyển
d  d1 sin t.
10/17/2021 90
45
10/17/2021

ỨNG DỤNG
 Nếu vật liệu điện cực dịch chuyển một đoạn là x, điện dung gia tăng một lượng
từ C đến:  w
C  C  0 l1  x   r l 2  x  
d
 0w
C  C  l1   r l2  x r  l  
d
 0 wx r  l 
C 
d
 Có thể ứng dụng nguyên tắc này để đo mức chất lỏng:
10/17/2021 91

ỨNG DỤNG Đo độ ẩm
 Sử dụng các cảm biến điện dung để đo phần trăm của nước trong
dầu của các nhà máy lọc dầu.
 Và sử dụng trong các nhá máy lương thực để đo độ ẩm chứa
trong bột mì.
10/17/2021 92
46
10/17/2021

ỨNG DỤNG Đo áp suất
Vị trí mạch Đầu vào của áp

điện suất thấp
Đầu vào của áp

suất cao
Vị trí bên trong của màng bằng thép không rỉ
10/17/2021 93

ỨNG DỤNG
Đo gia tốc
Tải với cảm biến là
túi khí căng
Túi khí
Khi giá trị của gia tốc âm lớn hơn giá trị cài đặt tác động vào microprocessor khi va đập,
nó lập tức thổi phòng túi khí ở phía trước xe
10/17/2021 94
47
10/17/2021

ỨNG DỤNG
Đo chiều dầy:
Đầu dò
Chi tiết tham chiều
Bề mặt chuẩn
10/17/2021 95

ỨNG DỤNG
Đo chiều dầy:
Làm thế nào để giải quyết?
Đầu dò
Chi tiết bị biến dạng
Bề mặt chuẩn
10/17/2021 96
48
10/17/2021

ỨNG DỤNG
Đầu dò
Chi tiết đo
Bề mặt chuẩn
10/17/2021 97
49

Chuong 5 Cac Cam Biến Thong Dung

Uploaded by

Document Information

Copyright

Available Formats

Share this document

Share or Embed Document

Sharing Options

Did you find this document useful?

Is this content inappropriate?

Copyright:

Available Formats

Chuong 5 Cac Cam Biến Thong Dung

Uploaded by

Copyright:

Available Formats

10/17/2021

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

CHƯƠNG 6: CÁC CHUYỂN ĐỔI, THIẾT BỊ VÀ DỤNG CỤ ĐO THÔNG DỤNG

5.1 CHUYỂN ĐỔI CƠ CƠ CẤU ĐÒN

Ví dụ phối hợp sin và sin ngược

Phối hợp tang và tang ngược

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

 Nó chủ yếu được sử dụng để đo so sánh.

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

 Trục đo 1 được dẫn động bằng hai khớp

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

Nhận xét các chuyển đổi cơ:

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

 Là chuyển đổi không tiếp xúc.

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

Chi tiết cần đo L được

 K là hệ số khuyếch đại của hệ quang.

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

CHUYỂN ĐỔI QUANG HÌNH

Phương pháp chiếu qua

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

CHUYỂN ĐỔI QUANG HÌNH

Phương pháp phản xạ

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

5.3. CHUYỂN ĐỔI KHÍ NÉN

 Δh= f(Δ z) . Vì vậy còn gọi là vòi

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

5.3. CHUYỂN ĐỔI KHÍ NÉN Back Pressure Gauge

 Hình bên thể hiện đường cong

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

5.3. CHUYỂN ĐỔI KHÍ NÉN Back Pressure Gauge

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

5.3. CHUYỂN ĐỔI KHÍ NÉN

 Là chuyển đổi không tiếp xúc.

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

5.3. CHUYỂN ĐỔI KHÍ NÉN Free Flow Air Gauge

 Rõ ràng từ biểu đồ ta thấy rằng khi

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

5.3. CHUYỂN ĐỔI KHÍ NÉN Solex Pneumatic Gauge

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

5.3. CHUYỂN ĐỔI KHÍ NÉN

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

Với dịch chuyển xoắn

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

Chuyển đổi biến trở Loại cơ

Độ nhạy và độ chính xác:

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

Chuyển đổi biến trở Loại cơ

ΔR/R là lượng biến thiên điện trở tương đối

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

Chuyển đổi biến trở Loại cơ

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

 Thành phần dL/L là biến dạng dọc trục, εa.

 Thành phần dD/D là biến dạng ngang, εt.

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

 Kết hợp các phương trình trên chúng ta có:

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

CHƯƠNG 5: CÁC CHUYỂN ĐỔI THÔNG DỤNG

Chuyển đổi điện cảm