Nhóm: 6 Lớp: CN563_lớp 2

Họ tên các thành viên: MSSV:

1. Lý Gia Hân B2105352
2. Võ Như Khánh B2105359
3. Võ Thị Diễm Trinh B2111685
4. Nguyễn Trần Phương Trúc B2107172
5. Lưu Gia Bảo B2111644
6. Lương Thị Huyền Trân B2105404
7. Trần Thị Thảo Ngân B2111664

BÀI BÁO CÁO BÀI THỰC HÀNH 7,1 CHƯƠNG 7

BƯỚC 1. Xác định và trình bày vấn đề
- Đối tượng thí nghiệm: sản xuất wafers
- Mục tiêu thí nghiệm: tìm ra quy trình sản xuất wafers tối ưu nhất
- Giả thuyết: tốc độ khắc wafer phụ thuộc vào A,B,C
+A: không ảnh hưởng đến quá trình sản xuất (giả thuyết H0.)
+B: không ảnh hưởng đến quá trình sản xuất (giả thuyết H0.)
+C: không ảnh hưởng đến quá trình sản xuất (giả thuyết H0.)
+sự tương tác giữa các yếu tố A*B,A*C,B*C,A*B*C: không ảnh hưởng đến quy
trình sản xuất (giả thuyết H0.)
+các khối nguyên liệu không ảnh hưởng đến quá trình sản xuất (giả thuyết H0)

BƯỚC 2. Chọn yếu tố, số mức

- Tên yếu tố thí nghiệm: A B C
Mức 1 -1 -1 -1
Mức 2 1 1 1

BƯỚC 3. Chọn biến đáp ứng

- Tên biến đáp ứng: Tốc độ khắc Wafer

BƯỚC 4. Chọn thiết kế thí nghiệm

- Tên phương pháp kế/phân tích thí nghiệm: thiết kế giai thừa 2k có đóng khối.
BƯỚC 5. Tiến hành thí nghiệm
- Bảng kết quả thí nghiệm:
A B C Khối nguyên liệu Tốc độ khắc
-1 -1 -1 1 550
1 -1 -1 1 669
-1 1 -1 1 633
1 1 -1 1 642
-1 -1 1 1 1037
1 -1 1 1 749
-1 1 1 1 1075
1 1 1 1 729
-1 -1 -1 2 604
1 -1 -1 2 650
-1 1 -1 2 601
1 1 -1 2 635
-1 -1 1 2 1052
1 -1 1 2 868
-1 1 1 2 1063
1 1 1 2 860

BƯỚC 6. Phân tích dữ liệu

- Kết quả phân tích: Bảng phân tích dữ liệu Ví dụ 7.1

Factorial Regression: Tốc độ khắc versus Blocks, A, B, C

Analysis of Variance
Source DF Seq SS Contribution Adj SS Adj MS F-Value P-Value
Model 8 517276 97.34% 517276 64659 32.00 0.000
Blocks 1 3875 0.73% 3875 3875 1.92 0.209
Linear 3 416378 78.35% 416378 138793 68.68 0.000
A 1 41311 7.77% 41311 41311 20.44 0.003
B 1 218 0.04% 218 218 0.11 0.752
C 1 374850 70.54% 374850 374850 185.50 0.000
2-Way Interactions 3 96896 18.23% 96896 32299 15.98 0.002
A*B 1 2475 0.47% 2475 2475 1.22 0.305
A*C 1 94403 17.76% 94403 94403 46.72 0.000
B*C 1 18 0.00% 18 18 0.01 0.927
3-Way Interactions 1 127 0.02% 127 127 0.06 0.810
A*B*C 1 127 0.02% 127 127 0.06 0.810
Error 7 14145 2.66% 14145 2021
Total 15 531421 100.00%
Model Summary
S R-sq R-sq(adj) PRESS R-sq(pred)
44.9531 97.34% 94.30% 73902.7 86.09%
Coded Coefficients
Term Effect Coef SE Coef 95% CI T-Value P-Value VIF
Constant 776.1 11.2 ( 749.5, 802.6) 69.06 0.000
Blocks
1 -15.6 11.2 ( -42.1, 11.0) -1.38 0.209 1.00
A -101.6 -50.8 11.2 ( -77.4, -24.2) -4.52 0.003 1.00
B 7.4 3.7 11.2 ( -22.9, 30.3) 0.33 0.752 1.00
C 306.1 153.1 11.2 ( 126.5, 179.6) 13.62 0.000 1.00
A*B -24.9 -12.4 11.2 ( -39.0, 14.1) -1.11 0.305 1.00
A*C -153.6 -76.8 11.2 (-103.4, -50.2) -6.83 0.000 1.00
B*C -2.1 -1.1 11.2 ( -27.6, 25.5) -0.09 0.927 1.00
A*B*C 5.6 2.8 11.2 ( -23.8, 29.4) 0.25 0.810 1.00
Regression Equation in Uncoded Units
Tốc độ khắc = 776.1 - 50.8 A + 3.7 B + 153.1 C - 12.4 A*B - 76.8 A*C - 1.1 B*C
+ 2.8 A*B*C
Equation averaged over blocks.
Alias Structure
Factor Name
A A
B B
C C
Aliases
I
Block 1
A
B
C
AB
AC
BC
ABC
Means
Fitted
Term Mean SE Mean
A
-1 826.9 15.9
1 725.3 15.9
B
-1 772.4 15.9
1 779.8 15.9
C
-1 623.0 15.9
1 929.1 15.9
Factorial Regression: Tốc độ khắc versus Blocks, A, C
Analysis of Variance
Source DF Seq SS Contribution Adj SS Adj MS F-Value P-Value
Model 4 514438 96.80% 514438 128610 83.30 0.000
Blocks 1 3875 0.73% 3875 3875 2.51 0.141
Linear 2 416161 78.31% 416161 208080 134.78 0.000
A 1 41311 7.77% 41311 41311 26.76 0.000
C 1 374850 70.54% 374850 374850 242.80 0.000
2-Way Interactions 1 94403 17.76% 94403 94403 61.15 0.000
A*C 1 94403 17.76% 94403 94403 61.15 0.000
Error 11 16983 3.20% 16983 1544
Total 15 531421 100.00%
Model Summary
S R-sq R-sq(adj) PRESS R-sq(pred)
39.2922 96.80% 95.64% 35930.3 93.24%
Coded Coefficients
Term Effect Coef SE Coef 95% CI T-Value P-Value VIF
Constant 776.06 9.82 (754.44, 797.68) 79.00 0.000
Blocks
1 -15.56 9.82 (-37.18, 6.06) -1.58 0.141 1.00
A -101.63 -50.81 9.82 (-72.43, -29.19) -5.17 0.000 1.00
C 306.13 153.06 9.82 (131.44, 174.68) 15.58 0.000 1.00
A*C -153.63 -76.81 9.82 (-98.43, -55.19) -7.82 0.000 1.00
Regression Equation in Uncoded Units

Tốc độ khắc = 776.06 - 50.81 A + 153.06 C - 76.81 A*C

Equation averaged over blocks.
Alias Structure
Factor Name
A A
B B
C C
Aliases
I
Block 1
A
C
AC
Means
Fitted
Term Mean SE Mean
A
-1 826.9 13.9
1 725.3 13.9
C
-1 623.0 13.9
1 929.1 13.9

BƯỚC 7. Kết luận

- Kết luận rút ra:
 Dựa vào biểu đồ pareto ta thấy được A,C và tương tác giữa chúng có ảnh
hưởng đến tốc độ khắc của quy trình.
 Ảnh hưởng của:
▪ A: P-value <α (0,003<0,05)  có sự ảnh hưởng của yếu tố A trong
quá trình sản xuất
▪ C: P-value <α (0<0,05)  có sự ảnh hưởng của yếu tố C trong quá
trình sản xuất (ảnh hưởng lớn nhất)
▪ A*C: P-value <α (0<0,05)  có sự ảnh hưởng của yếu tố A*C
trong quá trình sản xuất
- Ý nghĩa thực tế:
Các khối nguyên liệu không gây ảnh hưởng đến tốc độ khắc
Cần tìm ra cách cách khắc phục đối với sự ảnh hưởng của A,B và tương tác giữa các yếu
tố A*C thông qua phương trình: Tốc độ khắc = 776.06 - 50.81 A + 153.06 C - 76.81 A*C